【課題】一つのセンサーで回転角速度および加速度などの力の検出が可能で、且つ、構造が簡素で応答速度の速い複合センサー素子、それを用いた複合センサー、および、それを用いた複合センサー装置を提供する。
【解決手段】複合センサー素子１は、支持部１２、および、駆動電極１５ａ，１５ｂが設けられた振動腕１３，１４を有するジャイロ振動片１０と、基部３および錘部５が弾性を有する梁部により接続された質量部２と、を備えている。ジャイロ振動片１０は、振動腕１４と、錘部５との対向する主面５ａとが、間隙（ｇ）を空けて略平行に片持ち支持された態様で質量部２上に接合部材９６を介して接合されている。複合センサー２０は、パッケージ３０内に複合センサー素子１が接合され、パッケージ３０上にはシールリング３９を介してリッド４０が接合されている。パッケージ３０とリッド４０により形成された内部空間Ｔには気体が充填されている。 （もっと読む）

【課題】 振動型ジャイロ素子の検出精度を向上させること。
【解決手段】
基部１０と、基部から、所定面内で第１方向に延出する駆動腕２０と、記基部から、所定面内において第１方向と交差する第２方向に延出する検出腕３０と、駆動腕に設けられる駆動電極と、検出腕に設けられる検出電極と、を含み、動電極によって形成される電界による歪みによって、駆動腕２０に第２方向の駆動振動ＶＡを励振し、第１方向の軸回りに作用する角速度Ωによって、駆動腕２０に所定面に垂直な第３方向の第１検出振動ＶＢが生じ、第１検出振動が基部１０を経由して検出腕３０に伝播し、検出腕３０に、第１検出振動ＶＡに対応した第２検出振動ＶＣが励振され、第２検出振動ＶＣに基づく歪みによって検出腕３０に電界が生じ、検出腕３０に生じる電界によって電荷の移動が生じ、電荷の移動による電気信号が検出電極から出力される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡素で応答速度の速い振動型力検出センサー素子、それを用いた振動型力検出センサー、および、それを用いた振動型力検出センサー装置を提供する。
【解決手段】振動型力検出センサー素子１は、支持部１２、および両主面に励振電極１５ａ，１５ｂが設けられた振動部１４を有する振動片１０と、基部３および錘部５が弾性を有する梁部により接続された質量部２と、を備えている。振動片１０は、振動部１４と、錘部５との対向する主面５ａとが、間隙（ｇ）を空けて略平行に片持ち支持された態様で質量部２上に接合部材９６を介して接合されている。振動型力検出センサー２０は、パッケージ３０内に振動型力検出センサー素子１が接合部材９６を介して接合され、パッケージ３０上にはシールリング３９を介してリッド４０が接合されている。パッケージ３０とリッド４０により形成された内部空間Ｔには、例えばアルゴン等の気体が充填されている。 （もっと読む）

【課題】回転速度センサを提供して、この回転速度センサにより、公知の欠点を解消し、殊に障害モードを効果的に抑止してエラー信号を回避すること。
【解決手段】本発明の回転速度センサは、駆動装置と、少なくとも１つのコリオリ素子と、少なくとも２つの検出素子を備えた検出装置とを有しており、この検出装置は、結合装置によって互い結合されており、上記の駆動装置が、コリオリ素子を駆動して振動させるため、このコリオリ素子に接続されており、上記の回転速度センサはさらに、上記の検出装置およびコリオリ素子に接続された別の結合装置を有しており、この結合装置により、上記のコリオリ素子の振動面においてこの振動に直交する方向の偏位が、上記の検出装置に結合されることを特徴とする回転速度センサを構成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で小型・安価に構成することができ、安定して長寿命に動作するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】ガラスで構成されたレーザ管にＨｅ−Ｎｅガスが封入されてなる発振器と、その発振器に具備され、内部にＨｅガスを収蔵し、そのＨｅガスをレーザ管に補給することができる補給タンクとを有するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置において、レーザ管（管孔１２）の内部空間と補給タンク６１の内部空間とをガラスの隔壁６４を隔てて隣接させ、レーザ管の内部のＨｅガスの分圧と補給タンク６１の内部のＨｅガスの分圧との差により、隔壁６４を透過して補給タンク６１からレーザ管へ供給される単位時間当たりのＨｅガスの量を発振器から外部へ漏出する単位時間当たりのＨｅガスの量と等しくする。 （もっと読む）

