【課題】 磁気ディスク装置の製造ラインに発生する塵埃の種類と、その発生源について詳細に検証でき、磁気ディスク装置の製造環境管理および品質管理に貢献する製造環境のモニター方法を提供する。
【解決手段】 製造に係る磁気ディスク装置と同一モデルで、吸気口および排気口、および強制吸排気機構を有するモニター用磁気ディスク装置１０ａ〜１０ｄを製造ライン周囲の特定の位置に置く。吸気口および排気口を開放した状態で強制吸排気機構を作動させ製造ライン周辺の雰囲気を内部に導入する。製造ラインを稼働させた状態で約２４〜４８時間程度雰囲気を導入する。その後、同装置に対してリード／ライト試験を行う。基準値以上のエラー・レートでエラーが発生した場合、同装置の磁気ディスクおよび磁気ヘッドを分解して詳細な分析を行う。 （もっと読む）

【課題】 栗の果実における虫食い等の有無を非破壊検査する方法において、渋皮のスジをＸ線が透過すると、透過画像情報において当該スジに対応する領域がモニタ等の画面に白又は灰色っぽく表示され、これを内部欠陥と誤認する問題を解消する。
【解決手段】 Ｘ線による撮像工程Ｓ１と、透過画像情報を複数の平滑化フィルタにて平滑化処理して、各々の平滑化画像情報から果実領域を特定する平滑化工程Ｓ２と、任意の１つの平滑化果実領域と他の平滑化果実領域との差分演算にて抽出された抽出領域を第１次欠陥候補領域として特定する差分工程Ｓ３と、透過画像情報を二値化処理して果実領域及び第２次欠陥候補領域を特定する二値化工程Ｓ４と、第２次欠陥候補領域の面積を求める面積算出工程Ｓ５と、第１次欠陥候補領域に対応する第２次孤立領域の面積が予め設定された設定面積の範囲外であれば、互いに対応する第１次及び第２次欠陥候補領域は果実の内部欠陥に当たると判断する第１判断工程Ｓ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の基板上に回路パターンを形成するデバイス製造工程において、製造
工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を、高速で高精度に検査できる装置および方
法を提供すること。
【解決手段】
表面に透明膜が形成された被検査対象物に対し、高ＮＡ対物レンズを真空チャンバ内に設置し、対物レンズ内に照明光路を設けたことにより、暗視野照明を可能にし被検査対象物表面の異物または欠陥の反射散乱光を高感度に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 安価かつ少数のＸ線発生装置とＸ線検出器を用いて、被検査物の材質を識別することができ、これにより装置を小型かつ安価にできるＸ線検査装置とＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】 所定の最大出力Ｉ_ｍａｘと最小出力Ｉ_ｍｉｎとの間で、一定の時間周期Ｔで出力が変動するＸ線３を連続して発生するＸ線発生装置１２と、このＸ線を被検査物１に照射するＸ線照射装置１４と、被検査物を透過したＸ線の強度を検出するＸ線検出器１６と、Ｘ線発生装置とＸ線検出器を制御する制御装置１８とを備える。制御装置１８により、Ｘ線発生装置１２で発生するＸ線出力の高出力時と低出力時に、Ｘ線検出器１６で検出する高出力時のＸ線強度Ｉ_１と低出力時のＸ線強度Ｉ_２を検出し、これから被検査物の材質を識別する。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線間のクロストークを防止し、放出される２次電子を効率良く検出器に導くことができ、スループットを向上した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】２次電子の像面1005での開口角度と拡大倍率から、対物レンズから見た試料面1010での見掛けの角度を求め、該見掛けの角度と、２次電子の初期エネルギーと、対物レンズのビームポテンシャルから試料面での受け入れ角度を求め、該受け入れ角度を基に、２次電子の収率を求め、所要のＳ／Ｎ比と、開口角で決まる分解能に基づいて、隣接１次電子線の照射間隔をクロストークが問題にならないような距離以上に離す。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、試料の交換作業を短時間で行なえる真空搬送装置を実現し、しかも、占有面積が小さく、スループットを向上させた荷電粒子線検査装置を提供する。
【解決手段】２つの駆動源２，１０により回転および上下動作が可能なアーム１と、このアーム１の両端に、アーム１の回転に伴って回転するように支持されて試料を載置する第１のハンド２２と第２のハンド２３とを上下方向に離間させて配置して、アーム１の回転と上下動作の制御のみにより試料の搬送とその交換を可能した真空搬送装置２６を構成し、また、この真空搬送装置２６を荷電粒子線検査装置の予備排気室ではなく真空試料室内に配置した。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線検査手段近傍の搬送路カバーの下流側に選別装置を設置する必要を無くしてコンパクト化を図ることができ、かつ、前面側からのメンテナンス作業等も容易化することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 コンベア１０と、Ｘ線検査手段２０と、検査領域より搬送方向下流側の所定搬送区間Ｄ２の搬送路１０ａを覆う開閉カバー３２と、検査手段の検査結果に基づいて被検査物を選択的に搬送路外に排出する選別排出機構４０と、排出された被検査物Ｗを収納する排出物収納ボックス５０とを備えたＸ線検査装置において、開閉カバー３２が開状態で所定搬送区間Ｄ２の搬送路１０ａの上面とその幅員方向前面側に開放する前面開放式であり、選別排出機構４０が開閉カバー３２の内方側に装備され、所定搬送区間Ｄ２の搬送路１０ａの幅員方向後方側に排出物収納ボックス５０が配置されている。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体を破壊、加工することなく、連続して検査することのできるＥＰＭＡ法による検査装置および検査方法を提供することである。
【解決手段】試料に電子線を照射する電子線光学手段が接続され、所定の真空度に保持された試料室と、真空排気手段および給気手段とが接続され、前記試料室との間で試料の出し入れを行う第１開口部および外部との間で試料の出し入れを行う第２開口部を有する予備排気室と、前記第１開口部を開閉するための第１仕切り弁と、前記第２開口部を開閉するための第2仕切り弁と、試料を保持して外部と予備排気室と試料室との間を移動する試料台と、この試料台の移動に対応して、前記第１仕切り弁および第２仕切り弁の開閉、予備排気室の給・排気を行う制御手段とを備えたことを特徴とするＥＰＭＡ法による検査装置である。 （もっと読む）

