【課題】固定部と該固定部の外径側を囲むように配設された錘とを複数の梁で連結してなる振動体を備えたセンサ素子を例えばＳＯＩウェハを用いたＳｉウェハ一括プロセス処理で形成できるようにした振動体型力学量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】振動体１１を備えたセンサ素子よりなる振動体型力学量センサにおいて、前記センサ素子は半導体部材から形成されたものであるとともに、振動体１１は固定部１２と固定部１２の外径側を囲むように配設された錘１４とを複数の梁１３で連結したものであり、さらに、前記センサ素子の一方の面にガラス基板１０１が接合され、固定部１２がガラス基板１０１側と接合されることにより振動体１１がガラス基板１０１で機械的に支持されてなる構成としている。 （もっと読む）

【課題】 振動型ジャイロ素子の検出精度を向上させること。
【解決手段】 振動型ジャイロ素子は、基部１０と、基部から、所定面内で第１方向に延出する駆動腕２０と、基部１０から、所定面内において第１方向と交差する第２方向に延出する検出腕３０と、駆動腕２０に設けられる駆動電極と、検出腕に設けられる検出電極と、を含み、駆動腕２０は、駆動電極によって形成される電界による歪みによって、所定面に垂直な第３方向に振動し、これによって駆動振動ＶＡが生じ、第１方向の軸回りに作用する角速度によって駆動腕２０に第１検出振動ＶＢが生じると、検出腕３０に、第１検出振動ＶＢに対応した第２検出振動ＶＣが生じ、第２検出振動ＶＣに基づく歪みによって検出腕３０に電界が生じ、検出腕に３０生じる電界によって電荷（Ｑ１〜Ｑ４）の移動が生じ、電荷（Ｑ１〜Ｑ４）の移動による電気信号が検出電極から取り出される。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ低価格でありながら、誤差の少ない信頼性の高い検出を可能にする。
【解決手段】 装置筐体３０内に、２つの重錘体１０Ａ，１０Ｂを収容し、それぞれを可撓性をもった接続部材２０によって装置筐体３０に接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂは所定の自由度をもって各座標軸Ｘ，Ｙ，Ｚの方向に移動できる。重錘体１０Ａ，１０Ｂ間は、可撓性をもった接続部材２５によって相互接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂを互いに逆位相となるようにＸ軸方向に往復運動させた状態とし、所定の検出時において、各重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸およびＹ軸方向のコリオリ力をＺ軸およびＹ軸方向への変位として検出する。両重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸およびＹ軸方向のコリオリ力の差により角速度を求め、和により加速度を求める。 （もっと読む）

【課題】角速度を検出するための半導体素子へ印加する応力を低減しつつ、耐電磁波ノイズ性，耐湿性を向上した実装構造を有する、高信頼性角速度検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】金属板を用いたコアメタル層と配線構造を備えた配線層とを有するメタルコア基板とコアメタル層上に固定された角速度を検出するための半導体素子と配線層に固定されたキャップとそのキャップとメタルコア基板とで構成される中空室内に角速度を検出するための半導体素子が配設され、これらを樹脂によりモールドするようにすることで、角速度を検出するための半導体素子へ印加する応力を低減しつつ、耐電磁波ノイズ性，耐湿性を向上した実装構造を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】外乱振動に対する優れた耐振・耐衝撃性能を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明によるヨーレートセンサ装置１は、圧電素子２を有するセンサ部を含むセンサ保持体５と、センサ保持体５の外周の少なくとも一部に近接して配置されたセンサ保持体の所定方向の変位を抑制する抑制体４とを備える。センサ保持体５は、底面１４の延在方向と平行な方向に延在し厚さｔを有する、ステンレスやシリコン等からなる一枚の板である。 （もっと読む）

【課題】厚さを低減することが可能なセンサーデバイス、このセンサーデバイスの製造方法、このセンサーデバイスを用いたモーションセンサー及びこのモーションセンサーの製造方法の提供。
【解決手段】センサーデバイス１は、シリコン基板１０と、シリコン基板１０の能動面１０ａ側に設けられた第１の電極１１と、第１の電極１１に電気的に接続されて能動面１０ａ側に設けられた外部接続端子１２と、シリコン基板１０と外部接続端子１２との間に設けられた応力緩和層１５と、シリコン基板１０の能動面１０ａ側に設けられた接続用端子１３と、基部２１と基部２１から延伸された各振動腕と接続電極としての引き出し電極２９とを備えたセンサー素子としての振動ジャイロ素子２０と、を有し、振動ジャイロ素子２０が、引き出し電極２９と外部接続端子１２との接続によってシリコン基板１０に保持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外乱振動に対する優れた耐振・耐衝撃性能を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明によるヨーレートセンサ装置１は、圧電素子を有するセンサ部２を含むセンサ保持体５と、センサ保持体を支持し弾性を有する支持体３と、センサ保持体及び支持体が設けられたケース４とを備えケースの底壁に凹部７を有し、支持体の少なくとも一部が凹部内に収納されている。支持体３としては樹脂又は樹脂組成物を用いることが可能であり、更に樹脂又は樹脂組成物に対してフィラーが添加されてもよい。 （もっと読む）

