【課題】 リチウムが存在する試料を高純度の窒素雰囲気中にさらし、窒素と常温で反応させることによって窒化リチウムを生成させ、その後、大気に曝すことなく窒素雰囲気のままＥＤＸ或いはＥＰＭＡ分析装置に導入し、窒化リチウムの窒素の分析により、定性的にリチウムの存在を確認可能な分析方法を提供することにある。
【解決手段】 グローブボックス１内に、十分な置換可能な量の乾燥空気を、乾燥空気導入口５を通して流し込み置換し、その後、連続してグローブボックス１内に、露点温度−２０度以下の純度９９．９％以上の窒素を、窒素ガス導入口６を通して流し込み置換する。試料をグローブボックス１内で、高純度の窒素雰囲気中にさらし、窒素と常温で反応させることによって窒化リチウムを生成させる。ＥＤＸ分析装置９内の試料室へ試料を導入し、試料に電子線を照射しＥＤＸスペクトルより、窒素元素の特性Ｘ線のピークを分析することにより、リチウムの存在が可能となる。 （もっと読む）

【課題】システム自体と基板の汚染を防止する蛍光Ｘ線分析システム、それに用いるプログラムを提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析システム１００は、基板１を測定する蛍光Ｘ線分析装置４０と、基板１の被測定物２を反応性ガスにより溶解する気相分解装置２０と、溶液で被測定物２を回収して基板１の表面に保持する試料回収装置３０と、基板１を、蛍光Ｘ線分析装置４０から気相分解装置２０へ、気相分解装置２０から試料回収装置３０へ、および試料回収装置３０から蛍光Ｘ線分析装置４０への搬送を行う搬送装置５０と、蛍光Ｘ線分析装置４０、気相分解装置２０、試料回収装置３０および搬送装置５０を制御するとともに、被測定物２の測定値が所定の分析閾値未満の基板１であるか、否かを識別する制御装置６０とを有する制御装置６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】有害物質である亜ヒ酸を安全に処理でき、廃薄型パネルから、少ない労力とエネルギーにてガラスを再利用することが可能である方法およびそのための装置を提供する。
【解決手段】亜ヒ酸を含有するガラス基板を選別する工程を含み、好ましくはさらに、ガラス基板の品種を選別する工程と、ガラス基板を分離する工程と、金属を回収する工程と、ガラス基板を回収する工程とを含むガラスの回収方法、ならびに、当該方法を行うための装置であって、亜ヒ酸を含有するガラス基板を選別するためのガラス基板選別装置を備えるガラスの回収装置。 （もっと読む）

【課題】被検査物毎の検出感度に応じた動作確認を実現する。
【解決手段】異物検出装置１は、被検査物Ｗの中に含まれる異物に反応した信号を出力する検出部３と、検出部３からの信号に基づいて被検査物Ｗの中に異物が含まれているか否かを判定する異物判定部５と、異物サンプルＰを用いて検出部３が正しく動作するか否かを判定する動作確認処理部６と、異物判定部５で判定された結果及び動作確認処理部６で判定された結果を表示する表示部７とを備え、動作確認処理部６は、品種毎に指定される判定すべき異物サンプルを特定する情報に応じた許容範囲に検出部３の検出出力が収まっているか否かに基づいて検出部３が正しく動作するか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】斜め照射方式のＸ線異物検出装置において、Ｘ線漏洩の問題を生じることなくコンベアのベルトを筐体外に容易に取り外せるようにして清掃性を高める。
【解決手段】Ｘ線異物検出装置１のフレーム２は、搬送空間Ｓを有する上部筐体３と、搬送空間Ｓの下方に設けられてベルトが循環回動自在に装着される下部筐体４からなり、その間に被検査物の搬送方向に沿った隙間５が設けられている。Ｘ線はフレームの前方上部から後方下部に向けて、搬送空間内のベルト上の被検査物に照射される。隙間には開閉可能な遮蔽板１５が設けられ、Ｘ線のインターロックスイッチを作動する側部筐体の側板２０と連動するように構成されて隙間５からのＸ線の漏洩を防止する。 （もっと読む）

