【課題】温度で変化するバイアスを低減するために、振動構造姿勢制御装置を調整するための方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）振動構造姿勢制御装置を較正するための方法が、提供される。方法は、少なくとも１つの駆動電極に対する少なくとも１つのプルーフマスの位置の示度を取得するステップと、少なくとも１つのプルーフマスを少なくとも１つの駆動電極に対する第１の位置に配置するように構成された静電力を、少なくとも１つのプルーフマスに、示度の関数として加えるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】振動開始時の駆動振幅レベルが微弱な振動子を短時間で確実に起動する。
【解決手段】駆動切替回路７は、振幅検出回路５により検出された駆動振動の振幅が、振動子１と定常駆動信号生成回路４とで閉ループを形成した場合に持続的な振動を励振可能な振幅範囲内に設定されたしきい値未満の場合には、初期駆動信号生成回路６から出力される初期駆動信号を選択する。初期駆動信号生成回路６は、上記閉ループを形成した場合に持続的な振動が励振される駆動周波数を、振動子１の駆動開始時から含むようにまたは駆動開始後に含むように初期駆動信号を生成する。検出振幅がしきい値以上になった場合、駆動切替回路７は、定常駆動信号生成４から出力される定常駆動信号を選択する。 （もっと読む）

【課題】枠体に支持された錘部に作用する複数の変位を許容できるバネ構造体、物理量センサー、電子機器を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のバネ構造体１０は、接続部１２と、前記接続部１２を中心に直交する軸を第１軸および第２軸としたときに、前記接続部から第１軸の方向に延出し、第１折曲部２４で折り返され、端部に第１支持部２６を有する第１バネ２０と、前記接続部１２から前記第２軸の方向に延出し、第２折曲部３４で折り返され、端部に第２支持部３６を有する第２バネ３０と、前記第１軸および前記第２軸に平面視で交差する方向であり且つ前記第１及び第２バネ２０，３０から離間する斜め方向に、前記接続部１２からビームが延出し、前記ビームは前記斜め方向に交差する方向に分岐され、一方のビームは第３折曲部４４で折り曲げられ第３支持部４５を端部に有し、他方のビームは第４折曲部４６で折り曲げられ第４支持部４７を端部に有する第３バネ４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度を容易に測定することを考慮した方法を提供すること。
【解決手段】長尺体の直線度を測定する測定方法は、角速度センサーが取り付けられた移動体を、長尺体にガイドされながら移動させる移動工程（Ｓ２）と、前記移動体が移動した際の前記角速度センサーの姿勢の変化の情報を前記角速度センサーが取得する取得工程（Ｓ３）と、前記角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、情報処理部が関連づけして情報処理する情報処理工程（Ｓ４）と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子をパッケージに収容した振動型の角速度センサに関して、小型化に伴う振動型の角速度センサの検出感度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を解決するために、本発明は、駆動電極１０と検出電極１１を有する振動子２と、振動子２を収容するパッケージ１を備えた振動型の角速度センサにおいて、パッケージ１の内周面と近接する振動子２の少なくとも一部を、その断面形状がパッケージ１に近づくにつれて薄くする構造としたのである。 （もっと読む）

【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。
【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】有効な検出範囲をできるだけ確保しながら出力電圧範囲を所望の範囲に制限することが可能な検出回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】検出回路３０は、感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）及びオフセット調整部（オフセット調整ＤＡＣ３４２と同期検波回路３４０）の少なくとも一方と、電圧制限部（リミッター回路３７０）と、を含む。感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）は、センサー素子４の検出感度に応じて検出信号（角速度信号）の電圧範囲を調整する。オフセット調整部（オフセット調整ＤＡＣ３４２と同期検波回路３４０）は、センサー素子４の出力オフセットに応じて検出信号（角速度信号）の０点電圧を調整する。電圧制限部（リミッター回路３７０）は、感度調整部及びオフセット調整部の後段に設けられ、検出信号（角速度信号）の電圧を所望の範囲に制限する。 （もっと読む）

