【課題】低周波数帯域の雑音の影響をより一層小さくすることができるスイッチトキャパシター積分回路等を提供する。
【解決手段】スイッチトキャパシター積分回路１０は、第１の容量と第２の容量とを有する電圧電荷変換回路２０と、第１の容量に充電された電荷を積分する電荷積分回路３０とを含む。電圧電荷変換回路２０は、第１の期間において、第１の容量に充電された電荷を転送すると共に入力信号に対応した電荷を第２の容量に充電し、第２の期間において、第２の容量に充電された電荷の一部を第１の容量に充電すると共に入力信号に対応した電荷を第１の容量に充電する。電荷積分回路３０は、第３の期間において、演算増幅器の入力に接続されるオフセットキャンセル容量の他端と第１の容量の一端とを接続し、第４の期間において、オフセットキャンセル容量の他端と接地電位とを接続する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電荷増幅器からの出力信号にどのようなノイズ成分がのっている場合でも、確実にノイズ成分を除去することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出回路３７における第１の電荷増幅器３８と第２の電荷増幅器３９とから出力される出力信号の差値を増幅する差動増幅器４０にコンデンサ４５および抵抗４６を並列に接続したローパスフィルタ４７を設け、出力信号からノイズ成分を除去する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】構造設計が容易であり、体格の増大と、熱応力による検出精度の低下とが抑制された半導体装置、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】母基板（１０）と、母基板（１０）に連結された複数の子基板（３０）と、子基板（３０）に形成された素子と、を有する半導体装置であって、母基板（１０）と子基板（３０）とを連結する連結部（５０）を有し、複数の子基板（３０）の内、ある子基板（３０）に形成された素子は、互いに対向する可動電極と固定電極から成るコンデンサを有し、該コンデンサの静電容量変化に基づいて物理量を検出するセンサ部（４０）であり、任意の子基板（３０）と母基板（１０）とを連結する連結部（５０）と、任意の子基板（３０）とは異なる子基板（３０）と母基板（１０）とを連結する連結部（５０）とは、高さ方向の長さが異なり、複数の子基板（３０）は、高さ方向に並んでいる。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度の低下が抑制された角速度センサ装置を提供する。
【解決手段】互いに直交の関係にあるｘ方向とｙ方向とに変位可能な振動子、該振動子をｘ方向に振動させる加振部、及び、振動子のｙ方向への変位量を検出する検出部を有する角速度センサ（１０）と、該角速度センサ（１０）を搭載する搭載部（３０）と、角速度センサ（１０）と外部素子とを電気的に中継するリード（４０）と、該リード（４０）と搭載部（３０）を支持する支持部（５０）と、を有し、リード（４０）が外部素子に機械的に固定される角速度センサ装置（１００）であって、搭載部（３０）は、支持部（５０）に片持ち支持された吊りリード（３１）を有し、該吊りリード（３１）の端部に角速度センサ（１０）が搭載されており、吊りリード（３１）の長手方向が、ｘ方向若しくはｙ方向に沿っている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸まわりの回転検出ができ、１つの発振回路で振動を励起することが可能な物理量検出素子を提供する。
【解決手段】物理量検出素子１は、基部２と、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１連結部３ａおよび第２連結部３ｂと、第１連結部３ａまたは第２連結部３ｂからＹ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した一対の第１駆動振動腕４ａおよび第２駆動振動腕４ｂ、並びに一対の第３駆動振動腕４ｃおよび第４駆動振動腕４ｄと、第１連結部３ａから斜めに延出した第１駆動検出振動腕５ａおよび第２駆動検出振動腕５ｂと、第２連結部３ｂから斜めに延出した第３駆動検出振動腕５ｃおよび第４駆動検出振動腕５ｄと、基部２からＹ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１検出振動腕６ａおよび第２検出振動腕６ｂと、を備えている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動漏れを十分に抑制することが可能な物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２と、Ｘ軸に沿って、基部２から互いに反対方向へ延出した一対の第１突出部３（３ａ，３ｂ）と、第１突出部３ａから、斜めに延出した第１駆動腕１１ａおよび同じく第１突出部３ａから斜めに延出し、第１駆動腕１１ａと逆相で振動する第２駆動腕１１ｂと、第１突出部３ｂから、斜めに延出した第３駆動腕１２ａおよび同じく第１突出部３ｂから斜めに延出し、第３駆動腕１２ａと逆相で振動する第４駆動腕１２ｂと、基部２からＹ（＋）軸方向へ延出した第１検出腕１３ａおよびＹ（−）軸方向へ延出した第２検出腕１３ｂと、基部２からＹ（＋）軸方向へ延出した第３検出腕１４ａおよびＹ（−）軸方向へ延出した第４検出腕１４ｂと、を備えている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロ素子の検出感度を向上させる。
【解決手段】振動ジャイロ素子１は、支持部２から延出する１対の駆動用振動腕３ａ，３ｂとそれとは反対側の１対の検出用振動腕４ａ，４ｂとを備え、駆動用振動腕が面内方向に逆向きに屈曲振動する駆動モードと、駆動用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつコリオリ力の作用方向と逆相で屈曲振動し、検出用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつ駆動用振動腕と逆相で屈曲振動する第１の検出モードと、駆動用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつコリオリ力の作用方向と同相で屈曲振動し、検出用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつ駆動用振動腕と同相で屈曲振動する第２の検出モードとを有し、各検出用振動腕が、第１の検出モードと第２の検出モードとにおいて同相で屈曲振動する。 （もっと読む）