【課題】斜め照射方式のＸ線異物検出装置において、フレームの機長を短くできる特殊な遮蔽構造によりコンパクト性と安全性を両立させる。
【解決手段】Ｘ線異物検出装置のフレーム内には、被検査物を搬送するコンベア１２と、搬送方向と交叉する照射面Ａ内で被検査物に斜め方向にＸ線を照射するＸ線発生器１０と、コンベアに関してＸ線発生器と反対側に配置されたＸ線検出器１１がある。また、フレーム内において、照射面内におけるコンベアの両側部には、照射面を挟んで各一対の遮蔽部材３０，３０が設けられる。フレーム内でＸ線を遮蔽するので、搬送方向についてのフレームの長さを短くできる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の出入口に設けられ、遮蔽カーテンが取り付けられたサイドカバーを開閉構造として開口を簡単に開放させて清掃性やメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】側面に被検査物の出入口となる開口５を有する筐体２と、被検査物を入口５から出口５に搬送する搬送手段６と、筐体２内において搬送される被検査物に向けてＸ線を照射するＸ線照射手段と、被検査物に混入している異物を検出するＸ線検出手段と、筐体２の開口５の上縁部を覆うように筐体２の側面から張り出した天板部１１と、筐体２の開口５の一対の側縁部を覆うように筐体２の側面から張り出した一対の側板部１５，１５とからなり、一対の側板部１５，１５にＸ線の漏洩を防止する遮蔽カーテン２０が取り付けられたサイドカバー１０とを備え、サイドカバー１０の一対の側板部１５，１５が、筐体２の側面に回動可能に支持され、開口５を挟んで互いに外向きに開く構造である。 （もっと読む）

【課題】 大気中の浮遊粒子状物質を構成する元素種類を連続自動的に分析する装置を提供する。
【解決手段】 分級器２によって粒径２．５μｍを超える粗大粒子ＣＰの全量を含む空気と、ＰＭ２．５以下の微小粒子ＦＰを含む空気とに分級し、分級された空気中の浮遊粒子状物質をフィルタ３の第１および第２の位置３ａ，３ｂに捕集する。これらを各別に蛍光Ｘ線分析器１３によって元素分析する。 （もっと読む）

【課題】漏れが発生する前に管状被検体の劣化或いは破損を非破壊で検知可能な非破壊検査装置及び非破壊検査方法を提供すること。
【解決手段】管状被検体に放射線を側面から照射する放射線源と、前記管状被検体を透過した放射線を検出して透過画像を得るイメージセンサと、前記イメージセンサにより得られた前記透過画像から前記管状被検体の管壁画像情報を生成する画像情報生成手段と、前記画像情報生成手段により生成された前記管壁画像情報に基づいて、前記管状被検体の健全性を評価する評価手段とを具備することを特徴とする非破壊検査装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】 絶縁体試料の帯電処理を効率化する。かつ当該絶縁体試料の接触抵抗値にあわせて、電子光学系の調整を行う。
【解決手段】 帯電処理の前に試料の絶縁破壊を行い、帯電処理を実施する。また、絶縁破壊確認のための試料の抵抗値の結果を用いて、電子光学系の制御パラメータを選択する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体中の添付品の位置に拘らず、添付品を異物と判定せずに、被検査物中の異物を検出することができるＸ線異物検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線透視画像の一の画素Ｐを取り囲む第一探索ユニット内の全画素の階調データと内容物レベル閾値（ｔｈ）との関係に基づいて画素Ｐが副内容物の本体領域を構成する画素か否かを判定する本体領域探索演算を行い、続いて拡大副内容物領域探索演算を行い、拡大副内容物領域を抽出した拡大副内容物領域抽出画像Ｂ３（ｘ，ｙ）を作成し、拡大副内容物領域抽出画像Ｂ３（ｘ，ｙ）の拡大副内容物領域以外の領域に対応するＸ線透視画像ｉｍｇ（ｘ，ｙ）の各画素の階調データを第一異物判定レベル値に基づいて判定することにより異物の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】搬送される物品の検査を複数列に領域を分けて行うＸ線検査装置において、物品の合否の判定を高速に行う。
【解決手段】物品の搬送方向の幅方向に複数列の検査領域Ａ１，Ａ２を持つＸ線検査装置に関する。予め、前記Ｘ線検査装置によって撮像されたＸ線画像の全域に対する処理単位（α_i ，β_j ）が設定され、各処理単位（α₁ ，β₁ ）〜（α₁₀，β₈ ）が複数の前記検査領域Ａ１，Ａ２のいずれに属するかを設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】商品の生産を停止することなく、Ｘ線検査装置の状態をチェックし得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】物品を搬送しながら物品にＸ線を照射して物品の検査を行うＸ線検査装置に関する。物品を搬送する搬送手段と、前記物品がテストピースか商品かを分別する分別手段１２ｂと、前記商品の合否を判定する判定手段１２ｃと、前記分別手段１２ｂによる分別の結果、前記物品が商品であると判断された場合に当該商品の合否判定を行う通常モードで運転を行い、前記分別手段１２ｂによる分別の結果、前記物品がテストピースであると判断された場合に装置の状態をチェックするテストモードで運転を行う運転制御手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 被検体中から異物を探し出すことを容易にするＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】
被検体（２）にＸ線を照射して透過Ｘ線画像を取得する画像取得手段（１、５）と、得られた透過Ｘ線画像から異物の有無と位置を特定する検出手段（４）とを備え、さらに被検体の異物存在位置に直接マークを付加するマーク記録手段（７）を備える。
検査者は、異物有りと判定された被検体上のマークが付加された特定の位置のみを探すだけで、極めて容易に異物を探し出すことができる。 （もっと読む）