【課題】小型化、特性向上、コスト低減を図って２軸の振動検出を可能とする。
【解決手段】振動型ジャイロセンサは、複数の端子部が形成された基部を有し、それぞれ異なる軸方向の振動を検出する少なくとも２個の振動素子と、前記少なくとも２個の振動素子の駆動検出を行う単数のＩＣ部品と、前記各振動素子の前記複数の端子部、および前記ＩＣ部品と接続される複数個のランドを有する配線パターンが形成された第１の面と、前記第１の面の裏側であって、外部の基板と対向し前記外部の基板のランドへ前記振動型ジャイロセンサをリフロー表面実装するための複数個の外部接続端子が形成された第２の面とを有する１個の支持基板とを備え、前記少なくとも２個の振動素子のうち少なくとも一方の基部は、前記支持基板のコーナ部位に実装され、前記支持基板の第１の面を第１〜第４の象限に分けたとき、各象限に前記ＩＣ部品の実装領域の一部が属する。 （もっと読む）

【課題】施錠確認の信頼性が高いこと。またキーを抜き取ってからも誤作動がしないこと。
【解決手段】摘み部と、該摘み部の先端面から突出するステム部とから成り、摘み部に施錠検出装置を設けた錠前に対する施錠確認キーに於いて、施錠検出装置は、まず、摘み部の先端部側に設けられかつステム部を錠前の鍵穴に完全に差し込んだことを検出する差し込み検出手段と、この差し込み検出手段からの検出信号を起動信号として受け取る制御部と、次に、摘み部を操作して所定方向に回転すると、ジャイロセンサは回転角度変化信号をＡ／Ｄコンバータを介して制御部に出力し、該制御部は該Ａ／Ｄコンバータからのデジタル信号を処理して表示部に前記錠前の施錠状態を出力する錠前に対する施錠確認キー。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加や処理負荷の増大を抑え、集積化に好適な物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】物理量測定装置は、測定すべき物理量に応じて、互いに検出軸が異なる検出信号を所与の基準電位を基準に出力する複数のセンサーと、複数のセンサーを構成する各センサーに対応して設けられ、各センサーからの検出信号の高周波数帯域を通過させる、各々がスイッチトキャパシター回路を用いて構成された複数のハイパスフィルターとを含み、複数のセンサーのうち少なくとも１つのセンサーの基準電位と、複数のハイパスフィルターの各ハイパスフィルターを構成する回路の接地電位とが同電位に設定されている。 （もっと読む）

【課題】実装基板に対する振動片の平行度を確保することができる圧電デバイス、振動ジ
ャイロを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の圧電デバイス１０は、第一の金属膜を表面に有する第一、第二及び
第三のバンプを含み、前記第一、第二及び第三のバンプを第一の面に有する半導体デバイ
ス４０と、第二の金属膜を有し、前記第二の金属膜を介して前記第一の金属膜に接続され
た圧電振動片６０と、を備え、前記第一、第二及び第三のバンプの前記第一の面から頂部
までの高さは、それぞれ同じであり、前記第三のバンプの重心は、前記第一のバンプの重
心と前記第二のバンプの重心とを結んだ場合に形成される直線から離間していることを特
徴としている。 （もっと読む）