【課題】両側音叉型の振動ジャイロ素子において、駆動用検出腕の機械的振動漏れによる影響を解消又は軽減して検出精度及び感度を向上させる。
【解決手段】振動ジャイロ素子１１は支持部１２から互いに逆向きに延出する各１対の駆動用振動腕１３ａ，１３ｂと検出用振動腕１４ａ，１４ｂとを備え、駆動用振動腕は駆動モードでＸＹ面内方向に共振周波数ｆ_ｄで屈曲振動し、検出モードではＹ軸周りの回転によるコリオリ力によってＺ軸方向に逆相で屈曲振動し、検出用振動腕がＺ軸方向に駆動用振動腕とは逆相で屈曲振動する。検出用振動腕はＸＹ面内方向に共振周波数ｆ_ｈ＜ｆ_ｄで屈曲振動するように設定され、共振周波数ｆ_ｈは駆動モードにおいて各検出用振動腕から出力される検出信号の値Ｓ1，Ｓ2との差｜Ｓ1−Ｓ2｜を小さくするように設定される。 （もっと読む）

【課題】高速、低損失で安価な共振器ファイバ光ジャイロスコープ強度変調コントロールのためのシステムを提供する。
【解決手段】共振器ファイバ光ジャイロ（ＲＦＯＧ）における強度変調を制御するための方法であって、共振検出変調周波数で生成される正弦波リファレンスを用いて光線のデジタル・サンプルを復調することによって、強度変調エラー信号を生成するステップと、前記強度変調エラー信号から正弦波フィードバック制御信号を生成するステップと、前記正弦波フィードバック制御信号で強度モジュレータを駆動するステップであって、前記強度モジュレータは前記光線から残余の強度変調をキャンセルする、ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、内側に固定面１０１、１０２を有する固定部材３と、固定部材３の固定面１０１、１０２に直接または間接的に固定された少なくとも１つの電子部品７とを有し、固定部材３が、電子部品７を収容するケーシング１０の一部を構成する。また、固定面１０１、１０２は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】面積が小さく、消費電流を大幅に低減することができるスイッチトキャパシター積分回路、フィルター回路、物理量測定装置、及び電子機器等を提供する。
【解決手段】スイッチトキャパシター積分回路としての２重正相積分回路１０は、第１の容量ＣＡを有し、第１の期間において入力信号に対応した電荷を第１の容量ＣＡに充電する第１の電圧電荷変換回路２０と、第２の容量ＣＢを有し、第２の期間において第１の容量ＣＡに充電された電荷の一部を第２の容量ＣＢに充電し、第２の容量ＣＢに充電された電荷の一部を転送する第１の電荷積分回路３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、優れた信頼性を発揮するこのとのできる回路基板、センサーモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーモジュール１は、下面４２に形成されたアナログ回路部４２１および上面４１に形成されたデジタル回路部４１１を有する実装基板４と、実装基板４の下面４２側に設けられた２つの角速度センサー７１２、７１３が実装基板４に対して縦置きに設けられている回路基板２と、実装基板４の下面４２と対向するように配置され、回路基板２を支持する台座３とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、角速度センサー７１１が実装された第１のリジッド基板２１と、角速度センサー７１２が実装された第３のリジッド基板２３とを有する実装基板２と、実装基板２を固定する台座３とを有している。また、台座３は、ｘ軸およびｙ軸に沿う第１固定面を有する基部３１と、基部３１上に設けられ、且つ、ｘ軸およびｙ軸に沿う第２固定面およびｙ軸およびｚ軸に沿う第３固定面の少なくとも一方を有した突出部４１〜４４と、を含み、リジッド基板２１、２２、２３の各々は、第１固定面、第２固定面または第３固定面に支持され、角速度センサー７１１、７１２は、検出軸が互いに交わっている。 （もっと読む）

