試料の画像データを処理する方法が開示されている。当該方法は、前記試料の少なくとも一部が重なっている複数の空間領域の第1画像と第2画像とのレジストレーションを行う手順、及び、前記のレジストレーションされた画像からのデータを処理することで、前記第1画像と第2画像から得られる画像に加えられる前記試料についての情報を有する合成画像データを取得する手順を有する。
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【課題】高放射線量と測定回路の高ゲイン設定を両立させ、放射線透過画像データから断層画像を高画質に再構成できることにある。
【解決手段】放射線撮影装置11は、放射線検出器2の複数のチャンネルの内、その一部において放射線源から照射される放射線を遮蔽する遮蔽体74を備える。制御演算装置12の格納装置31は、放射線源１と放射線検出器2との間に被検体74が設置されてない状態における、放射線検出器2のリファレンスチャンネル以外の各チャンネルの出力I0(u,v)と、リファレンスチャンネルの出力I_refとの比(I0(u,v)/I_ref)からなるチャンネル定数k(u,v)を格納する。画像再構成装置22は、チャンネル定数k(u,v)に、リファレンスチャンネルの出力値I_refを乗じ、被検体が設置された状態における各チャンネルにおける出力I(u,v)で除したものを、対数変換したものとして、各チャンネル(u,v)の減衰率a(u,v)を算出する。 （もっと読む）

【課題】オペレータの経験等によらずに、Ｘ線像に要求される正確さに係る情報の入力により、自動的に最適なＸ線検出出力の積算回数を設定することのできるＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線像に要求される正確さに係る情報を入力するための入力手段と、Ｘ線発生装置１の管電圧と、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器３間の距離とを含み、かつ、Ｘ線検出器３の画素出力の積算回数を含まない撮影条件を設定することにより、その条件下で略一様なＸ線がＸ線検出器３の複数の画素に入射したときの各画素出力の積算回数と、その各画素出力ごとの積算値相互のばらつきとの関係を求め、その関係と入力手段１５により入力された正確さに係る情報とから、当該正確さを得ることのできる積算回数を算出して自動的に設定する検出器出力積算回数設定手段を設けることにより、入力された正確さを有するＸ線像を得ながら、最も少ない積算回数でのＸ線撮影を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 空間可干渉性を向上させることが可能となるＸ線位相イメージングに用いられるＸ線用線源格子等を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源と被検体との間に配置され、Ｘ線位相イメージングに用いられるＸ線用線源格子である。Ｘ線用線源格子は、Ｘ線を遮蔽する厚さを有する突起部が一定の間隔で周期的に配列されてなる複数の部分格子を備えている。前記複数の部分格子はずらして積層されている。 （もっと読む）

【課題】必要とする断面ないしは領域の高解像度の３次元データを素早く得ることのできるＸ線断層像撮影装置を提供する。
【解決手段】記憶手段１４に記憶された所定角度ごとのＸ線投影データのうち、例えば幾つかの角度のＸ線投影データを間引いて使用した低解像度の再構成演算により対象物Ｗの３次元画像情報を得る低解像度再構成演算手段１５と、その低解像度の再構成演算結果に基づく断層像上で指定した面とその領域について、記憶手段に記憶されたＸ線投影データを用いて高解像度の再構成演算を行う高解像度再構成演算手段１６を設けることで、対象物Ｗ上の必要とする部位のみの高解像度の断層像を素早く表示することを可能とする。 （もっと読む）

トモグラフィーを含む非侵入的な多工程処理を、電池の特性を決定するために適用する。
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【課題】Ｘ線二次元検出器に得られる投影像の明度を低下させることなく、撮像時間を短縮する。
【解決手段】Ｘ線二次元検出器２に対し、被検査体７の撮像時（静止時）には長いパルス幅（期間）の第１のパルス領域、被検査体７の回転時には短いパルス幅（期間）の第２のパルス領域となるよう同期信号発生部２６から同期信号を送り、Ｘ線二次元検出器２による投影像の撮像を制御するようにした。そして、Ｘ線二次元検出器２で各角度位相の投影像を撮像し、得られた投影像より内部構造データの再構成計算を行うようにした。 （もっと読む）