【課題】多軸に対応したセンサーモジュール及びそれを備えたセンサーデバイスの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、互いに直交する３つの支持面１１，１２，１３を有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２、外部接続端子２３を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が支持部材１０の各支持面１１，１２，１３に取り付けられた３つのＩＣチップ２０と、基部３１と基部３１から延伸された各振動腕（３２ａ，３２ｂなど）と接続電極３９とを有する３つの振動ジャイロ素子３０と、ＩＣチップ２０の外部接続端子２３と接続されたフレキシブル配線基板４０，４０ａと、を備え、各振動ジャイロ素子３０は、各ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、一方の主面３０ａが支持面１１，１２，１３に沿うように、接続電極３９が各ＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられ、フレキシブル配線基板４０は、配線パターン層４３を有する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動や抵抗値のばらつきに起因する起動時間の変動を低減することが可能な駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】判定回路２６０は、センサー素子４が出力する駆動電流がＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて得られる判定対象信号ＬＰＦＯの電圧と判定電圧との大小関係を判定する。駆動信号生成回路２３０は、判定回路２６０の判定結果に基づいて、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えるまではセンサー素子の自励発振を補助する発振器２８０の発振信号に基づいて駆動信号を生成し、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えた後はＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号を生成する。判定電圧ＶＲ２は、１又は複数の抵抗に定電流を流すことにより得られる電圧と基準電圧とを加算又は減算して得られる電圧である。 （もっと読む）

【課題】検出特性の劣化を抑制しつつ、薄型化可能なセンサーモジュールの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、第１平面１１と、第１平面１１に直角に接続された第２平面１２と、第１平面１１及び第２平面１２に直角に接続された第３平面１３と、第１平面１１に対向し外部部材への取り付け面としての第４平面１４と、を有し、第１平面１１が、第１平面１１から陥没した支持面１１ａを有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が、支持部材１０の各面１１ａ，１２，１３にそれぞれ取り付けられたＩＣチップ２０と、接続電極３９を有した振動ジャイロ素子３０と、を備え、振動ジャイロ素子３０は、ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、主面３０ａが支持部材１０の各面１１ａ，１２，１３にそれぞれ沿うように、接続電極３９がＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で位相同期を行うことができるデジタル位相同期回路および物理量検出センサを提供する。
【解決手段】位相比較部は、サンプリング値の符号情報を示す符号クロックＣＬＫ１と分周器の分周クロックＣＬＫ２との位相差を算出する。このとき、位相比較部は、符号クロックＣＬＫ１による立上りタイミングからダウンカウントし、分周器の分周クロックＣＬＫ２による立下りタイミングにてアップカウントし、符号クロックＣＬＫ１による立上りタイミングにて得られたカウント値を位相比較カウント値として出力する。そして、加算器が、位相比較カウント値に位相補正部の位相補正値を加算してループフィルタに出力する。 （もっと読む）

【課題】応力に起因したＭＥＭＳの固有振動数の変動を抑制することにより、ＭＥＭＳの検出感度の変動による測定精度の劣化を抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】まず、半導体基板２の変形によって固定部３ａ〜３ｄは半導体基板２のｙ方向において外側方向に変位する。可動体５は、半導体基板２から浮いた状態で配置されているので、半導体基板２の変形の影響は受けずに変位しない。したがって、梁４ａには引張応力（＋σ１）が発生し、梁４ｂには圧縮応力（−σ２）が発生する。このとき、梁４ａと梁４ｂを組み合わせたバネ系を考えると、梁４ａに働く引張応力に起因するバネ定数の増加と、梁４ｂに働く圧縮応力に起因するバネ定数の減少が互いに相殺する。 （もっと読む）

