【課題】本発明が解決しようとする問題点は、分析器の真空系と分析室の真空系を隔壁を用いて遮断した場合、低エネルギーのＸ線の検出が困難であったという点である。
【解決手段】試料を収容する真空に保持された分析室と、１次ビームを前記試料に照射する１次ビーム照射手段と、前記１次ビームにより前記試料から発生するＸ線を集束する集光手段と、前記Ｘ線の集束点に位置し、前記集束したＸ線を通過させるアパーチャと、前記アパーチャを通過したＸ線を分光・検出する真空に保持された分光手段と、を備える表面分析装置であって、前記分析室と前記分光手段を仕切る前記アパーチャにより前記分光手段内の真空度と異なる分析室内の真空度を保持することを特徴とする表面分析装置。 （もっと読む）

【課題】 搬送パイプの交換時期を的確に判定することができ、点検方法による個人差がなく、メンテナンスが容易なＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物を着脱交換可能な搬送パイプ１１ｂを通して搬送する搬送手段１０と、搬送パイプに向かってＸ線を照射するＸ線発生部２１および搬送パイプを透過したＸ線を検出するＸ線検出部２２を有し、そのＸ線検出部２２の検出情報に基づいて被検査物中の異物の有無を判定する異物検出手段２０とを備えたＸ線異物検出装置において、被検査物が搬送パイプ内にない非搬送状態で搬送パイプを透過するＸ線の透過量を検出するようＸ線検出部２２を制御する非搬送時検出制御部４１と、前記非搬送状態におけるＸ線の透過量を記憶する透過量記憶部４２と、透過量記憶部４２の記憶情報に基づいて、搬送パイプが交換時期に達しているか否かを判定する交換時期判定手段３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】
電子線を照射し、その二次電子などを検出する検出系では高速で検出するには検出器の面積が重要なファクタである。現在の電子光学系、検出器の技術では一定以上の面積の検出器が必要で、面積に逆比例する周波数で制約を受け、２００Msps以上の検出は実質的に困難である。
【解決手段】
例えば必要面積４mm角、４mm角時の速度を１５０Mspsとして４００Mspsで検出するには、単体の高速な２mm角の検出器を４個並べ、それらを増幅後、加算してA/D変換する。又は、二次電子偏向器で順次８mm角の検出器に二次電子を入射させ、１００Mspsで検出、A/D変換後並べる。いずれも、４mm角の面積と４００Mspsの速度を達成可能である。
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【課題】金属材料からなる鋳型における鋳造中の溶湯の挙動を精度良く把握することが可能な溶湯挙動可視化装置を提供する。
【解決手段】溶湯挙動可視化装置１に、エックス線を照射するエックス線照射手段２と、金属材料からなり、該エックス線照射手段により照射されたエックス線が透過可能な所定の肉厚を有する試験用の鋳型３と、照射されたエックス線の強度を可視光の強度に変換して透過画像を結像する撮像管４と、該透過画像を撮像する撮像手段５と、該試験用の鋳型の内部に溶湯を供給する溶湯供給手段６と、該試験用の鋳型の温度を調整する鋳型温度調整手段７・８・９と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 テストピースの投入を伴う検出感度調整や選別確認作業を短時間で行なうことのできる異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物の搬送路１１ｐｗが形成された搬送パイプ１１と、被検査物に含まれる異物を搬送方向所定位置で検出する異物検出手段１２、１３とを備えた異物検出装置において、被検査物が搬送路に供給される供給位置と前記検査位置との間の搬送パイプ１１に装着され、検査位置１１ａより搬送方向上流側で搬送路１１ｐｗから分岐する分岐路５１ｐｗを形成するとともにテストピース投入口５１ｅを形成する分岐パイプ５１と、分岐路５１ｐｗを搬送路１１ｐｗに連通および遮断させるよう分岐パイプ５１に装着されたバルブ５２と、バルブ５２が開弁したとき、投入口５１ｅに投入されたテストピースを搬送路１１ｐｗ側に付勢する付勢手段５５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 パイプ中の所定の被検査物の移動速度の測定精度の向上が図れ、もって選別における無駄を削減することが可能なＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】 パイプ１１０と、Ｘ線照射手段１２０と、Ｘ線検出手段１３０と、異物混入判定を行う制御処理部１４０とを備えたＸ線異物検出装置１００において、Ｘ線検出手段１３０が、複数のＸ線ラインセンサ１３１ａ、１３１ｂを有し、制御処理部１４０が異物混入判定を行う判定手段１４１、および、複数のＸ線ラインセンサ１３１ａ、１３１ｂから出力される検出信号に基づいてパイプ１１０中を移動する被検査物１の移動速度を算出する移動速度算出手段１４２、および、判定手段１４１の判定結果と移動速度算出手段１４２が算出した移動速度に基づいて被検査物１を選別するための選別信号を生成する選別信号生成手段１４３を有する構成を有している。 （もっと読む）

