【課題】機械的構造体の適切な、向上した及び／又は最適な動作のための制御された又は制御可能な環境を含むＭＥＭＳを提供する。
【解決手段】機械的構造体の少なくとも一部の上に犠牲層を堆積させ、該犠牲層の上に第１の封止層を堆積させ、犠牲層の少なくとも一部を露出させるように第１の封止層を貫通して少なくとも１つのベントを形成し、犠牲層の少なくとも一部を除去してチャンバを形成し、少なくとも１つの比較的安定したガスをチャンバに導入し、少なくとも１つのベント上又は少なくとも１つのベント内に第２の封止層を堆積させ、これにより、チャンバをシールし、この場合、前記第２の封止層が、半導体材料である。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置のためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】一実施形態では、第１の基層と、第１の基層に接合される第１のデバイス層であり、第１の組のＭＥＭＳデバイスを含む、第１のデバイス層と、第１のデバイス層に接合される第１の上部層であり、第１の組のＭＥＭＳデバイスが密閉して分離される、第１の上部層とを含む第１の二重チップをシステムは備える。第２の基層と、第２の基層に接合される第２のデバイス層であり、第２の組のＭＥＭＳデバイスを含む、第２のデバイス層と、第２のデバイス層に接合される第２の上部層であり、第２の組のＭＥＭＳデバイスが密閉して分離され、第１の上部層の第１の上部表面が第２の上部層の第２の上部表面に接合される、第２の上部層とを含む第２の二重チップをシステムはさらに備える。 （もっと読む）

【課題】漏れ信号を無くし、検出部の振動を妨げない、高感度且つ量産性に優れた、小型の振動ジャイロを提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚの３つの軸で表される空間において、駆動アーム２０、２１はＸ軸方向の屈曲振動を励振する駆動手段、検出アーム３０、３１はＸ軸方向の屈曲振動を検出する検出手段、検出アーム３２、３３はＺ軸方向の屈曲振動を検出する検出手段を備えている。駆動アーム２０、２１と検出アーム３２、３３のＸ軸方向の長さは異なっており、連結部１０のＹ軸方向の長さは駆動アーム２０、２１のＸ軸方向の長さに対して２〜５倍、連結部１２のＹ軸方向の長さは検出アーム３２、３３のＸ軸方向の長さに対して２〜５倍の長さを有している。また、駆動アーム２０、２１と、連結部１０、１１、１２と、検出アーム３２、３３と、付加質量５０、５１、５２、５３とは、検出アーム３０、３１に平行な中心線で線対称である。 （もっと読む）

【課題】３層チップスケールＭＥＭＳデバイスのためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスのためのシステムおよび方法が提供される。一実施形態では、システムは、第１の外側層と、第１の組のＭＥＭＳデバイスを含む第１のデバイス層とを備え、第１のデバイス層は第１の外側層に接合される。システムは、第２の外側層と、第２の組のＭＥＭＳデバイスを含む第２のデバイス層とをさらに備え、第２のデバイス層は第２の外側層に接合される。さらに、システムは、第１の側と、第１の側と反対側の第２の側とを有する中央層を備え、第１の側は第１のデバイス層に接合され、第２の側は第２のデバイス層に接合される。 （もっと読む）

