駆動信号および／または駆動信号の加速度計感知電子部品への電子パススルーに関連する同相オフセット誤差等の、慣性センサの共振器に印加される駆動信号に関連する誤差源は、駆動信号を変調し、変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知することによって検出される。慣性センサ共振器の空気力学に関連する誤差源は、共振器と下側の基板との間の距離を変調し、そのような変調によって誘発される加速度計信号を感知することによって検出される。そのような誤差源によって引き起こされる誤差を実質的に相殺するために、補償信号が提供され得る。
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【課題】高感度及び低バイアスに最適化された入力ビーム変調を有する共振器光ジャイロスコープを提供する。
【解決手段】高いジャイロ感度及び低いバイアス誤差に入力ビーム変調を最適化するためのシステム及び方法。本発明は、ジャイロ信号対雑音（Ｓ／Ｎ）感度を最大化する選択された変調周波数（振幅）における最適化された位相変調振幅（周波数）を有する共振器光ジャイロスコープである。位相変調振幅の選択された値について、偏光クロスカップリングが誘発した強度変調をゼロにすることができる。これらのゼロ化点にほぼ近い位相変調振幅（例えば、１次ベッセル関数をゼロにする、すなわちＪ_１（Ｍ）＝０にするＭ＝３．８３２ラジアン又は７．０１６ラジアン）を設定し、次に、変調周波数を最適化することによって、強度変調が誘発したバイアスはゼロに低減され、ジャイロＳ／Ｎ感度は最大化される。 （もっと読む）

【課題】機械式レートジャイロスコープの感度に各種不確実性の影響を含むことを防止する。
【解決手段】質量を基板に対して振動させる駆動力Ｆｄを発生させる第１駆動系１１４と、角速度に応じて発生したコリオリ力により生じた偏位を測定する変位センサ１１６と、コリオリ力を打ち消すフィードバック力Ｆｆを発生する横断駆動系１６６，１６８とを含む機械式センサ１０２と、第１駆動系に駆動力Ｆｄを発生させるための交流駆動を与え、フィードバック力Ｆｆを発生させる交流駆動の完全サイクルのフィードバック信号を横断駆動系に与える制御回路とを有し、第１駆動系が第１数Ｎｄのセグメントを含み、横断駆動系が第２数Ｎｆのセグメントを含み、このセグメントが、第１駆動系のセグメントと同形態で、第１駆動系セグメントに対して横断する方向に向いており、Ｆｄ／ＦｆがＮｄ／Ｎｆに比例するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサユニットに関し、角速度の検出精度の向上を目的とする。
【解決手段】本発明はパッケージ１と、パッケージ１の内部に配置される角速度センサ素子２と、角速度センサ素子２を支持し角速度センサ素子２の振動空間を確保する台座９と、台座９をパッケージ１の内部空間に懸架しパッケージ１から角速度センサ素子２に加わる振動を抑制する防振部材８を有し、角速度センサ素子２と台座９の複合体の重心位置を防振部材８の部材平面に略一致させた。 （もっと読む）

