【課題】ベルト搬送部と検査手段の相互位置関係を一定とし、検査条件を一定化する。
【解決手段】物品検査装置１は、筐体２と、筐体に設けられた検査手段８，９と、少なくともその一部が筐体内に収納されるとともに、筐体から床面４上に引出されて第１の移動案内手段１５で支持される被検査体搬送用のベルト搬送部３とを備える。ベルト搬送部には第２の移動案内手段１６が設けられ、ベルト搬送部を筐体内の正規位置に収納すると、前記筐体の設置面６ａに第２の移動案内手段１６が当接した状態でベルト搬送部が支持されるので、ベルト搬送部と検査手段の相互位置関係が一定化される。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の形状が不揃い、かつ微量でも、測定精度良くかつ測定時間を短くすることを可能とする。
【解決手段】 物質測定装置は、被測定物を高温に熱し柔らかくする溶融ステーション３と、被測定物をプレスするプレスステーション４と、被測定物に含まれる物質を蛍光Ｘ線分析方法によって測定する測定ステーション５と、被測定物を前記各装置間で移動させる回転テーブル１とを備えている。 （もっと読む）

Ｘ線蛍光発光を使用して化学物質をスクリーニングするためのフロー装置及び方法である。本発明は、少なくとも一つの対象バインダに結合するための潜在的な薬剤化学物質の混合物をスクリーニングするための方法及び装置を含む。前記方法によれば、少なくとも一つの対象バインダを伴う潜在的な薬剤化学物質の溶液を準備した後、前記溶液は少なくとも二つの分離された成分にフロー分離される。各成分はＸ線励起ビームに被曝される。検出可能なＸ線蛍光信号を放射するいずれの成分も隔離される。
（もっと読む）

【課題】Ｘ線の透過率が部分的に大きく異なる被検査物であっても十分な異物検査能力を具えたＸ線異物検査装置を提供する。
【解決手段】検査物に応じてＸ線発生器の取付角度等を調整可能にすることにより、Ｘ線発生器から被検査物に照射されるＸ線の照射角度を適宜設定できるようにしたので、端部に密度の高い部分を有した被検査物を検査する場合でも、被検査物の当該部分を透過するＸ線の透過量が著しく低下しないようにＸ線の照射角度を適宜設定することができるから、Ｘ線の透過率が部分的に大きく異なる被検査物を検査対象とする場合であっても高精度の異物検査を実施できる。 （もっと読む）

【課題】 パイプライン内を流動搬送される被検体に向けて照射されるＸ線の透過距離を均等に、且つ短くすることができ、被検体に混入している異物を確実に検出する。
【解決手段】 パイプライン１０内を流動搬送される被検体に所定の検出位置ＰにてＸ線を照射し、このＸ線の照射に伴って被検体を透過してくるＸ線を検出し、検出したＸ線の透過量に基づいて被検体における異物混入の有無を検出するＸ線異物検出装置１において、パイプライン１０は、少なくとも検出位置Ｐでパイプライン１０の断面形状が被検体を流動可能とする程度の扁平形状に押し潰されている。 （もっと読む）

【課題】パイプ内を搬送される被検査物にＸ線を照射して異物を検出するＸ線異物検出装置において、装置内のパイプを外部の配管からＸ線漏洩の危険なく着脱自在とする。
【解決手段】Ｘ線照射装置１の筐体４に対し、検査パイプ６を備えたユニット７を使用位置から非使用位置に外す方向に移動する。ユニットの作動板１０が操作部材９を揺動し、操作板３５が強制解離スイッチ８を開いてＸ線作動回路を遮断するとともに、ユニット７の作動ピン１２が固定部材１１を回動して操作部材９の係合部に係合し、操作部材９によるスイッチ８の操作状態をロックする。ユニットを筐体から外して検査パイプ６を洗浄する間、Ｘ線は照射不能の状態にロックされる。 （もっと読む）