【課題】高い検出感度を有する小型の物理量センサー及びこれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】ベース基板１２上の第１軸の方向に配置され、振動可能な一対の第１可動質量部（３４Ａ、３４Ｂ）と、第２軸の方向に配置され、振動可能な一対の第２可動質量部（４０Ａ、４０Ｂ）と、第１可動質量部及び第２可動質量部を互いに逆相に振動させる振動手段と、第１可動質量部及び第２可動質量部の少なくとも一方に設けられ、３軸のうち少なくとも一つの軸回りに発生する力を検知する力検出手段とを備え、第１可動質量部には、第２軸の両方向に延出する第１アーム２８が設けられ、第２可動質量部には、第１軸の両方向に延出する第２アーム３０が設けられ、第１アーム２８及び第２アーム３０は、両アームが交わる位置に配置され、且つベース基板１２に固定された支持部３２により支持されている。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）センサを提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサは、基板と、第１の複数の櫛を有する少なくとも１つのプルーフマスとを備えている。プルーフマスは、プルーフマスおよび第１の複数の櫛が移動することができるように、１つまたは複数の懸垂ビームを介して基板に結合されている。また、ＭＥＭＳセンサは、さらに、第２の複数の櫛を有する少なくとも１つのアンカを備えている。アンカは、アンカおよび第２の複数の櫛が基板に対して所定の位置に固定されるように、基板に結合されている。第１の複数の櫛は、第２の複数の櫛と交互配置されている。これらの櫛の各々は、１つまたは複数の非導電層によって互いから電気的に隔離された複数の導電層を備えている。個々の導電層は、これらの櫛の間の容量が可動櫛の平面外方向の変位に対して概ね直線的に変化するように、対応する個々の電位に個別に結合されている。 （もっと読む）

【課題】移動する物体の角速度及び回転方向を精度良く検出することができる光ジャイロを提供する。
【解決手段】リング形状の導波路を有する光共振器と、一方向に配列された複数の光検出素子を有する光検出器と、光共振器内を時計回り及び反時計回りで伝搬する光を、光共振器から光検出器へ導く検出用導波路と、を同一の基板上に備える。検出用導波路は、時計回りの光用の導波部と反時計周りの光用の導波部を有し、各導波部の出力端から出力される光のなす角が０度よりも大きく１度以下となるように２つの導波部が配置される。光検出器は、各導波部の出力端から出力される光が重なりあう位置であって、２つの導波部の光軸を線対称の関係とする軸と、光検出素子が配列された配列方向とのなす角が、０度よりも大きく４０度以下となるように検出用導波路に対して配置される。 （もっと読む）

【課題】低コスト、高信頼性、および小さなセンサを可能とする、ウェハレベルパッケージプロセスを提供する。
【解決手段】下カバーウェハ２１０および上カバーウェハ２３０を提供するステップと、基板層上に複数のＭＥＭＳ装置を含む半導体ウェハを提供するステップと、半導体ウェハを下カバーウェハの第１表面に接合するステップと、上カバーウェハの第２表面を半導体ウェハに接合するステップと、を有する。下カバーウェハの第１表面および上カバーウェハの第２表面は、半導体ウェハに接合されたときに、複数の密封シールされるキャビティ区域を画定し、ＭＥＭＳ装置の各々は、シールされるキャビティ区域の１つの内側に配置される。上カバーが半導体ウェハに接合された後に、上カバーウェハの第１表面から上カバーウェハの第２表面まで延びる複数の穴が形成される。その後、各穴に金属リード層が堆積され、ＭＥＭＳ装置に電気的接続を提供する。 （もっと読む）

【課題】小型で、オーバーエッチングにより所定の周波数からの周波数偏差の少ない圧電振動素子を得る。
【解決手段】複数の棒状の振動腕１５ａ、１５ｂ、各振動腕１５ａ、１５ｂの一方の端部間を連接する基部１２、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され各振動腕１５ａ、１５ｂよりも幅広の錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心線Ｂに沿った表面及び裏面に夫々形成された溝部１７ａ、１７ｂ、を備えた圧電基板１０である。更に各溝部内を含めた各振動腕の表裏面に夫々形成された励振電極３０〜３６を備え、各錘部２０には夫々表裏面を貫通し、且つ前記各振動腕の長手方向に沿って直線状に延びる周波数調整用スリット２５が、複数本形成される。 （もっと読む）

【課題】 回路規模の増加を抑えつつ、高い精度の電流電圧変換を行い、低ノイズの電圧信号を出力する電流電圧変換回路等を提供する。
【解決手段】 電流電圧変換回路１０であって、電圧信号１０１Ｐ、１０１Ｎを出力するオペアンプ２０と、入力された電流信号１００Ｐ、１００ＮのＤＣオフセット電流に応じた電荷を充放電する第１のキャパシタ４０Ｐ、４０Ｎと、オペアンプのオフセット電圧に応じた電荷を充放電する第２のキャパシタ４１Ｐ、４１Ｎと、第１の期間においてオン状態となり第２の期間においてオフ状態となる第１のスイッチ３０Ｐ、３０Ｎおよび第３のスイッチ３２Ｐ、３２Ｎと、第１の期間においてオフ状態となり第２の期間においてオン状態となる第２のスイッチ３１Ｐ、３１Ｎとを含む。 （もっと読む）