【課題】回転速度センサを提供して、この回転速度センサにより、公知の欠点を解消して、殊に障害モードを効果的に抑止してエラー信号を回避すること。
【解決手段】本発明の回転速度センサは、駆動装置と、コリオリ素子（１１３）と、検出装置とを有しており、上記の駆動装置は、コリオリ素子を駆動して振動させるためにこのコリオリ素子に接続されている。上記の検出装置は少なくとも１つのロータを有しており、上記のコリオリ素子の振動面におけるこの振動に直角な方向の偏位を検出装置に結合するため、この検出装置およびコリオリ素子に接続された結合装置が構成されているおり、これによってコリオリ素子が相応に偏位した場合、少なくとも１つのロータを駆動するための回転トルクがコリオリ素子から少なくとも１つのロータに伝達される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小型で、角速度の検出精度が高い振動ジャイロの提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ５０は、蓋板５０Ａの主面法線方向をＺ軸とした直交座標形のＹ軸に沿って隣り合う２つの駆動質量部１３Ａ，１３Ｂの間に検出用固定構造部２Ａ，２Ｂの支柱部（２１）を配置し、駆動質量部１３Ａ，１３Ｂと支柱部（２１）との間それぞれに検出質量部１７Ａ，１７Ｂを配置し、支柱部（２１）と検出質量部１７Ａ，１７Ｂとの間それぞれに櫛歯電極を配置する構成である。 （もっと読む）

【課題】センサチップと基板との機械的な接続強度が向上され、且つ、力学量センサの体格の増大が抑制された力学量センサを提供する。
【解決手段】センサチップと、該センサチップと機械的及び電気的に接続される基材と、を備え、センサチップは、半導体基板と、センサ部と、半導体基板と基材とを機械的及び電気的に接続するための第１パッドと、半導体基板と基材部とを機械的に接続するための第１ダミーパッドと、を有し、基材は、基板と、バンプを介して第１パッドと機械的及び電気的に接続される第２パッドと、バンプを介して第１ダミーパッドと機械的に接続される第２ダミーパッドと、を有し、第１パッドは、半導体基板の中央領域内にて交差する十字線上に配置され、第１ダミーパッドは、十字線上を除く半導体基板の端に配置されている。 （もっと読む）

【課題】装置全体が小型でありながら、検出感度の高いセンサを製造することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明は基板上に形成される可動体として具現化される。その可動体は、第１枠体と、前記第１枠体に対して、互いに対向して、かつ部分的にあるいは完全に重なり合うように配置されている第２枠体と、第１ばね部を介して前記第１枠体と接続しており、かつ第２ばね部を介して前記第２枠体と接続している結合部と、第３ばね部を介して前記結合部と接続している、前記基板に固定された固定部を備えている。前記第１ばね部、前記第２ばね部および前記第３ばね部は、一方向のばね定数が他の方向のばね定数に比べて顕著に低く、実質的に当該一方向のみの相対変位を許容する。前記第１ばね部、前記第２ばね部および前記第３ばね部が相対変位を許容する方向は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い圧力中で振動型の角速度センサを作動させる場合に、粘性漏れ成分が小さくなる共振周波数によって振動子を振動することで、サーボ負荷が低減された角速度センサを提供する。
【解決手段】基板と、振動子と、互いに直交する振動軸と検出軸との２軸方向に変位可能となるように、振動子を基板に連結する梁部と、振動子を、振動軸方向に振動させる駆動部と、振動子に発生したコリオリ力による、振動子の検出軸方向への変位を静電容量の変化として検出する検出部と、静電容量の変化に基づいて、振動子の検出軸方向への変位を抑制する抑制部と、を備え、振動軸方向及び検出軸方向の共振周波数と、検出軸方向のＱ値とによって決定されるβｓｉｎθが、１以下となる共振周波数となっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、傾斜した面に設置することが出来るとともに、小型な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ケース２１と、このケース２１の内底面に設けたＩＣ２７と、ケース２１の内底面に対して傾斜する傾斜面３１を有する基台２９と、基台２９の傾斜面に設けられるとともにＩＣ２７からの駆動信号により傾斜面に対して平行に駆動振動する振動子とを備え、ＩＣ２７の上面に基台２９の下面を接合する構成とした。 （もっと読む）

