【課題】高性能の角速度検出装置を提供する。
【解決手段】励振素子１３、コリオリ素子１４を含む駆動部を、固定端を共有している少なくとも２本の振動方向と直交する方向に延びる固定梁１２ａによって浮揚し、振動させている。実装または、熱の変動によって基板が変形したとしても、固定梁と支持梁に発生する内部応力は小さく、共振周波数や振動振幅などの振動状態を一定に保つことができる。そのため、実装環境の変化にロバストな高性能角速度検出装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサー及びこれを用いた角速度検出方法に関する。
【解決手段】本発明による慣性センサーは、支持体により変位可能に支持された駆動部と、前記駆動部を振動させる駆動電極と、前記駆動部に作用する所定方向の力を検出する検出電極と、を含み、前記駆動部は、慣性センサーの中央に位置したセンター駆動マスと、前記センター駆動マスに連結及び連動され、センター駆動マスを中心に四方に位置するサイド駆動マスと、前記センター駆動マス、前記サイド駆動マス及び前記支持体を連結する連結ブリッジと、を含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、角速度センサー７１１が実装された第１のリジッド基板２１と、角速度センサー７１２が実装された第３のリジッド基板２３とを有する実装基板２と、実装基板２を固定する台座３とを有している。また、台座３は、ｘ軸およびｙ軸に沿う第１固定面を有する基部３１と、基部３１上に設けられ、且つ、ｘ軸およびｙ軸に沿う第２固定面およびｙ軸およびｚ軸に沿う第３固定面の少なくとも一方を有した突出部４１〜４４と、を含み、リジッド基板２１、２２、２３の各々は、第１固定面、第２固定面または第３固定面に支持され、角速度センサー７１１、７１２は、検出軸が互いに交わっている。 （もっと読む）

【課題】面積が小さく、消費電流を大幅に低減することができるスイッチトキャパシター積分回路、フィルター回路、物理量測定装置、及び電子機器等を提供する。
【解決手段】スイッチトキャパシター積分回路としての２重正相積分回路１０は、第１の容量ＣＡを有し、第１の期間において入力信号に対応した電荷を第１の容量ＣＡに充電する第１の電圧電荷変換回路２０と、第２の容量ＣＢを有し、第２の期間において第１の容量ＣＡに充電された電荷の一部を第２の容量ＣＢに充電し、第２の容量ＣＢに充電された電荷の一部を転送する第１の電荷積分回路３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、優れた信頼性を発揮するこのとのできる回路基板、センサーモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーモジュール１は、下面４２に形成されたアナログ回路部４２１および上面４１に形成されたデジタル回路部４１１を有する実装基板４と、実装基板４の下面４２側に設けられた２つの角速度センサー７１２、７１３が実装基板４に対して縦置きに設けられている回路基板２と、実装基板４の下面４２と対向するように配置され、回路基板２を支持する台座３とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡単な構成でありながら、回転方向を識別することができるとともに微小な回転角速度を高精度に計測することのできるジャイロセンサを提供する。
【解決手段】ＬＤ１からのレーザー光は、分岐部である偏波スプリッタ４並びに偏波フィルタ５および６により、偏光状態が互いに異なる第１の光Ｌ_１と第２の光Ｌ_２に分岐され、環状ファイバ７を互いに逆方向に通過する。環状ファイバ７は、少なくとも一部に偏光状態に応じて通過する光の速度が異なる媒質を含む。環状ファイバ７を通過した第１の光Ｌ_１と第２の光Ｌ_２との干渉光を、光電変換部８により検出する。 （もっと読む）

【課題】有効な検出範囲をできるだけ確保しながら出力電圧範囲を所望の範囲に制限することが可能な角速度検出回路、集積回路装置及び角速度検出装置を提供すること。
【解決手段】角速度検出回路（検出回路３０）は、角速度検出素子４の出力信号に含まれる角速度成分を検波する検波部（同期検波回路３４０）と、検波部（同期検波回路３４０）の出力信号に基づいて角速度信号を生成する角速度信号生成部と、を含む。角速度信号生成部は、角速度検出素子４の検出感度に応じて角速度信号の電圧範囲を調整する感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）と、感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）の後段に設けられ、角速度信号の電圧を所望の範囲に制限する電圧制限部（電圧制限回路３７０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、内側に固定面１０１、１０２を有する固定部材３と、固定部材３の固定面１０１、１０２に直接または間接的に固定された少なくとも１つの電子部品７とを有し、固定部材３が、電子部品７を収容するケーシング１０の一部を構成する。