【課題】 衣類等の検査対象物に混入した針等の異物を検出するにあたって、検査官の見落としによる異物の不検出を防止し、小さな異物をも検出することが可能な異物検出装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物を輸送する輸送手段３と、輸送手段３上の検査対象物にＸ線を照射するＸ線照射手段４、５と、Ｘ線照射手段４、５から輸送手段３上の検査対象物にＸ線が照射された際のＸ線透過率を測定する複数の電離箱検出器６と、複数の電離箱検出器６の各々の測定値と、予め記録した基準値から検査対象物中に異物が混入しているか否かを判定する判定手段とを備えた異物検出装置１において、複数の電離箱検出器６を、検査対象物を挟んでＸ線照射手段４、５の反対側に、２段にわたって配置した。判定手段によって検査対象物に異物が混入していると判定された場合には、検査対象物は、輸送手段３の入口側に戻すことができる。 （もっと読む）

【課題】 被検査物を管理領域内のＸ線検査位置を通過させ、その間にＸ線検査するＸ線検査設備において、長尺の敷地を必要とせず、遮蔽扉が軽量化され、運転手の移動距離も少なくかつ監視要員数も削減できるＸ線検査設備を提供する。
【解決手段】 遮蔽壁６で囲まれ、入側遮蔽扉５ａと出側遮蔽扉５ｂとを有する管理領域３を有し、前記管理領域３に搬入された被検査物が、前記管理領域３内のＸ線検査位置１８を移動する間にＸ線検査されるＸ線検査設備１において、前記被検査物が前記入側遮蔽扉５ａを介して前記管理領域３内に搬入される搬入方向と、前記被検査物が前記出側遮蔽扉５ｂを介して前記管理領域３外に搬出される搬出方向との少なくとも一方が、前記被検査物が前記Ｘ線検査位置１８を移動する方向と異なる直線上にある。 （もっと読む）

