【課題】物品検査装置と情報処理装置との間で信号ケーブルにより情報の授受をする代わりに、光を媒体とした光信号を用いて情報の授受を行うことにより、物品検査装置などの設置の自由度を向上させ、設置や維持管理コストを低下させることができるようにした物品検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物を所定の搬送方向に搬送している間に検査する検査手段と、前記検査手段による検査結果と設定条件とを比較して判定する判定手段とを備えた物品検査装置において、前記物品検査装置の本体部の表面部に設けられ、前記本体部の外部から送信され空間を伝搬した送信光信号を受信する光信号受信部を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送方向に長い被検査物や短い被検査物が混在したり、あるいはこれらの被検査物の一方を検査している状態から他方に切り換える場合に、何ら変更作業を行うことなく、これらの各被検査物のＸ線透視像を目視検査するのにそれぞれ適した表示を行うことのできるＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源２とＸ線検出器３に被検査物Ｗを搬送する搬送路上で、かつ、これらの上流側に、被検査物Ｗの搬送方向長さを検出する長さ検出手段９を設け、その検出結果に基づき、被検査物ＷのＸ線透視像の搬送方向長さが表示器７の画面の同方向長さよりも短く、かつ、略等しくなるように、当該Ｘ線透視像の同方向倍率を自動的に調節することにより、被検査物Ｗが搬送方向に長くても短くても、常にその全体の透視像が表示器７の画面一杯に表示される。 （もっと読む）

【課題】検査の作業能率が高く、かつ、長い製品でも目視により異物の有無等の判定を行うことができ、しかも異物の製品中における存在位置を簡単に特定することのできるインラインＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】コンベア１により搬送される被検査物ＷがＸ線源２とＸ線ラインセンサ３の間を通過する際にＸ線透過データを取り込み、１フレーム分のデータが揃った時点で被検査物ＷのＸ線透視像を静止画像で表示するとともに、被検査物Ｗの搬送方向長さＬを入力することにより、その値とコンベア１の搬送速度Ｖを用いて、被検査物ＷのＸ線透視像が表示器９の画面内に収まるようにＸ線ラインセンサ３のスキャン速度を算出して動作させることで、搬送方向に長い製品の場合にはその方向に圧縮されたＸ線透視像が表示されるようにする。 （もっと読む）

【課題】簡素かつ安価な構成で散乱イオン分析を精度良く行う。
【解決手段】真空容器１５内の試料にイオンビーム１３を照射して散乱イオンの分析を行う装置であって、磁場の形成に永久磁石２８Ａ，２８Ｂが用いられる。両永久磁石２８Ａ，２８Ｂは、試料ステージ３２及び散乱イオン測定装置３４，３６を挟んでイオンビーム１３の照射軸と平行な方向に相対向するように配置される。さらに、各永久磁石２８Ａ，２８Ｂの内側には、磁場の強さを均一化するための強磁性体３０Ａ，３０Ｂが設けられる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出器のメンテナンスを行うべきか否かの判断をすることができなかった。
【解決手段】Ｘ線を出力するＸ線出力部と、前記Ｘ線出力手段によって出力されたＸ線の照射範囲にサンプルを配置するサンプル配置部と、前記照射範囲内のＸ線を取得して蛍光に変換する蛍光変換部と当該蛍光を電気信号に変換する光電変換部とによってＸ線画像を取得するＸ線画像取得部と、を含むＸ線検出器の診断を行うにあたり、前記Ｘ線画像に基づいて前記Ｘ線画像取得手段の性能の劣化を示す複数のパラメータを取得して性能の劣化に関する出力を行う。 （もっと読む）

