【課題】時分割検出動作により３軸まわりの角速度を高い精度で検出する。
【解決手段】ＸＹ平面に広がる可撓性支持体の下面中央に振動子を接合し、上面に駆動用素子群と検出用素子群とを配したセンサ本体部３００を用意する。動作信号発生器１００により、振動子を前半周期にＺ軸励振する駆動信号ＤｒＺと後半周期にＸ軸励振する駆動信号ＤｒＸを発生し、マトリクス変換器２００を介して駆動用素子群に供給する。検出用素子群からの信号により、振動子の各軸方向の変位ＳΔｘ，ＳΔｙ，ＳΔｚを検出し、これをスイッチＳＷを介して振動安定期のみＡＭ検波器ＡＭＤおよび駆動信号に同期した同期検波器ＳＤに与える。Ｘ軸振動の振幅Ｆｘａ，位相ＦｘｐとＺ軸振動の振幅Ｆｚａ，位相Ｆｚｐを動作信号発生器１００へ帰還させ、フィードバック制御し、所定の同期検波器ＳＤから出力される信号を３軸の角速度ωｘ，ωｙ，ωｚとして出力する。 （もっと読む）

【課題】機械式レートジャイロスコープの感度に各種不確実性の影響を含むことを防止する。
【解決手段】質量を基板に対して振動させる駆動力Ｆｄを発生させる第１駆動系１１４と、角速度に応じて発生したコリオリ力により生じた偏位を測定する変位センサ１１６と、コリオリ力を打ち消すフィードバック力Ｆｆを発生する横断駆動系１６６，１６８とを含む機械式センサ１０２と、第１駆動系に駆動力Ｆｄを発生させるための交流駆動を与え、フィードバック力Ｆｆを発生させる交流駆動の完全サイクルのフィードバック信号を横断駆動系に与える制御回路とを有し、第１駆動系が第１数Ｎｄのセグメントを含み、横断駆動系が第２数Ｎｆのセグメントを含み、このセグメントが、第１駆動系のセグメントと同形態で、第１駆動系セグメントに対して横断する方向に向いており、Ｆｄ／ＦｆがＮｄ／Ｎｆに比例するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、物理量センサにおいて、外部から伝達させる外乱振動を減衰させる構造とすることで物理量の誤差検出を防ぎ、高精度検出が可能な耐振動性向上実装構造を提供することを目的とする。
【解決手段】物理量センサを設置した筐体の下に内部に空間を備え、かつ、オリフィスや未接着部を備えた低剛性材料の筐体支持体を設置し、かつ、電気信号を基板に伝達する手段も低剛性構造であること、を特徴とすることにより、耐振動性に優れた実装構造とした。本発明によれば、物理量センサにおいて、外部からの外乱振動を防ぎ、物理量の高精度検出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 １つのアームに対する電極数が２本と少なく、駆動検出回路の規模や接続部周辺の占有面積を小さくでき、且つ、従来よりも高い検出感度を有する圧電振動ジャイロ用振動子及び角速度検出システムを提供すること。
【解決手段】 屈曲振動するアーム５とこれを支持固定する基部７とを有する基板と、下部電極４と圧電膜３と上部電極２ａおよび２ｂとを備え、圧電膜３の成膜面に対し平行なＸ軸方向及び圧電膜３の成膜面に対し垂直なＺ軸方向の振動の駆動及び検出をそれぞれ可能とし、上部電極２ａおよび２ｂはアーム５の屈曲部に形成され、上部電極２ａをＸ軸方向の振動の駆動もしくは検出に使用し、上部電極２ｂをＺ軸方向の振動の駆動もしくは検出に使用する。ここで、上部電極２ａおよび２ｂのＸ軸方向の幅をそれぞれＡ及びＢとした場合、０．３≦Ａ／Ｂ≦０．７を満たす値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】角速度を検出するときのＳ／Ｎ比と応答性を両立する。
【解決手段】 本発明の１つの振動ジャイロは、一様な平面を備えたリング状振動体１１と、リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部１５と、リング状振動体の平面上に又はその上方に置かれた圧電体膜を挟む上層金属膜及び下層金属膜のいずれかにより形成される複数の電極１３ａ，１３ｂ，・・・，１３ｆとを備える。リング状振動体１１の一次振動を励起する駆動電極１３ａの１つを基準駆動電極とした場合に、代表的には、図１に示すように、その他の複数の電極１３ｂ，・・・，１３ｆが特定の箇所に配置される。この配置により、この振動ジャイロにおいては、例えば、アウト・オブ・プレーンのｃｏｓ２θの振動モードの一次振動を励起して、ｃｏｓ３θのイン・プレーンの振動モードの二次振動を検出し、抑制電極１３ｊにその二次振動を抑制する電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】小型化省電力化を図り、検出感度を向上させる。
【解決手段】一様な平面を備えたリング状振動体と、振動体を支持するレッグ部１５と、上層下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む電極１３ａ，１３ｓ，１３ｔ，１３ｈ及び固定電位電極１６とを備え、複数の電極は、ｃｏｓＮθの振動モードでその振動体の一次振動を励起する円周方向に（３６０／Ｎ）°離れた角度に配置された駆動電極と、電極各々から（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置された電極とを含む一群の駆動電極１３aと、駆動電極１３ａから（９０／Ｎ）°離れた角度に配置され、角速度の二次振動を検出する第１検出電極１３ｓと、さらに（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置され二次振動を検出する第２検出電極１３ｔとを含み、各駆動電極１３ａは、その振動体の外周縁からその外周縁の近傍か、振動体の内周縁からその内周縁の近傍に至るまでの領域とのいずれか又は両方の領域に配置される。 （もっと読む）