直交誤差に対する感度および微細加工の不正確さを低減した慣性センサは、デバイス面における２つの直交軸（感度軸）周りの回転を感知するための２つの特別に構成された１軸ジャイロスコープを組み込んだ、ジャイロスコープを含み、各１軸ジャイロスコープは、フォークによって相互接続された２つの回転可能にディザリングされたシャトルを含み、各シャトルは、感度軸に垂直な傾斜軸に沿って面外に傾斜するように構成され、かつ傾斜軸に垂直な（すなわち、感度軸に平行な）軸に沿って位置付けられる対応するコリオリ検出電極を含む。２つの１軸ジャイロスコープは、例えば、フォークおよび／またはシャトルを相互接続する１つ以上の同相または逆相カップリングによって相互接続され得る。
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【課題】高次空間モードからのバイアス誤差が低減された共振器光ファイバジャイロスコープを提供する。
【解決手段】共振器は、少なくとも、ループファイバ９０、２つ又は３つ以上のいずれかのイン／アウト結合素子６０、及び素子を循環ループ内へリンクするコネクタを備える。実施形態のいくつかでは、出力光を入力光から分離するのに方向性素子５３、５４を使用することができる。すべての実施形態において、モードフィルタ８０が共振器内に配置されて、光検出器５５，５６に到達する光が、共振器内の少なくとも１つのモードフィルタにより少なくとも１回フィルタリングされることが保証される。空間モードフィルタリング及び偏光モードフィルタリングの双方を同時に実施できるように、モードフィルタは、空間モードフィルタ（単一モードファイバ又は単一モード導波路等）及び偏光モードフィルタ（偏光素子等）の双方を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】角速度を検出するときのＳ／Ｎ比と応答性を両立する。
【解決手段】 本発明の１つの振動ジャイロは、一様な平面を備えたリング状振動体１１と、リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部１５と、リング状振動体の平面上に又はその上方に置かれた圧電体膜を挟む上層金属膜及び下層金属膜のいずれかにより形成される複数の電極１３ａ，１３ｂ，・・・，１３ｆとを備える。リング状振動体１１の一次振動を励起する駆動電極１３ａの１つを基準駆動電極とした場合に、代表的には、図１に示すように、その他の複数の電極１３ｂ，・・・，１３ｆが特定の箇所に配置される。この配置により、この振動ジャイロにおいては、例えば、アウト・オブ・プレーンのｃｏｓ２θの振動モードの一次振動を励起して、ｃｏｓ３θのイン・プレーンの振動モードの二次振動を検出し、抑制電極１３ｊにその二次振動を抑制する電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】方形波変調のような良性のフロントエンドグリッチパターンを作り出すと同時に、デュアルランプ変調の利益を保持する高い正確度の干渉型光ファイバジャイロスコープ（ＩＦＯＧ）のための変調方式を提供する。
【解決手段】高い正確度の検知のための干渉型光ファイバジャイロ（ＩＦＯＧ）デバイス。一例のＩＦＯＧは、集積光チップ（ＩＯＣ）、及びＩＯＣを通過する１つ又は複数の光信号をバイアス変調波形に従って変調する変調コンポーネントを備える。ＩＦＯＧのフロントエンドコンポーネントで経験されるグリッチパターンは、所定の検知高調波においてほぼゼロ振幅を有する周波数コンテンツを含む。バイアス変調波形の周波数コンテンツは、所定の検知高調波において所定のしきい値未満である。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性を向上させた振動ジャイロ素子の提供。
【解決手段】梁２０ｂが、連結腕１３ｂと検出用振動腕１１ａとの間の基部１０の外縁か
ら延出され、梁２０ｂは、基部１０からＸ軸に沿って、Ｘ軸のプラス方向に延出する第１
延出部２０ｂ１と、第１延出部２０ｂ１の先端部からＹ軸に沿って、Ｙ軸のプラス方向に
延出する第２延出部２０ｂ２と、第２延出部２０ｂ２の先端部からＸ軸に沿って、Ｘ軸の
マイナス方向に延出する第３延出部２０ｂ３とを含む第１折り返し部２０ｃを有して構成
され、第１延出部２０ｂ１と第３延出部２０ｂ３とは、第１折り返し部２０ｃの第１延出
部２０ｂ１と第２延出部２０ｂ２とで形成される角部２０ｃ１の内側に生じる第１異形部
Ｈ１と、第２延出部２０ｂ２と第３延出部２０ｂ３とで形成される角部２０ｃ２の内側に
生じる第２異形部Ｈ２とが、平面視において互いに接しない間隔Ｗ１で配置されている。 （もっと読む）

【課題】ずれによってもたらされる直交（振動）成分を低減する。
【解決手段】
駆動軸を有する駆動コンポーネント１０４と、重心を有するぶら下がりセンサコンポーネント１０２と、回転軸をゆうし、これらを連結するヒンジコンポーネント１０６とを備えている。駆動コンポーネントは、駆動方向の決定を行う際に、ぶら下がり軸がぶら下がりセンサコンポーネントの重心及びヒンジコンポーネントの回転軸と交差するように、駆動コンポーネントの駆動軸に対するぶら下がり軸の配置を決定する。ヒンジコンポーネントの位置は、ぶら下がり軸を駆動コンポーネントの駆動方向と平行となるように決定する。 （もっと読む）