【課題】磁気試料表面に形成されている磁区形状を、従来にない高分解能かつ高速に観察可能な検査技術を提供する。
【解決手段】スピン偏極電子源と、前記スピン偏極電子源から出射されるスピン偏極電子線を磁区構造を有する磁気試料に照射する照射光学系と、前記磁気試料を載置するステージと、前記磁気試料から反射した電子線を結像し検出する結像光学系とを備えたＳＰＬＥＥＭ観察部２００と、前記磁気試料表面を清浄化し、前記ＳＰＬＥＥＭ観察部へ搬送する清浄化手段２０８、２１６と、前記結像光学系から得られる画像データを解析する画像処理部とを有し、前記画像データをもとに前記磁気試料面の磁区形状を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡内部に光学顕微鏡を組み込んだ装置を用いなくても既存の電子顕微鏡で、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を迅速に探索・観察することが可能なマスク及びそれを用いた方法を提供すること。
【解決手段】光学顕微鏡により観察した試料の特定部位が、少なくとも表面が導電性材料からなるマスク、あるいは、厚さ０．１８ｍｍ以下の非導電性材料からなるマスクに設けた穴の中に入るように、前記光学顕微鏡の試料台上で前記マスクを前記試料上に載置することにより、前記マスクの穴から前記試料の特定部位を電子顕微鏡で迅速に探索することができる。これにより、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を迅速に観察することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの外観検査と内部検査とを単一化して検査効率を極大化させる半導体デバイス検査装置を提供する。
【解決手段】表面実装型半導体チップパッケージや半導体モジュールなどの半導体デバイスに対する外観及び内部検査において、半導体デバイスの外観映像を獲得する外観映像検出部１２１と半導体デバイスにＸ線を照射して透過映像を獲得する透過映像検出部１３１と外観映像検出部１２１の検査情報と透過映像検出部１３１から獲得された映像情報とを基準映像と比較して良好/不良を判定するコントローラー１４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の透過特性を利用することによって、被検部が可視光線を透過させ難い場合にも高精度な残厚計測結果を得ることができる被検部厚の検査装置を提供する。
【解決手段】被検体６に対して照射するＸ線３を放射するためのＸ線源２と、被検体にＸ線を照射するための検査空間８を存してＸ線源に相対して配設されるＸ線の輝度を計測するためのＸ線輝度計測装置５と、被検体を検査空間内で所定の速度で通過させるための移送手段７と、移送手段，Ｘ線輝度計測装置及びＸ線源を制御すると共に、計測されたＸ線の輝度から被検部の厚さを算出して被検部の厚さが所望の範囲内にあるか否かを判定する制御装置１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】出力する画像の画質を低下させずに輝度を常に一定に保持できるＸ線検査装置11を提供する。
【解決手段】被検査物13にＸ線発生手段17からＸ線を照射し、被検査物13を透過したＸ線をＸ線イメージ管27で可視光像に変換し、可視光像をカメラ28で撮影する。カメラ28で撮影した画像はカメラコントロールユニット19を通じてモニタ22に出力する。カメラコントロールユニット19は、モニタ22で出力する画像の輝度情報をフィードバックして輝度の過不足を判定し、Ｘ線イメージ管27の加速電圧およびカメラ28の絞りの開度を調整する。フィードバック制御により、出力する画像の輝度を常に一定に保持する。輝度不足の場合には、Ｘ線イメージ管27の加速電圧の上昇、カメラ28の絞りの開度の拡大の順序で調整し、出力する画像の画質を低下させずに輝度を一定に保持する。 （もっと読む）

【課題】撮像時間の増加を抑制しながら光学画像およびＸ線画像を良好な画質で撮像し、短時間で精度のよい被検査体の検査を実施する検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置において、ラインセンサ３４は、基板の光学画像を撮像する。ＣＣＤセンサ１７２は、基板のＸ線画像を撮像する。スレーブＰＣは、撮像された光学画像およびＸ線画像を利用して基板の部品の実装状態を検査する。基板検査装置は基板の移動と停止を繰り返しながら、複数回にわたって撮像された画像を利用して基板を検査する。基板検査装置には、撮像領域が異なる複数のＣＣＤセンサ１７２が、基板の移動方向と略垂直に並設される。ＣＣＤセンサ１７２は、鏡により反射された基板のＸ線画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】多種類のエネルギーの輻射で物質を検査する方法とその設備を提供する。
【解決手段】多種類のエネルギーを有する輻射を利用して被検体と相互作用し、異なるエネルギーを有する輻射が被検体と相互作用した検出値を検出して記録し、検出値の一部分を予定な所定関数に代入し、物体の初歩的な材料属性を含む情報を取得し、及び上述の情報に対応するエネルギー区間にこのエネルギー区間に適切する関数グループを利用して物体の材料属性をさらに判断することを含む。本発明は海関、ハーバー、空港において大型コンテナーを開けない状態で品物を検査することに適用できる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置が備えるプローブが試料ホルダの構造物や試料の凹凸の干渉を受けずに試料表面に接触可能かどうか直感的に確認できるようにする。
【解決手段】プローブ１０１の接触が不可能な領域１０４を計算し、荷電粒子線を用いて取得した観察像にオーバーレイ表示させる。 （もっと読む）