また、固定面１０１、１０２は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】本発明に係る静電容量型の物理量センサは、センサ特性の低下を招くことなく、小型化あるいはセンサの感度を向上させる物理量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】物理量センサは、フレーム部と、フレーム部の内側に配置された錘部と、錘部とフレーム部とを接続する可撓部と、を備えた半導体基板と、フレーム部の一方の側に接合された第１支持基板と、フレーム部の他方の側に接合された第２支持基板と、第１支持基板と第２支持基板の少なくとも一方に設けられ、第１支持基板又は第２支持基板の一方の側と他方の側を導通する配線用端子と、第１支持基板の面上に設けられ、錘部と対向する第１電極と、第２支持基板の面上に設けられ、錘部と対向する第２電極と、を備え、フレーム部には前記フレーム部の一方の側と他方の側を導通する貫通配線部が配設され、貫通配線部と前記配線用端子とは電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】回転角速度を短時間で算出できる磁気式ジャイロを提供する。
【解決手段】磁気式ジャイロ１は、３軸磁気センサ２と、メモリ３と、回転軸決定手段１０と、回転角速度算出手段１１と、回転角速度出力手段１２とを備える。回転角速度算出手段１１は、メモリ３に蓄積された磁気ベクトルのデータと時刻データとに基づいて、回転運動の回転角速度を算出する。回転角速度算出手段１１は、３軸磁気センサ２によって検出した磁気ベクトルＨと、ΔＨ（＝Ｈ−Ｈ’）と、回転軸と磁気ベクトルＨとの間の角度αを、下記数式
｜ω｜＝｜Ｈ×ΔＨ｜／（｜Ｈ｜^２・ｓｉｎα・Δｔ）
に代入することにより、被測定体の回転角速度ベクトルωの絶対値｜ω｜を、回転角速度として算出する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスとの熱膨張の整合がよくとれた基板を有する構造の製造方法を提供する。
【解決手段】ボンディングされたエッチ・バック絶縁体上シリコン（以降は、ＢＥＳＯＩと称する）方法に基づく。ＢＥＳＯＩ方法はＳＯＩウェハ４０を含み、該ＳＯＩウェハ４０は、ハンドル・レイヤ４６、二酸化ケイ素からなる誘電体レイヤ４４、及びデバイスレイヤ４２を有する。ＳＯＩウェハ４０のデバイスレイヤ４２をメサ・エッチングによってパターン形成した後、該ＳＯＩウェハ４０を、パターン形成されたデバイスレイヤを有する別の基板にボンディングする。その後、ＳＯＩウェハ４０のハンドル・レイヤ４６、及び誘電体レイヤ４４をエッチングによって除去される。さらに、デバイスレイヤ４２をエッチングしてＭＥＭＳ装置を形成する。このＢＥＳＯＩ方法では、二酸化ケイ素誘電体レイヤ４４が除去された後に構造エッチングが実行される。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、周囲温度の変化に対する特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された所定長さの基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６と、前記基部の一端側より所定距離だけ離れた他端側に接続される連結部７３と、前記連結部に接続され、圧電振動片の幅方向に延長される接続部７４と、前記接続部に接続され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アーム６１，６２とを備え、振動腕３５、３６が接続されている基部５１の一端から、圧電振動片の振動腕３５、３６の反対側の一端までの長さ寸法ｈと、前記連結部を介して前記支持用アームが前記基部に接続されている接続部の幅寸法Ｌ３との比率であるＬ３／ｈが、４０％以下とされている、圧電振動片である。 （もっと読む）

【課題】厚みおよび幅の寸法の調整に因らずに共振周波数を低くすることが可能な振動子と、その振動子を用いて角速度を高い感度で検出することができる振動ジャイロとを実現する。
【解決手段】振動ジャイロ１１は、振動子１を備えている。振動子１は、複合梁部２Ａ〜２Ｄを備えている。複合梁部２Ａ〜２Ｄは、互いに並行する外周側梁部３Ａ〜３Ｄと、内周側梁部４Ａ〜４Ｄとを両端の剛接部６Ａ〜６Ｄで剛接した構成である。各複合梁部２Ａ〜２Ｄの外周側梁部３Ａ〜３Ｄと内周側梁部４Ａ〜４Ｄとは、互いに反対称に撓んで、両端間隔が変化するように振動する振動モードを有している。