【課題】小型化かつ、接続信頼性の向上を図った圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方
法を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の圧電デバイス１０は、接続用電極パッド６４を備えた圧電振動片６
０と、前記接続用電極パッド６４と電気的に接続すると共に前記圧電振動片６０を支持す
る電極パターン５０を備えた半導体デバイス４０とを備え、前記電極パターン５０は一方
の端部を前記半導体デバイス４０のパッドと接続させ、他方の端部を前記接続用電極パッ
ド６４と接続させ、前記一方の端部と前記他方の端部の間に前記半導体デバイス４０の一
方の主面４３から離反する方向に立ち上がる屈曲部５２を形成し、前記一方の主面４３と
前記電極パターン５０の間の屈曲部５２に樹脂を形成したことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】センサの薄型化を実現することができる角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサ１は、第１の面内において平行でない２つの方向に同一の駆動信号で駆動される複数の振動部を含む振動子部１０１と、振動子部を支持する枠体１０２とを有し、第１の面内における所定の２方向に沿った第１及び第２の軸回りの角速度と、第１の面と直交する方向に沿った第３の軸回りの角速度とに応じた信号を生成するセンサ素子１００と、駆動信号を出力する自励発振回路２０１と、角速度各々に応じた信号に基づいて第１、第２及び第３の軸回りの角速度を出力する検出回路とを有するコントローラ２００と、センサ素子とコントローラとが実装される回路基板４００とを具備する。 （もっと読む）

本発明の目的は、微小電気機械（ＭＥＭＳ）共振器の改良された構造を提供することである。本発明の第１の態様によれば、本発明による共振器構造は、所与の機械的振動と組み合わせて振動の特性周波数を有し、それにより、共振器構造基板の所与のポイントに配置された係留点（Ａ）での係留により、共振器構造内で機械的振動を設定し、第１の要素及び第２の要素のうちの少なくとも一方が、前記係留点（Ａ）に関して同期して振動するように構成されるように、前記第１の要素（１）及び前記第２の要素（２）が振動的に適合され、それにより、前記係留点（Ａ）の位置が実質的に、前記第１の要素（１）及び前記第２の要素（２）の寸法により画定される結合突出部内にあるように選択される。 （もっと読む）

【課題】従来に比して高感度且つ高精度であり、しかも、耐久性を向上させることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本発明による角速度センサ装置１は、正多角形状の枠体６と、その枠体６に接続された複数のマス７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとを有する駆動部を備えている。枠体６は、多角形の辺に相当する複数の駆動梁５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄから構成されており、角速度センサ装置１は、多角形の中心点に相当する中心基部２と、多角形の頂点とを結ぶ直線に相当する複数の検出梁３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを含む検出部を更に有している。 （もっと読む）

【課題】小型で且つ振動漏れの少ない振動素子、およびそれを用いたセンサーを提供する
。
【解決手段】振動素子１００は、第１支持部２０ａおよび第２支持部２０ｂと、第１支持
部２０ａに一端が接続され、Ｙ軸に沿って延出する第１振動腕１０ａと、第２支持部２０
ｂに一端が接続され、Ｙ軸に沿って延出する第２振動腕１０ｂと、第１振動腕１０ａおよ
び第２振動腕１０ｂの他端に接続され、第１振動腕１０ａと第２振動腕１０ｂとの間に配
置された揺動体３０と、開口部３０ｂ、３０ｃを備えた揺動体３０の開口部３０ｂ、３０
ｃの内壁３０ａからＹ軸に直交するＸ軸に沿って延出する検出腕４０ａ、４０ｂと、を備
えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プロセス変動、温度変動、周波数変動による特性の変動が小さく、回路規模が小さいπ／２位相シフト回路を提供する。
【解決手段】一対の差動入力端子を構成する反転入力端子２０３ａ、非反転入力端子２０３ｂを有し、差動入力端子の一方に入力信号が、他方に基準電圧が与えられるコンパレータ２０３、コンパレータ２０３から出力される出力信号を積分し、積分信号である第１出力信号と基準電圧に係る第２出力信号とを出力する積分器２０４と、積分器２０４から出力された第１出力信号と、第２出力信号とを入力し、入力信号に対してπ／２位相をシフトしたシフト信号を出力するコンパレータ２０５と、によってπ／２位相シフト回路を構成する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高くかつ効率的な測定が、とりわけコンパクトな信頼性を有しかつ効率的な測定を可能とする、振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

本発明はセンサ装置に関する。このセンサ装置は、チップ構造体（１４０、１４１、１４５）用の固定部分（１２０、１２１）を備えた柔軟なプリント回路基板（１１１）と、柔軟なプリント回路基板（１１１）の固定部分（１２０、１２１）上に配置されているチップ構造体（１４０、１４１、１４５）と、このチップ構造体（１４０、１４１、１４５）を機械的な影響から保護するための緩衝部材（１６０）とを有している。柔軟なプリント回路基板（１１１）の固定部分（１２０、１２１）と、チップ構造体（１４０、１４１、１４５）と、緩衝部材（１６）とが相互に重なって配置されている。
（もっと読む）

【課題】信頼性が高くかつ効率的な測定が可能となる、角速度についての振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）