【課題】構造が簡素であり、低消費電力、低コストで応答速度の速い力検出センサーを得る。
【解決手段】圧電基板、及び該圧電基板の少なくとも一方の主面上に電極膜を形成した圧電振動素子１０と、圧電振動素子１０を片持ち支持する基台５と、圧電振動素子１０の自由端部に搭載した質量部２０と、を備えた振動型力検出センサー１である。圧電基板は、振動部１４ａ、１４ｂと、該振動部の両端部を夫々支持する支持部１２ａ、１２ｂと、を備えており、質量部２０は、一方の前記支持部１２ｂに搭載されている。圧電振動素子１０は、基台５の一方の主面と直交する方向の力が作用した際に振動部１４ａ、１４ｂと前記主面との間隙が変化して振動部１４ａ、１４ｂの等価抵抗が変化するように基台５の一方の主面と並行に粘性を有する接着剤２５を介して片持ち支持されていることを特徴とする振動型力検出センサーである。 （もっと読む）

【課題】センサを密封する、MEMSセンサ・パッケージを提供する。
【解決手段】MEMSセンサ・パッケージは、MEMSセンサと、第1のリーク・レートでガスリークに浸透するセンサボディと、埋め戻し圧力までセンサボディに加圧する埋め戻しガスと、を有し、埋め戻し圧力は、MEMSセンサの減衰を提供し、埋め戻し圧力は、ガスリークのためのセンサボディ内の圧力の増加が、MEMSセンサ・パッケージに関する少なくとも特定の設計サービス寿命に関する所定の範囲を越えて、MEMSセンサのQ値の偏差に生じさせないようにセットされる。 （もっと読む）

