【課題】測定対象物から放出された光電子のエネルギースペクトルを短時間に正確に取得することができるＸ線光電子分光装置およびＸ線光電子分光方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１０から出力されたＸ線３の照射により測定対象物２で発生した電子４が電子レンズ２０およびエネルギー分析器３０を経て検出器４０に到達したときに検出器４０により得られたエネルギースペクトルを、電子レンズ２０による電子４の減速が調整されて測定対象物２のフェルミ準位よりも低束縛エネルギー側にある禁止帯に相当する帯域のものとして検出器４０により得られたエネルギースペクトルに基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】対象物のＣＴ撮影により得られた投影データを用いて、順投影処理を含む断層像再構成演算を行うことにより、対象物の断層像を構築する方法において、ＣＴ再構成領域の外側に対象物の一部が存在している場合でも、それが原因でアーチファクトが生じることを防止することのできる断層像再構成方法を提供する。
【解決手段】何らかの方法で構築した対象物の断層像を順投影処理する工程を含む断層像再構成演算方法において、順投影処理に供する領域を、ＣＴ再構成領域の外側で、かつ、投影データが放射線検出器の受光面に映り込む領域にまで拡張することにより、ＣＴ再構成領域Ａ外に物体が存在した場合にもその影響が計算に組み入れられるので、それに起因するアーチファクトの発生が防止できる。 （もっと読む）

【課題】イメージインテンシファイアおよび／またはＣＣＤカメラの幾何学的歪に起因する輝度ムラを確実に取り除くことができ、ひいては被検査物のＸ線画像の画質を向上させることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】イメージインテンシファイア２ａおよび／またはＣＣＤカメラ２ｂの幾何学的歪に基づいてＸ線検出器２からのＸ線透過情報を補正する画像歪補正手段１３に加えて、同じくイメージインテンシファイア２ａおよび／またはＣＣＤカメラ２ｂの幾何学的歪に基づいてＸ線透過情報の輝度ムラを補正する輝度ムラ補正手段１４を設けることにより、検査対象物のＸ線画像の画質を向上させることができ、ひいては検査精度や測定精度の向上を達成することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】ＦＰ法で基板上に点在する島状構造物について組成、高さおよび占有率をすべて定量できる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】基板１ｂ上に島状構造物１ｃを有する試料１に１次Ｘ線６を照射するＸ線源３と、基板表面１ａへの１次Ｘ線６の照射角度αを調整する照射角度調整手段５と、試料１からの蛍光Ｘ線７強度を測定する検出手段８と、島状構造物１ｃの組成、高さおよび占有率を仮定し、照射角度調整手段５により調整された照射角度αごとに、仮定した島状構造物１ｃの組成、高さおよび占有率に基づいて島状構造物１ｃ中の各元素からの蛍光Ｘ線７の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段８で測定した測定強度とが合致するように、仮定した島状構造物１ｃの組成、高さおよび占有率を逐次近似的に修正計算して、島状構造物１ｃの組成、高さおよび占有率を算出する算出手段１１とを備える。 （もっと読む）

入射Ｘ線が非晶質材料標本へ向けて広角セクターにおいて放射され、この標本がＸ線を反射する。
本方法は、
− 実験光子強度測定値を入射角の関数として記録するステップと、
− 反射の前に標本内への入射波の侵入長ｌに依存する状態で、少なくとも前記標本内での吸収現象を考慮しながら、前記実験強度を補正するステップと、
− 正規化係数（α）に従い、前記実験強度から得られた補正強度を電子強度に関連付ける正規化ステップと、
− 離散化された関数Ｑ．ｉ（Ｑ）を計算するステップ、但しｉは、補正および正規化された実験強度の測定値から得られた減衰強度、Ｑは量（ｓｉｎθ／λ）に比例する波散乱ベクトルの絶対値、２θは散乱角、λは放射された波の長さであって、前記正規化定数（α）は関数Ｑ．ｉ（Ｑ）の値に対する線形回帰により得られたアフィン直線（４２）の傾きを最小化すべく再帰的に変化し、各反復を行う間に減衰強度の値が侵入長ｌについて計算され、前記関数Ｑ．ｉ（Ｑ）が前記最小の傾きに対応して求められる（４１）ステップと、
− Ｑ．ｉ（Ｑ）に依存する動径原子濃度ρ（ｒ）の分布に基づいて構造因子を決定するステップとを含んでいる。
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【課題】外部からの雑音を減らして精度の高い非破壊検査を可能とする。
【解決手段】電子ビームを半導体デバイスに照射してそのときに半導体デバイスに生じる電流を測定する半導体デバイス検査装置において、前記測定された電流の波形をあらかじめ設定された標準波形と比較する手段と、前記比較する手段の比較結果から半導体デバイス検査装置の異常か半導体デバイスの検査領域の異常かを識別する手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 分析対象の試料等の被測定物の表面における変位量測定等の形状測定を簡素な構成でかつ迅速に行なう変位計測方法、変位計測装置を提供する。また、精度よくかつ迅速に試料のＸ線分析を行うＸ線分析方法及びＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】
この変位計測方法は、被測定物２の表面２ａにラインレーザビーム照射部１からラインレーザビームを照射し表面からの反射ビームを受光することで表面の変位を測定するステップと、被測定物とラインレーザビーム照射部とを相対的に回転させるステップと、を含み、変位測定と回転とを繰り返すことによりラインレーザビームよりも広い領域の測定を行うことで、精度のよい測定を短時間で行うことができる。または、連続的に相対回転させながら変位測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 線源変動を測定するための被検体に遮られることのない検出器すなわち比較検出器が無い場合でも、交流電源に同期した変動のような比較的速い線源変動の影響を緩和できる放射線検査装置及び放射線検査方法を提供する。
【解決手段】 放射線源１１に対向して複数チャンネルを有する放射線検出器１２を配置し、この複数チャンネルそれぞれで時系列で検出される被検体の透過データを時間ごとにチャンネル間で平均してから時間方向に高周波通過処理して時間ごとの比較データを求め、透過データに対し時間ごとにこの比較データを減算あるいは除算して補正された透過データを得るように構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、観測されるスペクトルにエネルギーシフトが発生しているため速い掃引はできなかったという点である。
【解決手段】１次ビーム源と、前記１次ビーム源より照射された１次ビームにより試料から発生した２次ビームを分光するための静電型エネルギーアナライザと、掃引信号を発生する掃引信号発生手段と、前記掃引信号に基づいて前記静電型エネルギーアナライザに掃引電圧を印加する掃引電圧発生手段と、を備えた表面分析装置において、前記掃引電圧のエネルギーシフト成分を打ち消すように、前記掃引信号に補正信号を加算することを特徴とする表面分析装置。 （もっと読む）