【課題】漏れ出力を抑制調整可能な振動片、それを用いたセンサーユニット、および、その製造方法、および、それらの振動片またはセンサーユニットを搭載した電子機器を提供する。
【解決手段】振動ジャイロ素子１１は、基部２１と、基部２１のＹ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された一対の駆動用振動腕２２ａ，２２ｂ、および、一対の検出用振動腕２３ａ，２３ｂを有している。また、基部２１のＸ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された連結部２４ａ，２４ｂ各々の先端部から、駆動用振動腕２２ａ，２２ｂと並行させて延伸された調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂが設けられている。各調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂの先端側には、幅広部としての錘部１２７ａ，１２７ｂを有している。各調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂの主面には、振動ジャイロ素子１１の漏れ出力を調整するための膜体としての調整用電極１４５ａ，１４５ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型で、Ｚ軸回りの角速度に対する感度の低下がなく、さらに他軸感度を低減した振動ジャイロを提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚの３つの軸で表される空間に配置し、ＸＹ平面に平行な平板にＺ軸方向の貫通穴を形成した検出素子１を有し、検出素子１は、Ｙ軸方向に長手方向を有する複数の屈曲アーム３ａ〜３ｄと屈曲アームを直角に連結する複数の連結部４ａ〜４ｄからなり、屈曲アームの屈曲振動を励振する駆動手段と、屈曲アームの屈曲振動を検出する検出手段とを備え、前記平板のＹ軸方向の中心線の両側にＹ軸回りおよびＺ軸回りの角速度を検出する第１振動子とＸ軸回りの角速度を検出する第２の振動子を配置し、３軸の角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】回路面積の増大を招くことなく、加速度および角速度の検出精度の向上を図る。
【解決手段】第１検出状態では、検出容量Ｃｄ１、Ｃｄ３の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の反転入力端子に接続され、検出容量Ｃｄ２、Ｃｄ４の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の非反転入力端子に接続され、積分容量Ｃｉ１、Ｃｉ３が帰還容量として機能する。第２検出状態では、検出容量Ｃｄ１、Ｃｄ４の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の反転入力端子に接続され、検出容量Ｃｄ２、Ｃｄ３の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の非反転入力端子に接続され、積分容量Ｃｉ２、Ｃｉ４が帰還容量として機能する。検出部１４は、第１検出状態におけるチャージアンプ１３の出力信号に基づいて加速度を検出し、第２検出状態におけるチャージアンプ１３の出力信号に基づいて角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】所望の共振モードおよび一貫して低い直角位相誤差を維持する、直角位相低減バネを有するＭＥＭＳジャイロを提供する。
【解決手段】曲線および直線区画、共通半径に対するバネ要素固定点の配向、特定の軸に対するバネ要素セグメントの配向、該共通半径に対するバネ要素の長さのバランス、および該共通半径に対する質量バランスを有するバネ要素を、望ましくない面外運動を軽減するために使用することができる。該バネセットは、面運動を提供し、同時に、望ましくない面外運動を低減し、ＭＥＭＳデバイスを、該バネ要素のプロセス誘発エッチング角度ばらつきに対し実質的に鈍感にする。 （もっと読む）

【課題】改善されたスケール係数を備えた音叉ジャイロスコープを提供する。
【解決手段】基板の上に少なくとも１つの試験質量が支持される音叉ジャイロスコープ構造。少なくとも１つの駆動電極が試験質量に隣接した基板の上にも支持される。典型的には、試験質量と駆動電極は、交互配置された電極フィンガーを含む。試験質量の下の基板の上の感知プレートまたはシールド電極が、試験質量の電極フィンガーの範囲の下に完全に延在する。 （もっと読む）

