【課題】シリコンのエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制されたシリコンからなる振動片、その振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して並行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた振動片２０の製造方法であって、シリコンウェハーの第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを同時に露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】小型（薄型）のセンサーデバイス、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、第１の面１０ａに第１の電極１１および第２の電極１３を有する半導体装置としてのＩＣチップ１０と、第１の電極１１および第２の電極１３を囲むように設けられた枠状の固着部材と、第１の電極１１と電気的に接続された振動片としての振動ジャイロ素子２０と、固着部材９５を介して第１の面１０ａに接合され振動ジャイロ素子２０を覆う空間Ｔを形成する蓋体としてのリッド７０と、第２の電極１３と電気的に接続され、固着部材９５の内部（本実施形態ではＩＣ側固着部材９５ａおよびリッド側固着部材９５ｂの間）を通って空間Ｔの外に延びるリード線４２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】小型で信頼性の高いセンサーデバイス、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、第１の面１０ａに第１の電極１１を有する半導体装置としてのＩＣチップ１０と、基部２１、前記基部２１から延伸された振動部を有し、第１の面１０ａと対向する第２の面２０ａに第２の電極としての引き出し電極２９を有する振動片としての振動ジャイロ素子２０と、を備えている。第１の面１０ａには、絶縁樹脂からなり第１の電極１１と配線３６を介して電気的に接続された第３の電極３７の少なくとも一部を露出させる開口部３２ａを有する筒状支持部３２が設けられ、第１の面１０ａおよび開口部３２ａにより形成された凹部に導電性接着剤９８が埋設され、引き出し電極２９に設けられたバンプ１２が凹部内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】体格及び製造コストの増大が抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】振動子と、該振動子を静電気力によって振動させる駆動部と、振動子の変位量を検出する検出部と、を有する角速度センサであって、駆動部は、振動子に固定された駆動用可動電極と、該駆動用可動電極と対向する駆動用固定電極と、該駆動用固定電極に第１駆動信号を出力し、駆動用可動電極に第２駆動信号を出力する駆動回路と、を有し、駆動回路は、所定の周波数を有する搬送波を発生する搬送波発生回路と、搬送波の周波数を変調する周波数変調回路と、搬送波のデューティ比を変調するデューティ比変調回路と、を有し、周波数変調回路を介した搬送波が、第１駆動信号として駆動用固定電極に入力され、デューティ比変調回路を介した搬送波が、第２駆動信号として駆動用可動電極に入力される。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ（微細電気機械システム；ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍ）ジャイロスコープのレートバイアス誤差及びスケールファクタ誤差を減らすデバイス及び方法を開示する。
【解決手段】１つ又は複数の水平駆動電極９２、９４、９６、９８を含む少なくとも１つの基板６８と、１つ又は複数の水平駆動電極９２、９４、９６、９８から垂直に間隔をあけられ、これに隣接する可動電極６４、６６とを含めることができる。水平駆動電極９２、９４、９６、９８及び／又は可動電極６４、６６は、デバイスの感知軸７２の方向での可動電極６４、６６の変位から生じるレートバイアス誤差及びスケールファクタ誤差をなくすか減らすように構成することができる。 （もっと読む）