【課題】振動子の検出電極から得られる出力信号の取り出し効率を低下させることなく同相もれ信号成分を抑制し、補正電極を追加することなく同相もれ信号成分を抑制し、振動子のばらつきによらず同相もれ信号成分を抑制する。
【解決手段】振動型ジャイロセンサは、振動子の複数の検出電極から出力される複数の出力信号から検出される少なくとも２つの複数の検出信号について、その内に２つ検出信号の差分信号を求めることによって角速度信号を検出し、２つの検出信号の加算信号を求めることによって前記検出信号に重畳される同相もれ信号成分を検出し、検出した同相もれ信号成分を基準信号として２つの検出信号を振幅増幅する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサにおける不要信号の除去率を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路１１と、前記駆動回路１１からの駆動信号が入力される検知素子１２と、前記検知素子１２から応答信号を抽出し出力する検出回路１３と、前記検出回路１３からの応答信号が入力されるとともに前記応答信号からセンス信号を抽出する同期検波回路１４と、前記同期検波回路１４からのセンス信号を平滑化する平滑回路１５と、前記平滑回路１５からの出力信号を出力する出力端子１６とを備え、前記同期検波回路１４よりも前段に位相調整回路１７を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】より信頼性の高い異常判定出力が可能な物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法を提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー素子１００と、ジャイロセンサー素子１００が所定の発振周波数で動作しているか否かを表す発振動作判定信号を生成する発振動作判定部と、監視対象信号５０−３〜５０−６の少なくとも一部に異常があるか否かを表す異常フラグ信号を生成する異常フラグ生成部と、角速度検出装置１の動作に異常があるか否かを表す異常判定信号を生成出力する異常判定出力部とを含み、異常判定出力部は、発振動作判定信号が異常である場合には、角速度検出装置１の動作の異常を表す異常判定信号を出力し、発振動作判定信号が正常である場合には、異常フラグ信号が正常から異常に変化してから、異常が第１の時間以上継続した後に、異常判定信号を、正常から異常に変更して出力する。 （もっと読む）

【課題】共振器光ファイバジャイロにおける２次高調波歪を除去することにより、回転速度誤差を低減する。
【解決手段】共振器光ファイバジャイロにおける第二次高調波歪みを抑制するための装置及び方法は、変調された信号に従って、光ファイバ共振器を通って進む、複数の対向伝搬レーザビームのうちの少なくとも１つを発生するレーザを変調駆動することを含む。変調された信号は、２つの項を有する多項式によって表されることができ、２つの項のそれぞれは、係数及び定数によって好適に乗算される。変調振幅調節器は、振幅係数によって変調信号を増幅することにより適切にレーザを駆動する。定数の比率の平方根を表す振幅係数が好適に選択されると、ＲＦＯＧにおける全高調波歪みが最小化される。 （もっと読む）

面外（または、垂直）サスペンション方式を使用するMEMS質量-バネ-ダンパシステム（MEMSジャイロスコープおよび加速度計を含む）であって、サスペンションがプルーフマスに対して垂直であるMEMS質量-バネ-ダンパシステムが開示される。そのような面外サスペンション方式は、そのようなMEMS質量-バネ-ダンパシステムが慣性グレード性能を達成するのを助ける。MEMS質量-バネ-ダンパシステム（MEMSジャイロスコープおよび加速度計を含む）において面外サスペンションを製造する方法も開示される。