【課題】 物品を収納して搬送される箱の角部や側縁部あるいは物品の周縁部が繰り返して接触することによるＸ線漏洩防止部材の磨耗を防止すると共に、箱や物品がＸ線漏洩防止部材を押し退けてスムーズに通過することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 シールドボックス内の搬入口及び搬出口に垂設されて、該搬入口及び搬出口を覆うＸ線遮蔽部３１を、左右両端及び略中央の柔軟部材３５…３５と略中央の柔軟部材３５の左右両側に隣接する金属部材３６，３６とで構成する。その場合、前記金属部材３６，３６を、上面が開口する箱Ｙに物品を収納した商品Ｇの前方角部が接触したり両側縁部が摺接したりする箇所に配設する。また、柔軟部材３５には、鉛を含有するゴム材料を、金属部材３６には、ゴム材料より若干厚みの薄いステンレス鋼を使用する。 （もっと読む）

【課題】 物品の端部に存在する異物の検出を高精度に行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検査装置１０は、搬送中の商品Ｇに対して斜め方向からＸ線を照射し、このＸ線の透過光を検出して作成される２次元のＸ線画像に基づいて異物検査を行うＸ線検査装置であって、分割領域設定部３１ｂが、Ｘ線画像に含まれる商品Ｇに相当する縁領域Ｇｂを複数の領域（各分割領域Ｇｂ１〜Ｇｂ４）に分割し、検出レベル設定部３１ｃが、各分割領域Ｇｂ１〜Ｇｂ４について適正な検出レベルを設定して異物検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 互いに対向配置されたＸ線源とＸ線検出器の間に、テープ状の検査対象物を長手方向に給送して一定の範囲ごとに合否判定を行う自動Ｘ線検査装置において、何らかの原因により判定動作が異常終了した場合でも、それまでに得られた判定結果を無駄にすることなく、異常終了に対応する位置から確実に判定動作を再開することのできる自動Ｘ線検査装置を提供する。
【解決手段】 給送装置１による検査対象物Ｗの給送位置を刻々と検出する給送位置検出手段５を設けるとともに、検査対象物Ｗの一定の範囲の合否判定ごとにその判定動作が正常に終了したか否かを判別し、異常終了と判別した場合には給送を停止するとともに、給送位置検出手段５の出力に基づいて、その判定に供したＸ線透過データを取り込んだ検査対象物Ｗの給送位置を特定して、その位置から運転を再開することにより、中断前後の判定結果を確実に連続させることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 異物の検出が不要な領域を従来より適切に抽出することができ、異物の検出の信頼性を従来より向上することができるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線異物検出装置のコンピュータは、搬送される被検査体を透過したＸ線量に基づいて生成されたＸ線画像中の被検査体に対応すると想定される被検査体領域３１を被検査体中の容器の影響が強いと想定される容器影響領域３１ａ及び容器影響領域３１ａ以外の非容器影響領域３１ｂに分割するための分割閾値を設定し、画素の濃度分布及び分割閾値に基づいて容器影響領域３１ａ及び非容器影響領域３１ｂを分割し、非容器影響領域３１ｂのみのＸ線画像に対して異物の有無を判断する。 （もっと読む）

【課題】 分析対象の試料等の被測定物の表面における変位量測定等の形状測定を簡素な構成でかつ迅速に行なう変位計測方法、変位計測装置を提供する。また、精度よくかつ迅速に試料のＸ線分析を行うＸ線分析方法及びＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】
この変位計測方法は、被測定物２の表面２ａにラインレーザビーム照射部１からラインレーザビームを照射し表面からの反射ビームを受光することで表面の変位を測定するステップと、被測定物とラインレーザビーム照射部とを相対的に回転させるステップと、を含み、変位測定と回転とを繰り返すことによりラインレーザビームよりも広い領域の測定を行うことで、精度のよい測定を短時間で行うことができる。または、連続的に相対回転させながら変位測定を行う。 （もっと読む）