【課題】角速度センサの高精度な検査を行い得る加速度センサ用検査装置を提供する。
【解決手段】加速度センサ用検査装置１は、保持部材１６と、モーター１２ａと、回転伝達・振動吸収機構１８とを備えている。保持部材１６は、入力軸１５を有する。保持部材１６は、入力軸１５の軸心を中心として回転可能に設けられている。保持部材１６には、角速度センサ１７が保持される。モーター１２ａは、出力軸１２ａ１を有する。モーター１２ａは、所定の角速度で回転可能である。回転伝達・振動吸収機構１８は、出力軸１２ａ１の振動を吸収する。回転伝達・振動吸収機構１８は、出力軸１２ａ１の回転を入力軸１５に伝達する。 （もっと読む）

【課題】小型可能な簡易構造で、複数の回転軸を測定する、振動ジャイロを提供する。
【解決手段】一様な平面を備えたリング状振動体１１と、リング状振動体を柔軟に支持するレッグ部１５と、圧電体膜を厚み方向に挟む上層金属膜及び下層金属膜により形成される複数の電極とを備えている。ｃｏｓＮθの振動モードでリング状振動体１１の一次振動を励起する駆動電極１３ａの１つを基準駆動電極とした場合に、その他の複数の電極１３ｂ，・・・，１３ｆが特定の箇所に配置される。この配置により、アウト・オブ・プレーンのｃｏｓ２θの振動モードの一次振動が励起されるとともに、ｃｏｓ３θのイン・プレーンの振動モードの二次振動検出手段を用いて１軸乃至２軸の角速度を検出することができる。加えて、一群の駆動電極を備えることにより、円周方向に（３６０／Ｎ）°離れた角度のみに配置された一群の駆動電極に比べて、振幅の増大又は省電力化が達成される。 （もっと読む）

【課題】物体の物理量の検出精度が高い、小型の物理量検出装置を提供する。
【解決手段】振動ジャイロ２０１において、振動片１００とパッケージベース２０２との接続を中継する中継基板２５０は、同電位の第４中継電極２４４と第６中継電極２４９とが、図中下方に隠れて図示されない二電極接続配線２５２により電気的に接続されている。これにより、振動片１００の六つの接続ポイント、すなわち第１中継電極２４７、第２中継電極２４５、第３中継電極２４６、第４中継電極２４４、第５中継電極２４８、および第６中継電極２４９を、それらと対応させて中継基板２５０の他方の主面に設けられた第３中継端子２５６および第５中継端子２５８などの五つの中継端子に絞って出力可能とし、パッケージベース２０２の第１突部端子２３４、第２突部端子２３５、第３突部端子２３６、第４突部端子２３７、および第５突部端子２３８にそれぞれ接合する構成とした。 （もっと読む）