【課題】 液体を収容した容器内に沈殿している異物の有無を正確に判定することのできるＸ線異物検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源１とＸ線検出器２とを水平に対向させ、容器内に液体を収容した被検査物を搬送手段３，４によりこれらの間を通過させることによって被検査物ＷのＸ線透過情報を得るＸ線異物検査装置において、搬送手段３により搬送される被検査物Ｗに対して振動を与えて、容器中に沈殿している異物を液中に浮遊させた状態でＸ線透過情報を得ることによって、容器底部のＸ線透視像Ｓｂと異物ＳのＸ線透視像Ｓｓとを離隔させた状態とし、異物Ｓの有無の判定を容易化する。 （もっと読む）

【課題】製造ラインを流れる容器の仲の製品とＸ線の透過度の似た物質（異物）を検出したい。
【解決手段】Ｘ線の放射円内に複数のＸ線ラインセンサを配し、画像処理で異物の検出レベル付近をガンマ補正で拡大し、複数のＸ線ラインセンサの位相を遅延回路で合わせ、積層して内容物と異物のＸ線透過度の差を広げる方式で解決した。 （もっと読む）

【課題】高いコントラストで、アモルファスと結晶との差異を画像化して観察可能なＳＥＭ装置を提供する。
【解決手段】試料に対して電子顕微鏡を走査しながら観察を行う構成を有し、紫外光、Ｘ線の、少なくともいずれかを照射可能な、照射系１５を具備している二次電子像観察装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】
測長ＳＥＭは、高真空に保たれた試料室にウェーハを搬入して半導体デバイスの線幅や穴径を測長する装置であり、測長ＳＥＭを使用して、真空中の装置状態を容易に把握する。他の真空装置についても適用できるようにする。
【解決手段】
真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのＯＮ／ＯＦＦタイミング、Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。
この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う
。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線源とＸ線検出器の間を横切るように被検査物を移動させて連続的にＸ線を照射して得られる被検査物のＸ線透過データから、被検査物の検査を行うＸ線検査装置において、Ｘ線検出器に用いられているシンチレータシートの残光特性に基づく動特性に起因する誤判定の発生をなくすることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器２の各画素出力に含まれるシンチレータシートの残光の影響を、あらかじめ記憶している係数ｈ［ｍ］（ｍ＝１，２，・・）を用いた下記の式（１）により除去して検査に供することで、Ｘ線検出器の２の動特性に起因する誤判定の発生を解消する。 （もっと読む）

【課題】 サンプルの迅速なＸＲＲ及びＸＲＤに基づいた分析用の装置及び方法を提供する。
【解決手段】 サンプルの分析用の装置は、サンプルの表面に向かってＸ線の収束ビームを案内するべく適合された放射源を含んでいる。同時に、サンプルから散乱したＸ線を、仰角の範囲にわたって、仰角の関数として検知し、この散乱したＸ線に応答して出力信号を生成するべく、少なくとも１つの検出器アレイが構成されている。この検出器アレイは、グレージング角で、サンプルの表面から反射したＸ線を検出器アレイが検知する第１の構造と、サンプルのＢｒａｇｇ角の近傍において、表面から回折したＸ線を検出器アレイが検知する第２の構造と、を具備している。そして、信号プロセッサが、サンプルの表面層の特性を判定するべく、この出力信号を処理する。 （もっと読む）