【課題】水晶のエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制された水晶振動片、その水晶振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して平行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた水晶振動片としての振動素子２０の製造方法であって、水晶ウェハー第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロ素子の角速度検出感度を維持し、かつ支持強度を確保し小型化を可能にする振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサを提供する。
【解決手段】基部１０と、基部１０から直線状に両側へ延出された１対の検出用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０から両側へ検出用振動腕１１ａ，１１ｂに直交する方向に延出された１対の連結腕１３ａ，１３ｂと、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出された各１対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂと、基部１０から各検出用腕に沿って延出される２対の梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂと、同方向に延出された各梁が連結された１対の支持部２２ａ，２２ｂと、を同一平面に備え、支持部２２ａ，２２ｂを検出用振動腕の延出する方向であって検出用振動腕の外側かつ前記駆動用振動腕の間に配置する。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの大きい物理量センサー、物理量センサーの制御方法、および、それらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】基板１０と、基板１０の第１の面１０ａに対してα°傾いた第１の斜面２ａを有する第１載置部材２、および、第２の斜面３ａを有する第２載置部材３と、主たる物理量が印加される方向に検出軸ベクトルｎ₀を向けて第１の面１０ａ面に載置されたセンサーデバイスＤ₀と、検出軸ベクトルとは異なる方向に検出軸ベクトルｎ₁をおよび検出軸ベクトルｎ₂が向くように配置された第１載置部材２および第２載置部材３のそれぞれに載置されたセンサーデバイスＤ₁および、センサーデバイスＤ₂を含み、各検出軸ベクトルｎ₀，ｎ₁，ｎ₂の方向に、ｎ₁≠⊥ｎ₀、ｎ₂≠⊥ｎ₀、および、ｎ₁⊥ｎ₂の関係が成り立つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】信頼性を高め、小型薄型で、且つ優れた検出精度を発揮することのできるモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】モジュール１は、センサー素子４と、実装面を複数備え、且つ隣接する実装面の間が折り曲げ可能な実装基板２と、固定面３１〜３５を複数備えた支持部材３と、を有し、センサー素子４は、実装面の少なくとも１つに実装され、実装面の各々は、固定面３１〜３５の各々に沿って配置され、センサー素子４が支持部材３側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】振動回転レートセンサー及びその動作方法を提供する。
【解決手段】復元素子と結合され及び共振逆位相運動で駆動される２つの振動体を有する２軸回転レートセンサーを有し、前記２つの振動体は、等しくしかし単一の軸に沿って逆の振幅を有し振動する。振動構造はまた、振動軸と直交する平面内の振動体の運動を有する。この平面内の２軸での振動体の運動の測定は、２つの直交軸の周りのセンサーの回転に直接応答する信号を提供する。測定及び駆動は、磁性体の利用及び電磁気駆動及び検知トランスデューサーにより実現される。 （もっと読む）

【解決手段】光ファイバフィルタを提供する。第１の端面及び反対側の第２の端面を有する光ファイバを含み、第１の端面と第２の端面はファイバ長を規定する。第１の端面及び第２の端面は反射性コーティング材でコーティングされる。レーザから放射された光ビームが第１の端面又は第２の端面のうちの１つに結合されると、反対側の端面から出力される光ビームは狭窄な線幅と低い周波数雑音ゆらぎを有する。
【効果】本光ファイバフィルタは、極めて高いフィネス、狭窄な線幅、及び低コストであり、各レーザの残留した位相雑音、即ちサーボ帯域幅よりも高い周波数における位相ゆらぎを低減する。高性能な回転計測に要求される極めて狭窄な帯域幅、小さいサイズ、高パワーの取り扱い能力、低スプリアスの背景反射、製造容易性、調整容易性、及び低コストに対する潜在能力を持つ。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、モジュールの位置決めを簡単かつ正確に行うことができる保持部材、モジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】保持部材７は、モジュール１の保持の位置を決めるアライメント部７４１〜７４４を有し、アライメント部７４１〜７４４は、モジュール１を固定する載置面７４１ａ〜７４４ａを有している。保持部材７の中心に対し平面視で互いに直交する第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２により、保持部材７を第１〜第４の領域Ｓ１〜Ｓ４に区分けしたときに、アライメント部７４１〜７４４は、領域Ｓ１〜Ｓ４にそれぞれ１つずつ設けられている。 （もっと読む）

【課題】素子に不具合が生じることが抑制された電子デバイス、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】接合された２つの基板（１０，５０）に素子（２０，６０）と貫通電極（３０）とが形成されて成る電子デバイスであって、素子（２０，６０）は、２つの基板（１０，５０）の少なくとも一方に形成され、貫通電極（３０）は、２つの基板（１０，５０）の少なくとも一方に形成されており、貫通電極（３０）は、一方の基板（１０）における他方の基板（５０）との接合面（１０ａ）側から、その裏面（１０ｂ）まで除去されて成るトレンチ（３１）と、該トレンチ（３１）を構成する壁面の一部に形成された導電膜（３５）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】小型で高精度な光ジャイロを提供する。
【解決手段】基板１１の一面上に、レーザ発振器１２と検出用導波路１３を備える。レーザ発振器１２は、励起光を出力する励起光源２０と、リング形状の導波路を有する光共振器２２と、光共振器２２よりも屈折率の高いレーザ媒質を用いて形成されたリング形状の導波路を有し、励起光を受けて非線形光学効果により励起光と異なる波長の光を生成するとともに、生成した光を光共振器２２に導くレーザ媒質部材２１を備える。検出用導波路１３は、光共振器２２の導波路に光学的に結合されている。そして、レーザ媒質部材２１で生成されて光共振器２２及びレーザ媒質部材２１の導波路で共振し、光学的に結合された光共振器２２及びレーザ媒質部材２１の導波路内を互いに逆方向に伝搬する光ＣＷ，ＣＣＷを、重ね合わせるために光共振器２２の導波路からそれぞれ引き出す。 （もっと読む）