ディスク状共振器ジャイロスコープ（ＤＲＧ）のようなプレーナ共振器ジャイロスコープのパッケージング方法が開示される。１つの実施形態では、パッケージングされた共振器ジャイロスコープは、支持材と、支持材に取り付けられた基板と、基板に接続されて基板とベースプレートとの間に空洞を画定するベースプレートと、ベースプレートに取り付けられ、かつ空洞内に吊り下げられている共振器とを備える。他の実施形態も記載される。
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測定量を測定するためのセンサ（１００，２００）であって、当該センサはセンサ信号（Ｓ）を生成し、当該センサ信号は駆動周波数（ｆ_ｘ）で振動し、前記センサ（１００，２００）はレート復調器（１３５）と、直交復調器（１４０）と、評価回路（１７０）とを有しており、前記レート復調器（１３５）は、第１の変調信号と乗算することによって前記センサ信号（Ｓ）を復調し、これによって、当該センサ信号（Ｓ）からレート信号（Ｒ_１）を形成し、当該レート信号内には、測定されるべき測定量に関する情報が含まれており；前記直交復調器（１４０）は、前記センサ信号（Ｓ）を、前記第１の復調信号に対して９０°ずらされた第２の復調信号と乗算することによって復調し、これによって当該センサ信号（Ｓ）から、直交信号（Ｑ_１）を形成し；前記評価回路（１７０）は、前記直交信号（Ｑ_１）または当該直交信号から導出された信号（Ｑ_２）が、周期的な振動の影響を受けているか否かを判断し、周期的な振動が存在している場合には、目下のレート信号（Ｒ_１）が、前記センサ（１００，２００）に作用する外部ノイズによって影響されていることを示す値を有する状態信号（Ｘ_ｓｔ）を出力する。
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【課題】２つの入力／出力結合素子を用いる、回転速度を検出するための、実質的に対称のＲＦＯＧ構成を提供する。
【解決手段】光学結合素子４０、５０は、入力光波および出力光波の両方を制御する。入力／出力結合素子の数を減らし、一方で、ＣＷおよびＣＣＷビームに関して実質的に対称性を備える構成を維持することで、損失を低減し、共振器１０内の光通路の非対称性によるバイアス誤差の発生を防止し、信号対ノイズの性能を増強する。さらに、複数の機能が小型のマイクロ光学装置に統合されたシステムを開示し、これは、組み立ておよびパッケージをより容易にし、コストが低く製造性が改善された小型のＲＦＯＧに寄与する。 （もっと読む）

面外（または、垂直）サスペンション方式を使用するMEMS質量-バネ-ダンパシステム（MEMSジャイロスコープおよび加速度計を含む）であって、サスペンションがプルーフマスに対して垂直であるMEMS質量-バネ-ダンパシステムが開示される。そのような面外サスペンション方式は、そのようなMEMS質量-バネ-ダンパシステムが慣性グレード性能を達成するのを助ける。MEMS質量-バネ-ダンパシステム（MEMSジャイロスコープおよび加速度計を含む）において面外サスペンションを製造する方法も開示される。

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【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる多軸角速度センサに関し、多軸角速度センサを低背化することを目的とする。
【解決手段】本発明は、一端が固定部に接続され他端が錘部に接続された駆動アームからなる多軸角速度センサにおいて、駆動アームの形状を固定部から錘部の方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造とし、アーム辺の延出方向に対して検出電極をアーム辺の中央部（撓み変曲点）から対称形状としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ装置およびその製造方法に関し、角速度センサ装置の構造を簡素化することを目的とする。
【解決手段】本発明はパッケージ６の実装面に対して非平行に角速度センサ素子を実装する角速度センサ装置において前記角速度センサ素子は一端が固定部１０に支持された駆動アーム１２を振動させ角速度を検出する振動型素子とし、駆動アーム１２を固定部１０に対して対称配置した構造とした。 （もっと読む）