【課題】
検体試料中のＡｌ又はＣｕの測定を高精度で行うことができる二次イオン質量分析法を提供すること。
【解決手段】
本発明の二次イオン質量分析法は、イオンビーム調整用試料を用いてイオン光学系の調整を行う工程と、調整されたイオン光学系の下で検体試料中の検出対象元素の二次イオン強度を測定する工程を備える二次イオン質量分析法であって、検出対象元素がＡｌ又はＣｕであるとき、イオンビーム調整用試料が、実質的に検出対象元素と異なる元素のみからなる材料で形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】河川の水に含まれる流砂量の算出を、リアルタイムで容易に行う。
【解決手段】流砂量計測装置１０は、採水チューブ２２と、このチューブにＸ線を照射して透視画像を得るＸ線測定部３０を備えている。透視画像は処理装置５０に送られ、流砂量計算部５６が透過Ｘ線量の低下に基づいて流砂量の計算を行う。具体的には、粒度分布部５８と浮遊砂量部６０によって、Ｘ線量の局所的な低下に基づいて浮遊砂の粒度分布と量が計算され、背景域の低下に基づいて濁度が計測される。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも正確に手入れ等の異常発生を検出することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 搬入口１１ａおよび搬出口１１ｂに、物品を検出するための複数のセンサ１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂを備えている。物品の検査開始前の段階においてサンプルの商品を搬送しながら物品検出を行い、制御コンピュータ２０が各センサ１７ａ，１７ｂにおける検出信号ＰＨ，ＰＬを基にして第１〜第３の合成信号を生成する。手入れ等の異常発生の有無を検出する際の基準となる正常合成信号として、第３の合成信号をＣＦ２５に記憶させる。物品の検査開始後には、コンベア１２によって搬送される物品を各センサ１７ａ，１７ｂ等で検出し、制御コンピュータ２０が第１〜第３の合成信号を生成する。ＣＦ２５に記憶された正常合成信号と、検査開始後に検出されたＰＨ，ＰＬから生成される第３の合成信号とを比較して、異なる部分がある場合には、これを異常発生として判定する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線による異物検査とＸ線によるＸ線遮蔽物のヒビや穴の検査との双方が行えるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被検査物２に異物が混入しているか否かを検査する異物検査モードと被検査物２にヒビ又は穴が存在しているか否かを検査するヒビ穴検査モードとの一方の検査モードを操作部１０により設定し、制御部９は該設定された検査モードに基づき搬送装置１、Ｘ線源３、画像処理部６を制御する。 （もっと読む）

【課題】農作物の等級をより正確に判別する。
【解決手段】農作物Ａの内側の良否と農作物Ａの外側の良否とを総合して等級を判別する。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも高精度に物品の滞留発生を検出することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検査装置１０では、制御コンピュータ２０が、搬入口１１ａ、搬出口１１ｂに配置されたセンサ１７ａ１７ｂ、センサ１８ａ，１８ｂおよびＸ線ラインセンサ１４における商品Ｇの検出タイミングに基づいて、シールドボックス１１内において搬送される商品Ｇの滞留発生の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】蛋白質結晶のＸ線結晶解析を行うに当たり、蛋白質結晶を崩壊させることなく、かつ該結晶を結晶母液のない状態で凍結させる。
【解決手段】一方の端部に内径５０〜１０００μｍの環状突起体を備えたキャピラリーに母液を含む結晶をすくい取り、母液を吸引除去すると同時に結晶を凍結し、環状突起を屈曲し、Ｘ線結晶回折測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 設備コストの低い非破壊検査装置及び非破壊検査装置を有するクレーンを提供することを目的とする。
【解決手段】 コンテナクレーンに対して、そのコンテナＣの搬送経路上に非破壊検査装置１を設ける。非破壊検査装置１を、検査領域Ａに進入したコンテナＣに対して放射線源２１ａ，２１ｂから放射線を照射して、コンテナＣを透過した放射線を同一のディテクタ２２によって検出し、ディテクタ２２によって検出された放射線の強度の情報とその検出位置の情報とに基づいてコンテナＣの内部全体を非破壊にて検査する構成とする。非破壊検査装置１に、各放射線源２１ａ，２１ｂが発する各放射線にそれぞれ異なる変調を付与する変調装置２６と、ディテクタ２２の出力に基づいてディテクタ２２に入射した放射線に付与された変調を識別して、この放射線がどの放射線源２１から照射されたものであるかを判別する判別装置２７とを設ける。 （もっと読む）