高解像度の重要な対象領域（１０）を含む対象（４）のＣＴ再現は、重要な対象領域（１０）を囲み、第１の解像度の少なくとも１つの投影記録を含む対象の第１の領域（４）の第１の投影データセットと、第２の高い解像度の少なくとも第２の投影記録を含む重要な対象領域（４）の第２の投影データセットとを作成することによりアーチファクトのないように作成されることができる。第１および第２の投影データセットは、第１の解像度を有する対象（４）の第１の領域、および第２の高い解像度を有する重要な対象領域（１０）のＣＴ再現（６６）を得るために、組合せ規則に従って結合されることができる。
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【課題】 アスペクト比の低い回折格子を用い、挟ピッチ化を図ることが可能となるＸ線位相イメージングに用いられる位相格子等を提供する。
【解決手段】 Ｘ線位相イメージングに用いられる位相格子であって、
入射するＸ線の位相をπシフトさせて透過させる厚さに形成されている第１の突条部と、該第１の突条部の幅と同一の開口幅を有する第１の開口部とが周期的に配列されている第１の回折格子と、
前記第１の突条部と同一の幅を有する第２の突条部と、前記第１の開口部と同一の開口幅を有する第２の開口部とが周期的に配列されている第２の回折格子とを有し、
前記第２の回折格子は、前記第１の回折格子の上に、ずらして形成されていることを特徴とするＸ線位相イメージングに用いられる位相格子。 （もっと読む）

【課題】回転装置を設けることなく被検体に対して多方向からＸ線を照射してＣＴ撮影を行うＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】被検体ＨにＸ線１００を照射し、被検体Ｈを透過したＸ線１００を検出することにより被検体Ｈの内部状態を画像化するＸ線ＣＴ装置であって、電子銃と、被検体Ｈの周りに円環状に複数配置され、電子ビームＢが入射すると被検体Ｈに向けてＸ線１００を照射するターゲットコリメータ１５と、電子銃から入射した電子ビームＢを被検体Ｈの周りの円環軌道に沿って偏向すると共に、複数のターゲットコリメータ１５の何れかに順次選択的に電子ビームＢを照射する電子ビーム偏向装置とを具備するという構成を採用する。 （もっと読む）

ある方法は、既知のスペクトル特性を持つ物質を横断する放射線を、検出放射線を示す信号を出力する放射線感知検出器ピクセルで検出するステップと、上記出力信号と上記スペクトル特性との間のマッピングを決定するステップとを有する。この方法は更に、上記放射線感知検出器ピクセルの対応する出力と上記マッピングとに基づき、上記放射線感知検出器ピクセルにより検出される光子のエネルギーを決定するステップを有する。
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【課題】導電性を持つシリコン層と、その上に積層された酸化シリコン膜と、を備えた基板に対して電子線を照射し、当該基板から放出される２次電子の数を検出すると共に、基板を水平方向に移動させることにより、酸化シリコン膜内のコンタクトホールに埋め込まれた金属配線と前記シリコン層とが電気的に接続されているか否かを検査するにあたり、酸化シリコン膜のチャージアップを抑えることのできる技術を提供する。
【解決手段】金属配線が形成された領域においては検査用の加速電圧で金属配線及び酸化シリコン膜に電子線を照射し、一方金属配線が形成されていない領域においては基板に入射される電子の数とこの基板から放出される２次電子の数との差が上記の検査用の加速電圧よりも小さくなる加速電圧で電子線を照射することによって、当該金属配線が形成されていない領域においては酸化シリコン膜のチャージアップを抑える。 （もっと読む）

【課題】断層像と透過像とを一緒に表示し、簡便に被検体の撮影領域の全体像を把握することにある。
【解決手段】被検体４を載置するテーブル６と、被検体４に向けてＸ線を照射するＸ線管１と、被検体を透過したＸ線ビームを検出するＸ線検出器２と、Ｘ線ビームの放射線光軸Ｌと９０°以下の角度で交差する回転軸ＲＡに対し、被検体とＸ線とを相対的に回転させるための回転手段８とを有する断層撮影装置であって、前記回転を行わせつつ所定の回転角度位置毎に、Ｘ線検出器２から透過像を順次収集する撮影制御部１５ａと、この収集された複数の透過像から被検体の断層像を再構成する再構成部１５ｂと、断層像の再構成に用いた複数の透過像から少なくとも１つの透過像を選択して縮小し、再構成した断層像と並べて表示画面上に表示する表示制御部１５ｃとを備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】短期間内で大きい検査域のスライス画像を形成できるトモシンセシス装置及び方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線源（１）と、Ｘ線検出器（２）と、検査されるべき対象物（４）の一連のＸ線投影画像の捕捉中に撮像面（Ａ）に対して平行な移動面（Ｂ）で対象物（４）を移動する移動装置（３）と、Ｘ線投影画像の捕捉及び移動装置（３）を制御する制御装置（５）とを有し、断層写真合成方法を用いてＸ線投影画像から対象物のスライス画像を形成するＸ線装置で、大きい対象物のスライス画像の形成を短い期間内で可能にするために、Ｘ線源（１）及びＸ線検出器（２）は、Ｘ線投影画像の捕捉中に静止され、制御装置（５）は、対象物（４）を検査域中の撮像されるべき全ての点が少なくとも１０、好ましくは、５０の異なるＸ線投影画像において撮像されるように移動速度、及び、上記Ｘ線投影画像の捕捉の瞬間が選択されるように制御する。 （もっと読む）

