【課題】高スループットで電位コントラストの測定等を高信頼性で行うことができ、構造が簡単な電子線装置、及び該装置を用いて歩留まり良くデバイスを製造するためのデバイス製造方法を提供すること
【解決手段】パターンが形成された試料を電子線で照射し、該試料の評価を行うための電子線装置は、電子線源ＥＧ、対物レンズ１４、電磁偏向器１１、１２及び二次電子線検出器１７を収容した電子光学鏡筒１を備え、対物レンズ１４は、上部電極１８、中央電極１９及び下部電極２０から構成され、上部電極１８、中央電極１９及び下部電極２０に電圧を印加するための制御電源２１を更に備え、制御電源２１は、中央電極１９に一定値の電圧を印加し、上部電極１８でダイナミック・フォーカスを行って対物レンズ１４が合焦条件を満たすよう動作する。 （もっと読む）

【課題】 供給される物品を簡素化された構成で精度よく検査することができ、しかも装置外部へのＸ線の漏洩を効果的に防止することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 上下に対向配置されたＸ線源とＸ線検出器２３とを収容するシールドボックス２１の上流側縦壁２１ａの上流側に、Ｘ線の透過距離が短くなるように、物品搬送経路を横断する断面内で幅寸法より高さ寸法ｈ０の方が大きい物品Ｍの姿勢を変更して、幅寸法より高さ寸法ｈ１の方が小さい姿勢とする第１姿勢変更ユニット１０を備える。そして、シールドボックス２１の上下流縦壁２１ａ，２１ｂにそれぞれ形成した物品通過口２１ａ′，２１ｂ′を、前記第１姿勢変更ユニット１０による姿勢変更前の物品Ｍの高さ寸法ｈ０より低い寸法に設定する。 （もっと読む）

【課題】 コークスに混入している固形異物を高精度で検出することができる異物検出装置及び検出方法、並びに検出された固形異物を除去することができる異物除去装置及び除去方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、コークスに混入している固形異物を検出するための異物検出装置であって、固形異物を混入している可能性のあるコークスである被測定コークスに対してＸ線を照射するＸ線照射手段と、前記被測定コークスを透過した前記Ｘ線の所定領域における透過Ｘ線強度を測定するＸ線強度測定手段と、前記透過Ｘ線強度の数値を所定の閾値と比較して、その比較結果に基づいて前記所定領域内の前記被測定コークスが前記固形異物を混入しているか否かを判定する判定手段と、を備える、 （もっと読む）

【課題】使用中にＸ線ラインセンサが使用に耐えない状態になることが抑えられるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線を使用して物品の検査を行うＸ線検査装置１０であって、Ｘ線照射器１３と、Ｘ線ラインセンサ１４と、制御コンピュータ２０とを備える。Ｘ線照射器１３は、Ｘ線を照射する。Ｘ線ラインセンサ１４は、Ｘ線照射器１３からのＸ線を検知する。制御コンピュータ２０は、Ｘ線ラインセンサ１４の検出レベルに基づきＸ線ラインセンサ１４の使用が不可であると判断した場合に、Ｘ線ラインセンサ１４の使用が不可である旨を報知する。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡を真空雰囲気内に設けることを不要にし、プレアライメントを行わないでアライメントを行うことができる電子線装置及び評価方法を提供する。
【解決手段】ＳＥＭの視野２３のＸ方向あるいはＹ方向の少なくとも一方の寸法をダイシングライン２１，２２の幅よりも大きくなるように設定すると共に、ローディング精度を所定の範囲内にして、該ダイシングライン２１，２２あるいは該ダイシングライン２１，２２近傍のパターン２６を利用してアライメントを行っている。また、ＳＥＭの画像に基づいて被検査領域か否かを判断する手段を有し、前記被検査領域が、ＳＥＭの視野外へ出るのを防止する方向にステージを移動させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】軸上色収差を小さくして、２次電子の透過率を大きくし、高スループットで試料の評価を行う。
【解決手段】電子銃１-1から放出された電子ビームが１次電子光学系を介して試料７-1上に照射され、それにより試料から放出された電子が２次電子光学系を介して検出器１２-1において検出される。軸上色収差補正用の多極子レンズからなるウィーンフィルタ８-1が、２次電子光学系の拡大レンズ１０-1と１次電子ビーム及び２次電子ビームを分離するビーム分離器５-1との間に配置され、磁気ギャップが試料側に設けられた電磁レンズからなる対物レンズ１４-1で生じた軸上色収差を、ウィーンフィルタで補正する。 （もっと読む）

【課題】 検査タイヤ11の内部欠陥を検査する際、誤検出を避けながら検出精度を向上させる。
【解決手段】 検査タイヤ11の側壁部21を同心円状をした複数のリング状領域に区画する一方、回転中の検査タイヤ11の各リング状領域を透過してきた放射線の画像データに対し検出手段40によりしきい値処理を行うようにしたので、前述のしきい値を各リング状領域毎に異なる最適値に設定することができ、これにより、内部欠陥を誤検出および検出ミスの双方を防止しながら検出することができる。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブ電子源のエミッション変動や、エミッション特性の個体差による試料表面の帯電不均一を解消する。帯電制御の処理中に試料表面の帯電をリアルタイムで計測する。
【解決手段】電子照射密度の不均一に起因した帯電不均一を解消する手段として、照射する電子と試料とを相対的に移動させ、電子照射密度の平均化を行う。また、試料表面の帯電をリアルタイムでモニタする手段として、試料に流れ込む吸収電流や試料より放出される２次電子及び反射電子の数を計測する。 （もっと読む）