【課題】偏光解消ジャイロのＡＲＷ性能を向上させるための、効果的な相対強度雑音（ＲＩＮ）除去システム及び方法を提供する。
【解決手段】光がデポラライザ２４０及びコイルを通過した後であるが、カウンタ伝搬光波と結合する前に、検知ループ２５０においてＲＩＮ検出器光２７０をタップする。ＲＩＮ検出器が速度検出器のスペクトルと実質的に同一のスペクトルをもつ光波を受信し、より効果的なＲＩＮ除去をもたらすように、タップされたＲＩＮ光波は、ＩＯＣの通過軸と同じ方向に配向された通過軸を用いて偏光される。 （もっと読む）

【課題】検出精度が高い振動型角速度センサを提供する。
【解決手段】支持部２０と、結合部３０と、前記支持部と前記結合部とを連結する梁部７１、７２、７３、７４と、前記結合部を基準とした基準平面において等方的に前記結合部の外側に配置された錘部６１、６２、６３、６４と、前記基準平面に対して垂直に往復振動可能に且つ垂直な軸周りに回転不能に、前記錘部のそれぞれを前記結合部に連結するばね部４１、４２、４３、４４と、２つの錘部６１、６３を、前記基準平面の垂線方向に逆位相で振動させるための第一励振素子５１，５３と、他の２つの錘部６２、６４を、逆位相で振動させるための第二励振素子５２，５４と、前記支持部を静止体とする系において前記基準平面に垂直な軸周りの前記結合部のトルクを検出するための検出素子８１，８２，８３，８４、９１，９２、９３，９４と、が形成されている積層構造体を備える。 （もっと読む）

【課題】センサ制御回路に搭載されたロジック回路等に供給されるクロック信号（ＣＬＫ）を、専用の発振回路を搭載することなく発生させる。
【解決手段】センサ制御回路において、クロック信号を生成するための専用のＯＳＣ（発振回路）部を搭載せず、センサ駆動部とロジック部の間に、ループ発振信号をパルス波形に整形してクロック信号（ＣＬＫ）を生成する波形整形部を搭載し、更に、ＥＥＰＲＯＭ書き換え用の高圧電源（ＶＰＰＨ）供給のために昇圧部が追加されている。 （もっと読む）

【課題】寄生容量によるクロストークノイズを除去可能な振動子の駆動回路において、角速度出力の検出感度を向上させること。
【解決手段】駆動回路１２０は、振動子４１２の共振周波数とほぼ同一の周波数ｆｒの交流電圧である変調波を発生する変調波発生回路１２１と、振動子４１２の共振周波数よりも高い周波数ｆｃの交流電圧である搬送波を発生する搬送波発生回路１２２と、搬送波を変調波により振幅変調して、駆動用固定電極４１６に駆動信号を出力する振幅変調回路１２３と、搬送波の直流電圧を調整して、振動子４１２に、調整された搬送波を出力する直流電圧調整回路１２４とを備える。駆動回路１２０の搬送波発生回路１２２の出力信号が、直流電圧調整回路１２４を通り、固定部４１３を通じて振動子４１２へ印加される。駆動用固定電極４１６に加えられる駆動信号Vkが図２(a)に示されており、振動子４１２に印加される電圧Vmassが図２(ｂ)に示されるものである。 （もっと読む）

【課題】 回転方向の判別を簡便な構成で行なう半導体リングレーザジャイロを提供する。
【解決手段】 半導体リングレーザジャイロ１０は、両端面から光を出射させる半導体レーザ１１と、半導体レーザ１１の両端面から出射した光を互いに反対方向に周回させ半導体レーザ１１とともに共振器を構成する光ファイバリング１２と、光ファイバリング１２内を互いに反対方向に周回する２つの光を分岐する第１光分岐器１４と、第１分岐器１４により分岐された２つの光を重ねることにより発生するビート周波数から角速度を検出する第１検出器１６とを備えている。また、半導体リングレーザジャイロ１０は、ＣＷ光の一部を分岐する第２光分岐器１７と、第２光分岐器１７により分岐されたＣＷ光の縦モードの周波数が静止時の周波数に対して変化する値の符号を検出し、その符号から回転方向を判別する第２検出器１９とを備えている。 （もっと読む）