【課題】小型圧電振動子であり落下等の衝撃に強い圧電振動子を得る。
【解決手段】圧電振動子１は、圧電振動素子４と、これを収容するパッケージと、を備えている。圧電振動素子１は、複数の振動腕９ａ、９ｂ、これらを連接する基部５、各振動腕９ａ、９ｂの他方の端部に設けた錘部９ａ、９ｂを備えた圧電基板４ａと、各振動腕の表裏面に形成され励振電極と、を備えている。パッケージは、素子搭載パッド１８、及び実装端子１６を備えた絶縁基板１１と、気密封止する蓋体３５と、絶縁基板１１上面には圧電振動素子４の各錘部９ａ、９ｂ及び基部５の先部と対向する部位に夫々金属、又は高分子からなる緩衝材２４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】良好な真空封入を維持しかつできるだけ変らない外側のチップ寸法を維持して、ボンディングされた表面マイクロメカニック構成部分の安定性を高める。
【解決手段】マイクロメカニック式のキャップ構造はサブストレート１０を有し、サブストレート１０には空洞Ｋが設けられている。空洞Ｋは方形の基面と互いに向き合った平行な側壁区分から成る２つの側壁区分対とを有する。空洞Ｋの基面に相応するダイヤフラムの局部的な補強は安定化ビームＳＫ１，ＳＫ２を有する安定化クロスによって達成される。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値が高く、高い検出感度を有する小型の物理量センサーおよびこれを備える電子機器を提供すること。
【解決手段】物理量センサー１は、４つの振動部５１〜５４と、４つの振動部５１〜５４の集合体の中心Ｏからの動径方向がＸ軸およびＹ軸の両軸に対して４５度の角度を為す方向にある４つの基板固定部６１〜６４と、基板固定部６１〜６４の各々からＺ軸まわりに隣接する２つの振動部へ延びた２つのバネ機構７１１〜７４２と、第１振動部５１、５２をＸ方向に逆位相で振動させつつ、第２振動部５３、５４をＹ方向に互いに逆位相で振動させる振動手段４とを有している。また、２つのバネ機構は、振動部５１〜５４の振動に応じて、ＸＹ平面内で音叉振動する。 （もっと読む）

【課題】 回路規模の増加を抑えつつ不要信号をキャンセルし、出力信号の低ノイズ化を実現する。
【解決手段】 センサー素子からの差動入力信号２９０、２９２に基づいてセンサー素子に印加される物理量を検出する検出回路１０。差動入力信号の差分を増幅して第１の信号として出力する差動増幅回路３０と、第１の信号の高周波成分を透過させて第２の信号として出力するハイパスフィルター４０と、第２の信号を増幅して第３の信号として出力するＡＣアンプ５０と、を含み、ハイパスフィルターは、第１の信号が入力される第１の端子と、第２の信号を出力する第２の端子とを備えるキャパシタと、第２の端子と接続される第３の端子と、キャンセル信号が入力される第４の端子とを備える抵抗器と、を含み、キャンセル信号を９０度位相シフトして第１の信号と合成し、差動入力信号に含まれている不要信号の少なくとも一部を相殺する。 （もっと読む）

【課題】センシング部を複数の基板で封止した半導体装置において、基板の平面方向に配線を設けたとしても、配線のレイアウトを簡略化することができる構造、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】キャップ部３００は、センサ部１００に設けられた第１固定部と第２固定部とを電気的に接続したクロス配線部３２３を備え、クロス配線部３２３はキャップ部３００の一面３０１に配置されたクロス配線３２２を備えている。また、キャップ部３００は、キャップ部３００を貫通し、一端がクロス配線３２２に電気的に接続され、他端がキャップ部３００の他面３０２に配置された貫通電極３４４を備えている。これにより、貫通電極３４４を介してクロス配線３２２の電位、すなわち、センサ部１００の第１固定部および第２固定部の電位をキャップ部３００の他面３０２に取り出すことができる。 （もっと読む）