【課題】漏れ調整と離調度調整をひとつのエッチング工程によって実現し、漏れ振動が抑制され、且つ、適正に離調度調整された高性能な水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶を所定の外形形状に加工する外形加工工程と、外形形状に電極を形成する電極形成工程と、漏れ量を測定する工程ＳＴ３と、離調度を測定する工程と、離調度の測定結果に基づいた時間エッチングを行い、外形形状を加工するエッチング工程と、を備え、エッチング工程は、エッチング時間と漏れ量測定工程の測定結果とに応じた形状のマスクを用いて外形形状のエッチングを行う漏れ量調整工程を有する水晶振動子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】複数の検出軸まわりの回転の角速度を検出することが可能な振動片、それを用い
た角速度センサー、およびそれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】振動片１は、基部５と、その基部５の第１軸方向の両端部から延出された第
１駆動アーム２および第２駆動アーム３と、基部５の側面２０３から第１軸方向と直交す
る第２軸方向に延出された検出アーム４と、基部５の両端部の側面２０３から第２軸方向
に延出された第１連結梁７および第２連結梁８と、基部５と平行に延びて第１連結梁７と
第２連結梁８との先端同士を接続する支持部６と、を含む。第１および第２駆動アーム２
，３の第１表面２０１上には第１軸方向に沿って並行に設けられた第１および第２駆動電
極１２Ａ，１２Ｂが形成され、検出アーム４の第１表面２０１上には第２軸方向に沿って
並行に設けられた一対の第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の検出軸まわりの回転の角速度を検出することが可能な振動片、それを用い
た角速度センサー、およびそれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】第１基部６Ａと、第１基部６Ａの第１軸方向の両端部から略同じ長さで延出
された第１駆動アーム２Ａおよび第２駆動アーム３Ａと、第１基部６Ａの第１軸方向と直
交する第２軸方向の一方の端部から延出された第１検出アーム４Ａと、第１基部６Ａの第
１検出アーム４Ａが延出された一端部とは反対側の他端部から延出された接続部５と、接
続部５に一端部が接続された第２基部６Ｂと、第２基部６Ｂの接続部５と接続された一端
部とは反対側の他端部から第１検出アーム４Ａと略同じ長さで延出された第２検出アーム
４Ｂと、第２基部６Ｂの第１軸方向の両端部から第１および第２駆動アーム２Ａ，３Ａと
略同じ長さで延出された一対の第３および第４駆動アーム２Ｂ，３Ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板面に直交して変位する第１可動部分と、基板面に平行に変位する第２可動部分とを備えた構造体を積層構造体で実現し、第１可動部分と第２可動部分を入れ子構造とすることによって製造コストを低下させる。
【解決手段】積層構造体１０は、枠状の外側可動部２０と、外側可動部２０の枠内に収容されている内側可動部３０とを備えている。外側可動部２０にｙばね２１が接続されており、ｙばね２１によって外側可動部２０が外側基板８１から離反した高さにおいてｙ軸方向に変位可能に支持されている。内側可動部３０にｚばね３１が接続されており、ｚばね３１によって内側可動部３０が外側基板８１から離反した高さにおいてｚ軸方向に変位可能に支持されている。外側可動部２０とｚばね３１は、基板８１からの高さを異にしており、ｚばね３１が外側可動部２０から離反した高さにおいて外側可動部２０と立体交差している。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロスコープのノイズ信号のノイズレベルを低減する。
【解決手段】振動子２が、一対の主面と側面と振動子の周縁から突出する突出部２４とを備えている。振動型ジャイロスコープが、振動子の少なくとも側面上に形成されている駆動電極１１Ｊ−１１Ｑ、振動子の少なくとも側面上に形成されている検出電極１４Ｅ−１４Ｈ、側面上に形成されており、駆動電極に接続されている第一の導電膜１８、２０、および側面上に形成されており、検出電極に接続されている第二の導電膜１９、２１を備えている。突出部２４において、第一の導電膜１８、２０と第二の導電膜１９、２１とが絶縁されている。 （もっと読む）

【課題】固定部と該固定部の外径側を囲むように配設された錘とを複数の梁で連結してなる振動体を備えたセンサ素子を例えばＳＯＩウェハを用いたＳｉウェハ一括プロセス処理で形成できるようにした振動体型力学量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】振動体１１を備えたセンサ素子よりなる振動体型力学量センサにおいて、前記センサ素子は半導体部材から形成されたものであるとともに、振動体１１は固定部１２と固定部１２の外径側を囲むように配設された錘１４とを複数の梁１３で連結したものであり、さらに、前記センサ素子の一方の面にガラス基板１０１が接合され、固定部１２がガラス基板１０１側と接合されることにより振動体１１がガラス基板１０１で機械的に支持されてなる構成としている。 （もっと読む）

【課題】 振動型ジャイロ素子の検出精度を向上させること。
【解決手段】 振動型ジャイロ素子は、基部１０と、基部から、所定面内で第１方向に延出する駆動腕２０と、基部１０から、所定面内において第１方向と交差する第２方向に延出する検出腕３０と、駆動腕２０に設けられる駆動電極と、検出腕に設けられる検出電極と、を含み、駆動腕２０は、駆動電極によって形成される電界による歪みによって、所定面に垂直な第３方向に振動し、これによって駆動振動ＶＡが生じ、第１方向の軸回りに作用する角速度によって駆動腕２０に第１検出振動ＶＢが生じると、検出腕３０に、第１検出振動ＶＢに対応した第２検出振動ＶＣが生じ、第２検出振動ＶＣに基づく歪みによって検出腕３０に電界が生じ、検出腕に３０生じる電界によって電荷（Ｑ１〜Ｑ４）の移動が生じ、電荷（Ｑ１〜Ｑ４）の移動による電気信号が検出電極から取り出される。 （もっと読む）