【課題】被検査体内の特定粒度の粒子の含有量を知ることができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線ＣＴによる断層像ｎ，ｎ＋１・・・を基に被検査体に含まれる粒子Ｐ_ｍ，Ｐ_ｍ＋１・・・の量を非破壊検査する検査装置５０であって、粒子の粒度選別を想定した場合の選別粒度を基に設定された粒子の大小の境界を規定する基準体積値を記憶した記憶部５６２と、被検査体の各断層像を画像処理して個々の粒子の断層像を抽出する画像処理部５６３と、画像処理部５６３により抽出された粒子の断層像を基に個々の粒子の体積Ｖｍを演算する体積演算部５６８と、体積演算部５６８で演算された粒子の体積Ｖｍを記憶部５６２から読み出した基準体積値と比較し、基準体積値以上の粒子の個々の質量を積算する質量演算部５６９とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＣＴ技法と中性子即発ガンマ線分析とを組み合わせることで、物対象物質内の複数元素を同時に３次元元素分布観測・計測する。
【解決手段】必要な空間分解能に応じたビーム形に切取った平行性の高い中性子ビームを利用して物体を走査し、各走査に応じた即発ガンマ線スペクトルを測定・記録し、記録された走査位置毎の即発ガンマ線スペクトルをコンピュータ処理することで、物体内部の三次元での元素分布を測定する測定技術であり、又、記録された走査位置毎の即発ガンマ線スペクトル中の複数の同位体からのガンマ線ピーク毎にコンピュータ処理を行うことで、多元素を同時に物体内部の三次元元素分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】極短時間で３次元情報及びその時間変化を観察・計測できる高速度コンピュータ断層撮影方法及びその装置を提供する。
【解決手段】対象物質３を回転用モータ１７を用いて高速度で回転させながら、中性子ビーム２を照射する。対象物質３に照射された中性子ビーム２はその対象物質３を透過後、中性子−光コンバータ４により光に変換され、変換された光がこの中性子−光コンバータ４の後方に光を反射・伝送するために配置された鏡５、レンズ１４、画像強度増幅器１５を通過して、高速度ビデオカメラ内のＣＭＯＳ型素子１６で連続した画像として高速度で記録される。この記録画像を計算機８に転送し、ＣＴ計算用計算機１２を用いて３次元ＣＴ計算が行なわれ、短時間平均の３次元情報を得る。又、これを時系列に連続して計算することで３次元情報の時間変化情報を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】はんだの形状不良を示す不良モデルを準備しなくとも、不良のはんだ付け部位に対するＸ線断層撮影のシミュレーションを容易に行えるようにする。
【解決手段】はんだの形状が良好な良品部品に対しＸ線ＣＴによる断層撮影を実行することにより、複数の構成点の空間座標と各点におけるＸ線吸収率を示す数値とを対応づけた３次元画像データを生成し、これを良品モデルデータとする。この後、モニタに良品モデルデータによる３次元画像を表示した編集画面を立ち上げて、この画面の編集ウィンドウ１００において、ユーザにはんだの形状を変更する編集作業を行わせるとともに、編集操作に応じて、３次元画像データ中のＸ線吸収率を示す点の分布状態を変更する。編集が完了した時点での３次元画像データを対象に、断層撮影のシミュレーションを実行し、その処理結果を示す断層画像または３次元画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】トモシンセシスにより生成された断層画像を確認する作業を支援する。
【解決手段】Ｘ線利用の基板検査装置において、検査やティーチングに先立ち、トモシンセシスモードにより生成された断層画像を確認する作業を支援する画像確認支援モードを立ち上げる。このモードでは、はんだの形状が良好な良品部品を対象に、Ｘ線ＣＴ、トモシンセシスの２通りの処理を実行し、トモシンセシスにより生成された断層画像をモニタ２４に表示して、確認対象部位を指定する操作を受け付け、その操作に応じて、指定された確認対象部位内の画像データを生成したＸ線の経路を特定する。さらに、Ｘ線ＣＴにより生成された３次元画像データを用いて、断層画像に対応する平面を含む所定範囲の立体形状または断面形状を示す画像を生成する。さらにこの画像を、特定されたＸ線の経路が明示されたものに加工して、モニタ２４に表示する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）