経路に沿って移動する荷電粒子源を備えた放射線源を開示する。ビームが衝突すると放射を生成するターゲット材料が、経路に沿って配置されている。ターゲットに衝突する前のビームを偏向させるために磁石が設けられている。この磁石は、時間に対して変化する磁場または定常磁場を生成ことができる。定常磁場は、ビームにかけて空間的に変化する。磁石は電磁石または永久磁石であってよい。或る例では、ビームを偏向させることにより、ビームが複数の軸に沿ってターゲットに衝突する。別の例では、ビームの各部分が異なった形で偏向される。そのため、線源は、走査する対象物を均等な放射線によって照射することができる。荷電粒子は電子または陽子であってよく、また放射はX光線またはガンマ光線放射、または中性子であってよい。このような線源を組み込んだ走査システム、放射の生成方法、および対象物の検査方法も開示している。
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【課題】 正確なマスク領域を自動的に設定し、缶等の縁部分に存在する異物を正確に検出することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検査装置１０では、画像形成部３１ａによって作成されたＸ線画像について、内部領域設定部３１ｂが缶の縁部分よりも内側の領域を設定する。この領域に対して、拡張領域設定部３１ｃが領域の外側に接するようにして半径３ｍｍの円を周回させてこの外接円の中心の軌跡を境界とする拡張領域を設定し、縮小領域設定部３１ｄがこの拡張領域の内側に接するようにして同じ半径の円を周回させてこの内接円の中心の軌跡を境界とする縮小領域を設定する。マスク領域設定部３１ｅが縮小領域の境界より外側をマスク領域として設定し、検査領域設定部３１ｆにおいて設定されたマスク領域よりも内側の検査領域について、第１異物検出部３１ｇが異物混入の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ単位でインラインで効率的に欠陥を分析するための装置および技術を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、単一のセットアッププロシージャにおいて検査および欠陥分析プロセスの全体をセットアップする簡単なインタフェース（１５８、５００）を提供する。ある実施形態において、試料（１００）上の欠陥を分析する装置が開示される。この装置は、潜在的な欠陥（１０２）を探して試料を検査する検査ステーション、およびそのような潜在的な欠陥（１０４）の分類を決定するために、前記潜在的な欠陥の試料を分析するレビューステーションを含む。
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【課題】 光電子顕微鏡内において、基板表面に直接吸着するガスと、先ず他の媒体に吸着した後に基板表面に移動供給されるガスとの反応を観察できる光電子顕微鏡用ガス反応観察試料を提供する。
【解決手段】 光電子顕微鏡内で基板の表面に吸着したガスの反応を観察するための試料であって、基板の表面に、開口を持ち該開口を除く基板全面を覆う外周薄膜と、該開口に内接し上記基板表面のガス反応領域を露出する反応窓を持つ環状の内周薄膜とを備え、電気陰性度の大きさが、基板＞内周薄膜＞外周薄膜の順であることを特徴とする。典型的には、上記基板は貴金属から成り、上記外周薄膜および上記内周薄膜は酸化物から成る。 （もっと読む）

【課題】 被検査体中の添付品の位置に拘らず添付品が異物として検出されることを防止することができるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線異物検出装置のコンピュータは、被検査体を透過したＸ線量に基づいて生成されたＸ線画像のうち被検査体中の添付品に対応する添付品領域３１ａ及び添付品領域３１ａ以外の添付品外領域３１ｂを分割するための分割閾値を設定し、Ｘ線画像の画素の濃度及び分割閾値に基づいて添付品領域３１ａ及び添付品外領域３１ｂを分割し、分割した添付品外領域３１ｂのＸ線画像に対してＸ線画像の画素の濃度及び所定の閾値に基づいて異物の有無を判断する。 （もっと読む）