【課題】質量部の振幅変位量を確保し、高い検出感度を有する小型の物理量センサーを提供すること。
【解決手段】本発明の物理量センサー１は、基板２上にあるセンサー面３と、センサー面３の第１軸方向に水平に配置された２つの質量部４と、２つの質量部４に設けられ、センサー面上にあり第１軸（Ｘ軸）と垂直な第２軸（Ｙ軸）方向に延びる回転軸８と、２つの質量部４を第１の周波数を用いて逆位相で回転軸８まわりに回動振動させる駆動部５と、２つの質量部４それぞれから受ける力を伝達する力伝達部６と、力伝達部６に設けられ、伝達された力に応じた変位量を電気信号として検出する検出部７と、とを有しており、センサー面３に対して垂直な第３軸まわりの角速度に応じて質量部４に発生したコリオリ力を、検出部７にて検出する。 （もっと読む）

【課題】繰り返しの応力に対して信頼性の高いアクチュエータを提供する。
【解決手段】配線１４を備えた可動部９と、この可動部９を捩れ運動または曲げ運動、もしくはその両方で駆動させるための駆動部１２と、からなり、配線１４は導電性有機高分子としたことを特徴とするアクチュエータである。このように、繰り返しの応力が印加される可動部９に設けた、下部電極、上部電極、配線などを金属でなく導電性有機高分子で形成することにより、マイグレーションが生じることはなく、また可動部の可撓性を高めることができるので、高い信頼性を有するアクチュエータを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のジャイロセンサー１０は、第１検出部４２を備えた第１マス部４０と、第２検出部２２を備えた第２マス部２０と、前記第１マス部４０を第１軸の方向に振動させる第１駆動部７０ａ，７０ｂと、アンカー部９０で固定されている力変換部８０と、を備え、前記第１マス部４０および前記第２マス部２０は、前記力変換部８０で接続され、前記力変換部８０は、前記アンカー部９０を軸として変位して、前記第２マス部２０を前記第１軸と平面視で交差する第２軸の方向に振動させることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供する。
【解決手段】第１空洞部１５を有した外マス部１４と、第１空洞部１５内に設けられ、第２空洞部１７を有した内マス部１６と、外マス部１４を内マス部１６と一体に第１軸の方向に駆動させる駆動部７０と、外マス部１４と内マス部１６との間に接続され、第１軸の方向に直交する第２軸の方向に変位可能なバネ部２０と、第２空洞部１７内に設けられ、第１軸の軸回りの角速度を検出する第１検出部（検出部３０）と、第２空洞部１７に設けられた振動体４０と、を備え、振動体４０は、第２空洞部１７の内壁に一端を接続させ、第１軸の方向に延出させて他端を浮かせた片持ち支持構造であり、第１軸の方向の駆動振動に伴い、振動体４０が第１軸及び第２軸に対して垂直な第３軸方向に振動可能とした。 （もっと読む）

【課題】小型化可能で耐衝撃性に優れるととともに、製造効率の低下を抑制した実装構造体を有する物理量センサー、及びこれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】キャビティ部（凹部２２）を有する実装基板１２と、平面視で前記キャビティ部に重複して配置されている支持基板２４と、前記実装基板１２に対向する前記支持基板１２の第１面（下面２８）であり且つ平面視で前記キャビティ部に重複する位置に配置され、前記支持基板２４を介して前記実装基板１２に電気的に接続されている物理量センサー素子４２と、前記物理量センサー素子４２及び前記支持基板２４を封止する封止材３４と、を有し、前記支持基板２４は、前記封止材３４より弾性係数の高い接合部材により前記実装基板１２に片持ち支持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度の調整を考慮した調整装置を提供すること。
【解決手段】長尺体（１５）の直線度を調整する調整装置（１８）は、第１の所定の方向（Ｘ）に長尺であり、ベース部（５１）に対して取り付けられた長尺体（１５）と、該長尺体にガイドされて移動する移動体（１４）と、該移動体に設けられた角速度センサー（３４）と、該角速度センサーが前記移動体と共に移動した際の該角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、関連づけして情報処理する情報処理部３９と、前記長尺体に対して前記第１の所定の方向と交差する方向に力を作用させて該長尺体の直線度を調整可能な調整手段（４１）と、前記調整手段により調整された後に、再度前記移動体が移動した際の前記関係についての前記情報処理された結果を、前記調整手段を操作する操作者に対して、知らせる通知手段（１９）と、を備えている。 （もっと読む）