【課題】 検出用パイプを筐体に対して容易に着脱でき、この検出用パイプを容易且つ確実に清掃することができる。
【解決手段】 パイプライン６内を搬送される被検体に検出位置ＰにてＸ線を照射し、被検体を透過してくるＸ線を検出し、その透過量に基づいて被検体内の異物の有無を検出するＸ線異物検出装置１において、筐体２は、両側面にパイプライン６が貫通されるとともに前面に扉５を備える開口４が設けられ、パイプライン６の一部をなしこのパイプライン６と着脱可能に設けられ開口４内に配設される検出用パイプ６ｃと、検出用パイプ６ｃを保持する保持部材２１と、検出用パイプ６ｃと保持部材２１とを移動させる移動機構２０とを備え、移動機構２０が、保持部材２１を着脱自在に支持する支持部材５０と、支持部材５０を搬送方向と直交する方向Ｚへと移動させるガイド部材５５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 薄膜の表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に適した試料を、容易に作製することの可能な方法を提供する。
【解決手段】 積層膜１０Ｚに対してＦＩＢ１５Ａ，１５Ｂを照射することにより、可溶膜１２に達するエッチング溝１６を、解析対象領域１０Ｒを取り囲むように形成したのち、ウェハ１１、可溶膜１２および中間膜１３Ｚのうち、可溶膜１２のみを溶解可能な酸性溶液を用いて中間膜パターン１３と接する部分である底部１２Ｂを溶解除去することにより、解析用試料１０を形成する。得られた解析用試料１０を、その側面１０Ｗを把持することにより取り出す。これにより解析対象膜パターン１４の表面を汚すことなく、ＳＥＭやＴＥＭなどを用いた表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に好適な解析用試料１０を、高精度かつ容易に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 実際に液面検査を行っているときに、無検査状態を検知することができるＸ線液面検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線液面検査装置では、制御部において、Ｘ線検出・判定用位置検出器からの被検査容器検出信号とＸ線センサからのＸ線センサ出力信号とを対比し、前記Ｘ線センサ出力信号が減弱した場合に（ステップＳ１）、前記Ｘ線検出・判定用位置検出器で前記被検査容器が検出されていないと判断した場合（ステップＳ２）、前記Ｘ線検出・判定用位置検出器が異常であると判断する（ステップＳ３）。 （もっと読む）

【課題】
コンタクトホール等の半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハ上の欠陥を検査し、ドライエッチングによる非開口欠陥等の欠陥の位置や欠陥の種類等の情報を高速に取得可能とする。また、得られた欠陥情報から欠陥の発生プロセスや要因の特定を行ない、歩留まりを向上やプロセスの最適化の短期化を実現する。
【解決手段】
半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハに１００ｅＶ以上１０００ｅＶ以下の照射エネルギ−の電子線を走査・照射し、発生した２次電子の画像から高速に欠陥検査を行う。二次電子画像取得前にウエハを移動させながら高速に電子線を照射し、ウエハ表面を所望の帯電電圧に制御する。取得した二次電子画像から欠陥の種類の判定を行ない、ウエハ面内分布を表示する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線防護扉をその下側に設けた水平の旋回軸を中心として旋回させることによって開閉する方式を採用したＸ線透視装置において、そのＸ線防護扉の自重により発生するモーメントを有効に軽減させることのできるＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線防護扉Ｄの旋回軸Ｔｈとは別に、付勢手段によりその軸心を中心とするモーメントが付与されるモーメント付与軸１を設けるとともに、そのモーメント付与軸１に付与されたモーメントを、旋回軸Ｔｈに伝達する伝達機構２を設け、その伝達されたモーメントによりＸ線防護扉Ｄの自重により旋回軸Ｔｈの回りに発生するモーメントを相殺する構成の採用により、伝達機構２を適宜に設定することによって、Ｘ線防護扉Ｄの旋回角度による自重に起因するモーメントの変化と、モーメント付与軸１から伝達されるモーメントの変化を略一致させることを可能とする。 （もっと読む）

手荷物検査のための検査装置は、通常、大きい体積を必要とし、精密な運動を必要とする機械的構成要素を有する。本発明に従って、対象の被検体の検査は、対象の被検体（１１）のスキャン中、放射線源（１）を移動し、放射線の送信ビーム（４）と、検出器アレイ（５，６）を移動させずに、特定の所定の散乱角において、対象の被検体により散乱される散乱放射線（３）とを検出することによりなされる。有利であることに、所定の散乱角において散乱される散乱放射線を検出することにより、対象の被検体及びその被検体の構成要素における散乱中心の位置の鉛直方向の座標が容易に導き出される。
（もっと読む）