【課題】振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に角速度検出センサを設置した場合でも高精度な角速度検出を実現すること。
【解決手段】互いに直交する第１の方向および第２の方向に変位可能な振動体を有し、前記振動体を第１の方向に振動させた状態で前記振動体の第２の方向への変位を角速度として検出する角速度検出装置において、前記振動体を第１の方向に振動させる駆動信号の周波数変化に応じて、第２の方向の変位量から角速度を検出するためのサーボ信号の周波数を変化させる。 （もっと読む）

【課題】小型化しても、振動腕の面外振動による振動漏れを有効に除去し得る屈曲振動片及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基部２、１対の駆動用振動腕３ａ，３ｂ、１対の検出用振動腕４ａ，４ｂ、駆動電極及び検出電極を有する両側音叉型屈曲振動片１は、振動腕と基部との結合領域に形成された金属材料等の調整膜６ａ，６ｂを有する。調整膜は、駆動用振動腕と基部との結合部に形成されたテーパ部５ａ，５ｂの領域Ｓ１と、テーパ部に近い基部の領域Ｓ２及び駆動用振動腕の領域Ｓ３とを含むように形成される。調整膜は、駆動モードで駆動用振動腕を励振したときに検出電極から出力される検出電流をモニタリングしながら、それが０となるようにレーザー光照射等により部分的に削除される。 （もっと読む）

【課題】駆動モードにおけるエラー検出信号の発生を効果的に抑制し得る圧電振動ジャイロ用の屈曲振動片を提供する。
【解決手段】両側音叉型の屈曲振動片１１は、支持部１２に接続された１対の駆動用振動腕１３及びそれとは逆向きの１対の検出用振動腕１４を有する。支持部は、幅方向の両側部に形成した細溝状の凹部１７ａ，１７ｂと、その平面部の略中央にかつ凹部よりも駆動用振動腕側に形成した貫通孔１８とを有する。支持部の表面には、支持部の両側部の凹部と平面部の貫通孔とにより長手方向に隔てられて、駆動用振動腕の駆動電極から引き出した駆動用電極パッドが駆動用振動腕側に、検出用振動腕の検出電極から引き出した検出用電極パッドが検出用振動腕側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動片の振動腕の側面に厚さ方向に分離した電極を高精度にパターニングする。
【解決手段】屈曲振動片２１は、基部２２から延出する断面矩形の振動腕２４が下面２４ｂ及び上面２４ａと左側面２４ｃ及び右側面２４ｄとの間に、それぞれ左側面及び右側面に交わる段差面２７ａ，２８ａと上面及び下面に交わる段差側面２７ｂ，２８ｂとからなる第１、第２段差部２７，２８を有し、左右側面の第１、第４検出電極２９ａ，２９ｄと段差側面の第２、第３検出電極２９ｂ，２９ｃとが、電極膜を形成していない段差面２７ａ，２８ａの部分によりそれぞれ振動腕の厚さ方向に分離されている。第１〜第４検出電極は、従来のフォトエッチングにより、一般的な露光機を用いた上下面からの露光によって高精度にパターニングされる。 （もっと読む）

【課題】シリコンのエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制されたシリコンからなる振動片、その振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して並行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた振動片２０の製造方法であって、シリコンウェハーの第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを同時に露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、モジュールの位置決めを簡単かつ正確に行うことができる保持部材、モジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】保持部材７は、モジュール１の保持の位置を決めるアライメント部７４１〜７４４を有し、アライメント部７４１〜７４４は、モジュール１を固定する載置面７４１ａ〜７４４ａを有している。保持部材７の中心に対し平面視で互いに直交する第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２により、保持部材７を第１〜第４の領域Ｓ１〜Ｓ４に区分けしたときに、アライメント部７４１〜７４４は、領域Ｓ１〜Ｓ４にそれぞれ１つずつ設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動回転レートセンサー及びその動作方法を提供する。
【解決手段】復元素子と結合され及び共振逆位相運動で駆動される２つの振動体を有する２軸回転レートセンサーを有し、前記２つの振動体は、等しくしかし単一の軸に沿って逆の振幅を有し振動する。振動構造はまた、振動軸と直交する平面内の振動体の運動を有する。この平面内の２軸での振動体の運動の測定は、２つの直交軸の周りのセンサーの回転に直接応答する信号を提供する。測定及び駆動は、磁性体の利用及び電磁気駆動及び検知トランスデューサーにより実現される。 （もっと読む）