【課題】検波タイミング信号の精度を改善し、且つ、位相シフト回路の面積を低減する。
【解決手段】位相シフト回路１４は、検波回路１６の検波タイミングを制御するタイミング信号を生成し、コンパレータ１４０と、カウント信号生成部１４２と、位相差測定部１４４と、タイミング信号生成部１４６と、を備える。コンパレータは、キャリア成分の信号レベルに応じた２値信号を生成する。カウント信号生成部は、２値信号の第１エッジを０度とするときの第１エッジに対する位相角をカウントし、カウントした位相角が９０度を超えたときに出力レベルが反転するカウント信号を生成する。位相差測定部は、２値信号とカウント信号との位相差を測定し、キャリア成分がゼロクロスするタイミングの情報を含む時間信号を生成する。タイミング信号生成部は、カウント信号及び時間信号に基づいて、検波回路１６の検波タイミングを制御するタイミング信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】逆相駆動変位する駆動質量体、及び逆相変位で検出する検出質量体のそれぞれの共振周波数を一意に定めることができ、かつ検出質量体が駆動振動により駆動変位相当の変位を伴わないようにした容量検出型の振動型ジャイロの提供。
【解決手段】左右の駆動質量体４及び６がそれぞれ、Ｘ方向に可動となるように、Ｘ方向の剛性が他方向の剛性に比べ低くなるように構成された少なくとも１つの第１の支持梁８及び１０の一端に接続され支持されている。左右の駆動質量体４及び６は、第１の連結ばね１２により互いに結合されている。連結ばね１２は、少なくともＸ方向及びＹ方向についてその剛性が調整されており、Ｘ方向の剛性は左右の駆動質量体４及び６が逆相振動モードを有し、Ｙ方向の剛性は連結ばね２６と協働して左右の検出質量体１４及び１６が逆相振動モードを有するように調整されている。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、互いに直交した面と面との間でワイヤーボンディングを行う必要がないセンサーモジュールの製造方法等を提供する。
【解決手段】集積回路１８と第１電極１５及び第２電極１６を有する半導体基板の第１の面に樹脂層２０を形成する工程と、樹脂層２０の第２の面に第１電極１５と接続する第１配線３１と第２電極１６と接続する第２配線３２とを形成する工程と、前記樹脂層２０の上方で第１配線３１と第１振動子６０を電気的に接続する工程と、半導体基板を分割し第１半導体基板１１と第２半導体基板１２を形成する工程と、第１半導体基板１１と第２半導体基板１２の間の樹脂層２０を屈曲させ第１構造体７０を形成する工程と、第４の面に第３配線９１を有する配線基板９０を準備する工程と、第１構造体７０を配線基板９０の第４の面に搭載する工程と、第２配線３２と第３配線９１とをワイヤーボンディングによって接続する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】対称回路の評価を適正に行うことができるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣの半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して設けられた複数の再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板に形成された電極とセンサー素子に形成された電極を電気的に接続する。半導体基板の第１の面には、対称性を有する第１，第２の信号をそれぞれ生成するＱＶアンプ１１０，１２０（第１，第２の回路の一例）、配線１１２，１２２（第１，第２の配線の一例）、配線１１２，１２２を介して第１，第２の信号がそれぞれ供給されるパッド７０−１（第１の電極の一例），７０−ｎ（第２の電極の一例）がさらに形成され、半導体基板の第１の面に直交する方向から視た平面視において、配線１１２の形状と配線１２２の形状が対称性を有する。 （もっと読む）

【課題】機械構造及びこれらの機械構造を基板に固定するためのアンカーを含むＭＥＭＳ装置及びその製造技術を提供する。
【解決手段】アンカー３０ａ、３０ｂ、３０ｃは、機械構造２０ａ、２０ｂ、２０ｃの解放プロセスによる影響を比較的受け難い材料で形成される。エッチング解放プロセスは、機械構造２０ａ、２０ｂ、２０ｃをアンカー３０ａ、３０ｂ、３０ｃを構成する材料に固定する材料に対し、選択的又は優先的である。更に、アンカー３０ａ、３０ｂ、３０ｃは、絶縁層の除去が機械構造２０ａ、２０ｂ、２０ｃの基板１４に対する固定にほとんど又は全く影響を及ぼさないように基板１４に固定される。 （もっと読む）

【課題】単一の機械的な共振構造で構成できる、２軸ヨーレート検知ユニットを提供する。
【解決手段】反対に位置する２つの対を成して同一平面上に配置される４つの開放端音叉Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４を含み、第１の対の開放端音叉は第１の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第２の対の開放端音叉は第２の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第１の軸及び第２の軸は互いに対して垂直である。４つの開放端音叉は、４つの開放端音叉が全て周波数及び位相に関して同じように振動するように、機械的に互いに結合される。 （もっと読む）

【課題】ＱＶアンプの特性変動を低減させるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣ１０は、半導体基板１１の第１の面１１Ａに集積回路と電極とが形成されている。センサー素子２０は、振動部を有し、半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向する面に電極が形成されている。半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して１又は複数の再配置配線３０が設けられ、再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板１１に形成された電極とセンサー素子２０に形成された電極を電気的に接続する。ＱＶアンプ１１０，１２０は、センサー素子２０の検出信号が入力され、半導体基板１１の第１の面１１Ａに直交する方向から視た平面視において、センサー素子２０の振動部と重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】可動電極と固定電極が同一層に形成され、可動部の変位が支持基板の厚さ方向に対して生じるセンサの場合、可動部の変位の大きさを検出することができても、変位の方向を検出することができない。
【解決手段】半導体物理量検出センサに、(1) 可動電極と、前記可動電極と共通の第一の導電層に形成された第一の固定電極とで形成される第一の静電容量と、(2) 可動電極と、前記可動電極とは基板面上からの高さが異なる第二の導電層に形成された第二の固定電極とで形成される第二の静電容量と、(3) 物理量が印加されたときに生じる第一及び第二の静電容量の変化に基づいて物理量を算出する演算回路とを設ける。ここで、第一の静電容量からの電気信号と第二の静電容量からの電気信号が、それぞれ演算回路に入力される。 （もっと読む）