【課題】 個々の被検査物の検査データを確実に識別可能に記憶保存し、確実に抽出することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 搬送方向に所定間隔に配された複数の搬送領域にそれぞれ、視覚により識別可能でかつ他領域とでは表示内容が異なる搬送位置識別表示部１１ｂを設ける一方、被検査物Ｗの検査毎に被検査物Ｗの目視可能な固有識別情報およびその近傍の搬送位置識別表示部１１ｂを含む被検査物Ｗ毎の外観可視画像Ｐａを撮像するＣＣＤカメラ１６と、検査毎に、Ｘ線画像Ｐｘを搬送位置識別表示部１１ｂの表示内容を含む画像として作成するＸ線画像作成手段２６と、外観可視画像Ｐａを検査時刻情報に対応するファイル名の画像ファイルとして出力する第１の画像出力手段３１と、Ｘ線画像を検査時刻情報に対応するファイル名の画像ファイルとして出力する第２の画像出力手段３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置で行う検査の精度・分解能を高く保ちながら検査時間を短縮する。
【解決手段】被検査物５の３次元画像データをモニタ画面３２ａに被検査物５の仮想３次元画像を表示するデータ読込みステップを有する。モニタ画面３２ａに指示用ポインタを表示するポインタ表示ステップを有する。仮想３次元画像上の検査位置に基づいて目標検査位置データを生成する位置データ生成ステップを有する。前記検査位置に対して指定した検査方向に基づいて目標検査方向データを生成する検査方向データ生成ステップを有する。前記検査位置に対して指定した検査時の分解能から分解能データを生成する分解能データ生成ステップを有する。前記位置データ生成ステップで指定可能な検査範囲を被検査物５の内部を含む全体とした。 （もっと読む）

【課題】半導体基板を処理する方法及び装置、特に、半導体基板の処理に用いるための計測ツールを提供する。
【解決手段】本発明の１つの態様により、半導体基板を処理するための半導体基板処理装置及び方法が提供される。本方法は、表面と各形態が第１の座標系の第１のそれぞれの点でこの表面上に位置決めされたこの表面上の複数の形態とを有する半導体基板を準備する段階と、第２の座標系の第２のそれぞれの点で各形態の位置をプロットする段階と、第１及び第２の座標系の間の変換を発生させる段階とを含むことができる。変換を発生させる段階は、第１及び第２の座標系の間のオフセットを計算する段階する段階を含むことができる。オフセットを計算する段階は、第１の座標系の基準点と第２の座標系の基準点の間のオフセット距離を計算する段階、及び第１の座標系の軸線と第２の座標系の軸線の間のオフセット角度を計算する段階を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】 基板表面に形成された膜の表面または膜中に存在する被測定物を溶解、乾燥させて基板表面に保持する気相分解装置などにおいて、基板表面に形成された膜が厚くてもマッピング分析が可能なものを提供する。
【解決手段】 基板表面１ａに形成された膜の表面または膜中に存在する被測定物を前記膜とともに反応性ガスにより溶解し、反応副生成物である水を不活性ガスおよび／または減圧により乾燥させて、被測定物を基板表面１ａに保持する気相分解装置２０であって、前記溶解と乾燥を繰り返すことにより、被測定物の基板表面１ａにおける位置を維持する。 （もっと読む）