【課題】小型且つ簡易な構造で電子線とＸ線との両者を放出することができる電子線・Ｘ線源装置を提供する。
【解決手段】電子線・Ｘ線源装置３は、管体６内に電子線を放出する電子線放出部９を備える。管体６の一端部（下端部）には、電子線放出部９から照射された電子線を管体６の外部に透過させる電子線透過窓部１０ａと、照射された電子線によって励起されるＸ線を発生するターゲット１１とを備える。ターゲット１１は、管体６の一端部を閉蓋する膜状蓋部材１０の上面に固着され、その厚さ方向に貫通する孔１２を備える。膜状蓋部材１０は電子線およびＸ線を透過可能である。この膜状蓋部材１０のうちの、孔１２に対向する部分が電子線透過窓部１０ａである。電子線・Ｘ線源装置３は、例えばエアロゾル試料Ａを分析するエアロゾル分析装置で使用される。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑制しながら、小さな異物でも確実に検知することができ、また、Ｘ線透過量の少ない被検査物や、搬送速度の速いラインにも対応することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線ラインセンサ２の画素出力を、前処理部１０で処理を行ったうえで画像処理部５に供給するように構成し、その前処理部１０による処理の内容を複数のうちのいずれかに選択可能とすることで、様々な被検査物Ｗのそれぞれに最適な前処理を施した後の画素を用いた画像処理を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 自動焦点合わせ可能な範囲を超える程度の反りが発生した場合でも、半導体ウエハ表面のすべての欠陥に焦点を合わせて欠陥画像を取得することができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 表面上の欠陥の位置情報が知られている半導体ウエハを、撮像装置のステージに載置する。半導体ウエハの表面上の複数箇所の、高さ方向の位置を測定する。測定された高さ方向の位置に基づいて、表面内を複数の部分領域に区分する。部分領域から、欠陥画像の取得が終了していない部分領域を１つ選択する。選択された部分領域内が、撮像装置の自動フォーカス範囲内に位置するように、ステージの高さを調整する。選択された部分領域内の欠陥を撮像装置で撮像し、欠陥画像を取得する。すべての部分領域内の欠陥の欠陥画像が取得されるまで、部分領域の選択からｅから撮像までの工程を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴ基板検査装置において、ロードロック室で加熱されたＴＦＴ基板の温度がロードロック室から検査室に搬送される間で低下することを抑制する。
【解決手段】導入したＴＦＴ基板の基板検査を行う検査室４と、検査室内にＴＦＴ基板を導入するロードロック室２と、ロードロック室と検査室との間でＴＦＴ基板を搬送する搬送機構とを備える。ロードロック室は導入されたＴＦＴ基板を予備加熱する加熱手段１０を有する。また、搬送機構はＴＦＴ基板９を支持するパレット６を有し、このパレット６は加熱手段の予備加熱による蓄熱によりＴＦＴ基板を保温する。パレット６は、例えばアルミニウム等の保温材で形成することができる。また、この保温材の表面を高輻射材で被覆する構成とすることができ、これによって、ロードロック室内の加熱手段からの熱を高効率で吸熱する。 （もっと読む）

【課題】判定閾値をより精度の高い値に自動的に更新することにより、食品等に混入した異物の有無を、高精度で効率よく合否判定することができ、誤判定が生じないＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】搬送路上を搬送される被検査物にＸ線を曝射し透過したＸ線の強度に対応したＸ線強度信号を出力するＸ線強度信号出力手段と、Ｘ線強度信号出力手段から出力されるＸ線強度信号から濃度データを生成する濃度データ生成手段と、濃度データ生成手段により生成された濃度データと閾値とを比較して被検査物の合否を判定する合否判定手段とを有するＸ線異物検出装置において、合否判定手段に用いられた所定個数の濃度データに基づいて濃度データの統計値を算出する統計値算出手段と、初期設定した初期閾値を越えない範囲内で統計値算出手段により算出した統計値に基づいて閾値を更新する閾値更新手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】物品の質量検査と形状検査とを同一装置内で実現可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】質量推定部４０は、Ｘ線検出部８によって検出された透過Ｘ線のＸ線量に基づいて検査対象物１２の質量を推定する。質量判定部４１は、質量推定部４０から入力されたデータＳ１に基づいて検査対象物１２の質量の正常／異常を判定する。画像作成部４２は、Ｘ線検出部８によって検出された透過Ｘ線のＸ線量に基づいてＸ線透過画像を作成する。形状判定部４３は、検査対象物１２の形状の正常／異常を判定する。不良判定部４４は、質量判定部４１及び形状判定部４３による各判定結果の少なくとも一方が異常である場合に、検査対象物１２が不良品であると判定する。 （もっと読む）