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができる電子デバイスを提供すること、また、かかる電子デバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサーデバイス１（電子デバイス）は、ＩＣチップ２０およびセンサー素子３０と、ＩＣチップ２０を支持する支持部材１０と、支持部材１０が設置される設置面を有し、ＩＣチップ２０、センサー素子３０および支持部材１０を収納するパッケージ３とを有し、支持部材１０は、設置面に固定される底部１０ａと、底部１０ａの外周部から設置面とは反対側に延出する壁部１０ｂ、１０ｃとを備え、ＩＣチップ２０は、壁部１０ｂ、１０ｃの底部１０ａ側の壁面に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度の低下が抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】ｚ方向の回りである周方向に振動する振動子（５１）と、アンカー（３０）と振動子（５１）とを連結する連結梁（５５）と、振動子（５１）のｚ方向の変位を検出する第１検出部（６７）と、を有する角速度センサであって、環状の外部振動子（５７）と、外部振動子（５７）によって囲まれた領域内に配置された環状の内部振動子（５６）と、が第１連結梁（８０）を介して連結され、第１連結梁（８０）とアンカー（３０）とが第２連結梁（８１）を介して連結されており、第２連結梁（８１）が、第１連結梁（８０）における外部振動子（５７）と内部振動子（５６）とが周方向にて互いに逆向きに連成振動した際に節となる部位（Ｐ２）に連結されている。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動片の振動腕の側面に厚さ方向に分離した電極を高精度にパターニングする。
【解決手段】屈曲振動片２１は、基部２２から延出する断面矩形の振動腕２４が下面２４ｂ及び上面２４ａと左側面２４ｃ及び右側面２４ｄとの間に、それぞれ左側面及び右側面に交わる段差面２７ａ，２８ａと上面及び下面に交わる段差側面２７ｂ，２８ｂとからなる第１、第２段差部２７，２８を有し、左右側面の第１、第４検出電極２９ａ，２９ｄと段差側面の第２、第３検出電極２９ｂ，２９ｃとが、電極膜を形成していない段差面２７ａ，２８ａの部分によりそれぞれ振動腕の厚さ方向に分離されている。第１〜第４検出電極は、従来のフォトエッチングにより、一般的な露光機を用いた上下面からの露光によって高精度にパターニングされる。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡易な構成の角速度センサ、半導体装置及び携帯機器を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様である角速度センサ１００は、リングオシレータ１１及び検出回路１３を有する。リングオシレータ１１及び検出回路１３は、半導体基板上に形成される。リングオシレータ１１は、インバータＩＶＶ１〜ＩＮＶ３からなる遅延パスを有する。検出回路１３は、リングオシレータ１１の発振周波数の変動量から、回転の角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】小型化しても、振動腕の面外振動による振動漏れを有効に除去し得る屈曲振動片及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基部２、１対の駆動用振動腕３ａ，３ｂ、１対の検出用振動腕４ａ，４ｂ、駆動電極及び検出電極を有する両側音叉型屈曲振動片１は、振動腕と基部との結合領域に形成された金属材料等の調整膜６ａ，６ｂを有する。調整膜は、駆動用振動腕と基部との結合部に形成されたテーパ部５ａ，５ｂの領域Ｓ１と、テーパ部に近い基部の領域Ｓ２及び駆動用振動腕の領域Ｓ３とを含むように形成される。調整膜は、駆動モードで駆動用振動腕を励振したときに検出電極から出力される検出電流をモニタリングしながら、それが０となるようにレーザー光照射等により部分的に削除される。 （もっと読む）

【課題】駆動モードにおけるエラー検出信号の発生を効果的に抑制し得る圧電振動ジャイロ用の屈曲振動片を提供する。
【解決手段】両側音叉型の屈曲振動片１１は、支持部１２に接続された１対の駆動用振動腕１３及びそれとは逆向きの１対の検出用振動腕１４を有する。支持部は、幅方向の両側部に形成した細溝状の凹部１７ａ，１７ｂと、その平面部の略中央にかつ凹部よりも駆動用振動腕側に形成した貫通孔１８とを有する。支持部の表面には、支持部の両側部の凹部と平面部の貫通孔とにより長手方向に隔てられて、駆動用振動腕の駆動電極から引き出した駆動用電極パッドが駆動用振動腕側に、検出用振動腕の検出電極から引き出した検出用電極パッドが検出用振動腕側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のジャイロセンサー１０は、基板５０と、アンカー部１２を介して前記基板５０の上方に配置され、回動振動する駆動部２４と、前記駆動部２４に接続された検出部２０と、前記基板５０に配置されている駆動電極部５６と、前記検出部２０に平面視で対向して前記基板５０に配置されている検出電極部５４と、を有し、前記駆動部２４には、空隙部が複数設けられ、前記駆動電極部５６の少なくとも一部は、平面視で前記空隙部に重なって設けられていることを特徴とするジャイロセンサー。 （もっと読む）