【課題】 走査のため放射線源と検出器との間に物品を移動させるクレーンシステムに隣接して配置された放射線源および検出器を具備してなる放射線走査システムを提供する。
【解決手段】 放射線源および／又は検出器はクレーンシステムにより支持させても、あるいはその近傍に配置させてもよい。好ましくは、放射線源および検出器はクレーンシステムにより支持させるか、又はクレーンシステムにより画成される輪郭内に配置させる。この放射線走査システムは船舶運搬貨物などの運搬貨物を、船舶に対する積み下ろしの際に走査するのに特に適している。物品を検査する方法も同じく開示されている。
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【課題】帯電が蓄積しやすい試料に対して電子線を照射し続けると、帯電電位が経時変化することにより電子線画像の位置や焦点がドリフトするため、高感度・高安定での検査が困難である。
【解決手段】ウエハ上部の帯電制御電極用電源の電極電位を低くしていくと、画像の明るさが低下してくる。画像の明るさが一定の領域は正帯電の状態であり、暗くなる領域は負帯電の状態である。従って、正帯電の状態と負帯電の状態との境目、すなわち明るさの変化点が正帯電と負帯電とが切り替わる点であり、帯電が弱い状態である。この変化点を検査条件として設定することにより帯電量を抑制し、安定したウエハの検査を行うことができる。印加電圧V1が変化点であると推定され、大まかには、印加電圧V1の近傍の破線で囲まれた領域の電圧範囲内に含まれる。この電圧範囲内であれば、検査条件における帯電の影響を低減できる。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線吸収量が被検査物の部位により異なったり被検査物毎にそれが変化しても動的に対処可能なＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物Ｗを搬送しながらこれにＸ線を照射し、そのＸ線透過量に基づいて異物の有無を判定するＸ線異物検出装置において、Ｘ線透過量の濃度データに応じて設定される複数の切り出し領域について、それぞれの領域に適した変換特性で前記Ｘ線透過量の濃度データを前記被検査物のＸ線吸収量に対応する変換濃度データに濃度変換するデータ変換部２３Ａ〜２３Ｃと、これらで変換した複数の切り出し領域についての変換濃度データに基づいて異物の有無を判定する異物有無判定部３０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】
光学式異物検査装置とＸ線分光集光素子及び複数種の特性Ｘ線を使用する微小部蛍光Ｘ線分析装置との複合異物検査装置における各装置間の座標位置合わせを最適化する。
【解決手段】
Ｘ線分光集光素子を使用したＸ線光学系における最適測定高さへの位置合わせを行う高さ移動機構１１、及び複数種特性Ｘ線を使用した同数個のＸ線分析測定座標への位置移動を行うための水平移動機構３，４を備える。特に水平移動機構が回転ステージより構成される際はＸ線分析装置に別途一軸水平移動機構１２を備える。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析法によって筒状電池の漏液の有無を高速で、且つ正確に判別することができる筒状電池の漏液検査方法を提供する。
【解決手段】筒状電池Ｂａを各々の軸心が互いに平行となる配置で搬送して漏液検査機構１２に通過させるときに、筒状電池Ｂａの封口側端面３３にＸ線３４を照射し、封口側端面３３から出た蛍光Ｘ線４０を検出窓３５から検出器３９に入射させ、その入射した蛍光Ｘ線４０中に電解液の成分に対応した蛍光Ｘ線４０が含まれていたか否かの分析結果に基づき筒状電池Ｂａの漏液の発生の有無を判別する。検出窓３５は、筒状電池Ｂａの搬送方向に対応する長さ寸法Ｌ１，Ｌ３，Ｌ５が筒状電池Ｂａの間隔Ｃ１，Ｃ２よりも小さく、且つ搬送方向に対し直交方向に対応する長さ寸法Ｌ２，Ｌ４，Ｌ６が筒状電池Ｂａにおける軸心に対し直交方向の断面形状の外形寸法Ｒ１，Ｒ２よりも大きい形状に設定する。 （もっと読む）

【課題】ミラー電子を使った電子線式検査装置においては、ウェハ上で予備帯電された領域の境界が像となって現れてしまい、正しい検査ができなかった。また、予備帯電は検査と同時に行われるため、照射時間を長くする必要がある場合、ステージの移動速度を遅くせざるを得ず、検査速度が遅くなってしまっていた。
【解決手段】予備照射のビーム源とウェハとの間に、そのサイズが可変な開口を設け、その大きさの一辺をウェハのチップ列の幅と等しくなるように設定し、かつ、チップ列と垂直方向へのウェハの動きに合わせて、開口も移動するように制御する。また、ステージの移動速度を遅くすること無く、ウェハの検査時のステージ移動途中に十分なビーム照射ができるように、その開口をチップ列と平行な方向に大きくするよう設定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】白色光・レーザ光、あるいは電子線を照射して形成された画像を用いて微細な回路パターンを検査する技術において、検査に必要な各種条件を設定する際にその操作性効率を向上するめの技術を提供する。
【解決手段】回路パターンが形成された基板表面に光、あるいは光および荷電粒子線を照射する手段と、該基板から発生する信号を検出する手段と、検出手段により検出された信号を画像化して一時的に記憶する手段と、上記記憶された当該領域の画像を他の同一の回路パターンが形成された領域と比較する手段と、比較結果から回路パターン上の欠陥を判別する手段からなる回路パターンの検査装置であって、検査用および検査条件設定用の操作画面に操作内容あるいは入力内容を表示する画面領域とその画面を表す項目名を表示する手段を備えており、且つ該項目名は該操作画面領域で一体化して表示する。 （もっと読む）

【課題】 多数の検査対象品を高速に検査することが困難であった。
【解決手段】 Ｘ線によって検査対象を検査するにあたり、固定的に配置されたＸ線源から所定の立体角の範囲にＸ線を出力し、平面的に並べられた複数の検査対象品を上記Ｘ線の出力範囲内で平面的に移動させ、上記検査対象品の位置の変更を行いながら、上記検査対象品の移動平面に対して垂直な軸に対して傾斜した検出面を持つ検出器であって、上記立体角に含まれる複数の位置に配設された複数の検出器でＸ線画像を取得し、取得した複数のＸ線画像から、異なる検出器で取得したＸ線画像であって同一の検査対象品を含む複数のＸ線画像を抽出し、これらのＸ線画像に基づいて当該検査対象品の検査を行う。 （もっと読む）