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【課題】２つの入力／出力結合素子を用いる、回転速度を検出するための、実質的に対称のＲＦＯＧ構成を提供する。
【解決手段】光学結合素子４０、５０は、入力光波および出力光波の両方を制御する。入力／出力結合素子の数を減らし、一方で、ＣＷおよびＣＣＷビームに関して実質的に対称性を備える構成を維持することで、損失を低減し、共振器１０内の光通路の非対称性によるバイアス誤差の発生を防止し、信号対ノイズの性能を増強する。さらに、複数の機能が小型のマイクロ光学装置に統合されたシステムを開示し、これは、組み立ておよびパッケージをより容易にし、コストが低く製造性が改善された小型のＲＦＯＧに寄与する。 （もっと読む）

測定量を測定するためのセンサ（１００，２００）であって、当該センサはセンサ信号（Ｓ）を生成し、当該センサ信号は駆動周波数（ｆ_ｘ）で振動し、前記センサ（１００，２００）はレート復調器（１３５）と、直交復調器（１４０）と、評価回路（１７０）とを有しており、前記レート復調器（１３５）は、第１の変調信号と乗算することによって前記センサ信号（Ｓ）を復調し、これによって、当該センサ信号（Ｓ）からレート信号（Ｒ_１）を形成し、当該レート信号内には、測定されるべき測定量に関する情報が含まれており；前記直交復調器（１４０）は、前記センサ信号（Ｓ）を、前記第１の復調信号に対して９０°ずらされた第２の復調信号と乗算することによって復調し、これによって当該センサ信号（Ｓ）から、直交信号（Ｑ_１）を形成し；前記評価回路（１７０）は、前記直交信号（Ｑ_１）または当該直交信号から導出された信号（Ｑ_２）が、周期的な振動の影響を受けているか否かを判断し、周期的な振動が存在している場合には、目下のレート信号（Ｒ_１）が、前記センサ（１００，２００）に作用する外部ノイズによって影響されていることを示す値を有する状態信号（Ｘ_ｓｔ）を出力する。
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【課題】補正対象の装置の各機能の駆動条件を制約することなく、メカノイズ等に起因した誤ったレンズ補正動作の防止を可能とする、ぶれ補正装置を提供する。
【解決手段】
ぶれ補正装置は、補正信号ｃに応じて被写体からの光の光軸を補正する補正手段２４、２４ａと、検出対象のぶれを検出し、検出したぶれの量に応じた検出信号を出力する、ぶれ検出手段１００と、ぶれ検出手段が出力する検出信号に基づいて補正信号を生成する補正信号生成手段３０３と、検出信号において所定の周波数帯域の周波数成分を検出する固有振動検出手段３０２と、固有振動検出手段の検出結果に応じて補正信号を生成するように補正信号生成手段を制御する制御手段３２０とを備える。 （もっと読む）

本発明は、可動質量体構造部（１２）と駆動要素（１３）と評価要素（１５）とを含み、前記駆動要素（１３）は可動質量体構造部（１２）を運動（１４）中にずらす及び／又は保持するように適合化され、前記評価要素（１５）は、角速度（Ω）に対する可動質量体構造部（１２）のリアクション（４０）を検出するように適合化されたヨーレートセンサに関する。本発明による方法では、検査信号（４２）の処理方向（４５）に関連して、応答信号（４７）の読出しが、検査信号（４２）の給電箇所（４８）と、可動質量体構造部（１２）のフィードバック箇所（４９）との間で行われる。
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【課題】 隣接する電極間の静電容量による電気的結合にともなう特性の低下を抑えてＳＮ比を高めるとともに、設計の自由度を高めて、駆動および検出回路構成を簡素化し、かつ分極工程を簡素化して量産性に優れた、低コストの圧電素子を提供する。
【解決手段】 Ｈ字形状もしくは直方体の基板１０１の一面上に、下部電極１２０、分極された圧電薄膜１１９、および上部電極からなる、同一平面内に配置された、３以上の電気−機械変換手段を備えて、任意の１以上の前記電気−機械変換手段の分極された圧電薄膜１１９、すなわち分極部の分極の向きと、他の前記電気−機械変換手段の分極部の分極の向きとが互いに逆向きになるよう構成し、平衡形の駆動回路および／または検出回路を用いて、面内／面外方向の駆動振動モードを励振、または面内／面外方向の検出振動モードを検出する。 （もっと読む）