【課題】
缶詰の被検査物に混入した異物を確実に検出できる異物検出方法、異物検出プログラム及び異物検出装置を提供する。
【解決手段】
缶詰の被検査物を透過したＸ線画像を処理して前記被検査物内の混入異物の有無検出を行う異物検出方法において、前記Ｘ線画像から周縁部及び周縁部に隣接した異物を示す周縁部異物画像と周縁部から孤立した異物を示す孤立異物画像からなる異物候補画像を生成する異物候補画像生成段階（Ｓ３）と、前記異物候補画像から前記孤立した異物を抽出する第１の異物抽出段階（Ｓ４）と、前記異物候補画像から前記周縁部異物画像の内周における突出した凸部を検出することにより前記周縁部に隣接した異物を抽出する第２の異物抽出段階（Ｓ５）と、抽出された前記孤立した異物と前記周縁部に隣接した異物を合成して出力する異物合成出力段階（Ｓ６）とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】
包埋材料に包埋する前の試料の状態を正確に分析することができる被検査物の断面分析方法を提供する。
【解決手段】
下記の（１）〜（３）の工程を含む被検査物の断面分析方法。
（１）試料表面に不活性層を形成する工程
（２）不活性層を形成した試料を包埋材料に包埋して被検査物を作製する工程
（３）被検査物を切断して断面を形成し、該断面を分析する工程 （もっと読む）

【課題】筐体上に落下乃至堆積した異物がベルト搬送部の端部に落下するのを防止する。
【解決手段】Ｘ線異物検出装置は、筐体１内にＸ線照射手段８と、被検査体を所定の搬送方向に搬送するベルト搬送部３と、筐体１内でベルト搬送部の下方に配置されて被検査体を透過したＸ線を検出するＸ線検知手段９とを備え、被検査体中の異物の有無を検出する。前記搬送方向に関する前記筐体１の端部側には、筐体１の上に落下した異物Ａを前記搬送方向と交差する方向に誘導する誘導面７ａ，７ｂが張り出し部７に形成されている。筐体上に落下した異物は前記搬送方向に滑り落ちることなく、誘導面に案内されて筐体の前後方向に落下するので、被搬送体に異物が付着することはない。 （もっと読む）

【目的】 被検体の搬送中でも容易に感度補正が行えるＸ線異物検出装置を提供する。
【構成】 Ｘ線異物検出装置１は、被検査体が搬送される検出用パイプ３ｂにＸ線を照射するＸ線発生器５ａと、Ｘ線発生器５ａに対し検出用パイプ３ｂを挟むように対向配置され、Ｘ線発生器５ａからのＸ線の照射に伴って検出用パイプ３ｂを透過してくるＸ線を検出するＸ線検出センサ５ｂと、Ｘ線検出センサ５ｂに含まれる複数のＸ線検出素子毎の感度ばらつきを補正するための補正値を求める感度補正手段１２ａとを備える。Ｘ線検出センサ５ｂの各素子の感度補正するときは、移動機構６を用いて検出用パイプ３ｂと異物検出部５を含む筐体２とを相対移動させ、Ｘ線検出センサ５ｂ上に検出用パイプ３ｂが無い状態でＸ線検出センサ５ｂに直接Ｘ線を照射し、感度補正手段１２ａにより補正値（感度係数）を求める。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線検出器の交換回数を減らして長寿命化を図る。
【解決手段】 Ｘ線検出センサ５ｂは、検出面５ｂａがＸ線の照射領域平面上で被検査体の搬送方向と直交する方向に検出用パイプ３ｂの外径よりも２倍以上長くライン状に形成される。現在運用しているＸ線検出センサ５ｂの検出面５ｂａのＸ線検出感度が低下して寿命がきた場合に、検出用パイプ３ｂと異物検出部５を含む筐体２とを予め設定により分割された検出面５ｂａの幅ａ分だけＹ方向に相対移動させ、Ｘ線検出センサ５ｂの検出位置を変更する。Ｘ線検出センサ５ｂの検出位置変更前後では、Ｘ線検出センサ５ｂの検出面５ｂａの未使用領域が遮蔽部材６によって遮蔽される。 （もっと読む）

【課題】
コンタクトホール等の半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハ上の欠陥を検査し、ドライエッチングによる非開口欠陥等の欠陥の位置や欠陥の種類等の情報を高速に取得可能とする。また、得られた欠陥情報から欠陥の発生プロセスや要因の特定を行ない、歩留まりを向上やプロセスの最適化の短期化を実現する。
【解決手段】
半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハに１００ｅＶ以上１０００ｅＶ以下の照射エネルギ−の電子線を走査・照射し、発生した２次電子の画像から高速に欠陥検査を行う。二次電子画像取得前にウエハを移動させながら高速に電子線を照射し、ウエハ表面を所望の帯電電圧に制御する。取得した二次電子画像から欠陥の種類の判定を行ない、ウエハ面内分布を表示する。 （もっと読む）

三次元物体（１０２、１０４、１０６、１０８）を作成する方法およびシステム。１つの方法は、三次元物体内に識別構造（「Ａ」、「Ｂ」、および「Ｃ」ボクセル）を形成することを含む。三次元物体内の識別構造は、非侵襲的撮像装置を使用して検出することができる。
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ハイブリッド型金属異物検知装置（１）は、マグネットブースタ（５）、Ｘ線装置（７）、センサコイル（８）を含む。ベルトコンベヤ（４）で搬送されてくる被検出物（６）に混入された金属異物はマグネットブースタ（５）を通過するとき磁性が強くなりセンサコイル（８）で検知しやすくなる。Ｘ線装置（７）から発生するＸ線の焦点は、センサコイル（８）の感度が一番低下する領域に設定することによって、被検出物の表面、中央部分に混入した金属異物を良好に検知できる。 （もっと読む）