【課題】再検査と通常検査を並行して行いながら、かつ、確実に異物の混入した商品を排除し得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】複数個の内容物ｑを包材で包装した商品Ｍを搬送しながら、商品ＭにＸ線Ｌを照射して商品Ｍの検査を行う通常検査部２と、前記通常検査部２と並行に設けられ、前記通常検査にて不良と判断された商品Ｍの内容物ｑを再検査する再検査部３とを備えたＸ線検査装置であって、前記再検査部３は前記通常検査部２よりも合否の基準となる閾値が小さな値に設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多数の試料について基底標準吸収補正法を用いたＸ線回折定量分析を行う場合の分析効率を向上させる。
【解決手段】試料ホルダ１０において、上面に試料を装荷するフィルタ１４を嵌め込む基底板１３の凹部１３ａの底部に位置する回折面となる層１６を、金属結晶の方向が意図的に揃わないような処理又は加工が施されたものとする。これにより、試料無しの場合のブランク測定の際に試料ホルダの相違による回折Ｘ線強度のばらつきがなくなるので、１つの試料ホルダ（フィルタ及び基底板）についてのみブランク測定を行えばよくなり、測定回数を大幅に減らすことが可能である。 （もっと読む）

【課題】半導体装置に電子線を所定の間隔で複数回照射して、接合リーク不良発生箇所を特定でき、半導体製造工程途中のウエハで本検査を実行することにより接合形成プロセス条件の最適化を行うことができる検査方法及び装置、半導体の製造方法を提供する。
【解決手段】工程途中のウエハに対して、接合が逆バイアスになる条件で、電子ビームを所定の間隔で複数回照射し、逆バイアスにおける帯電緩和の時間特性の差をモニタする。接合リークが発生した箇所は正常部よりも短時間に帯電が緩和するので、正常部と不良部で電位差が生じ、電位コントラスト像で明るさの差として観察される。この画像を取得し、リアルタイム画像処理を施し、不良部の位置と明るさを記憶する動作を順次繰り返すことにより、指定領域の自動検査を実施できる。不良部の画像、明るさ、分布等の情報は、検査後自動的に保存・出力される。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置により予め検出された欠陥を高いスループットで再検出する。
【解決手段】解像度を変更することなく、外部の記検査装置における前記欠陥位置情報の精度分布に応じて再検出の際の画像サイズまたは画素数を変更する。 （もっと読む）

【課題】差程のコストアップを招くことなく、撮像されたＸ線検査画像が、どの商品のＸ線検査画像かを直観的に把握でき、かつ、Ｘ線画像と商品との関連性の保証の確実性を高める。
【解決手段】搬送される商品ＭにＸ線を照射するＸ線源２１と、商品Ｍを透過したＸ線Ｌを検出するラインセンサ２２とを備え、商品Ｍの検査結果を得るＸ線検査装置１に関する。商品Ｍの一部であって特定情報が付された特定部位についてＸ線Ｌよりも波長の長い商品からの光を検出して特定部位を撮像する撮像手段２３と、Ｘ線画像を検査した商品Ｍごとに記録する記録手段とを備え、撮像手段にて撮像された商品Ｍの特定情報が、Ｘ線Ｌの検査結果およびＸ線画像に関連付けて記録手段に記録されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転可能なベースの回りに配置されたサンプルを顕微処理する複数器具を含むクラスタ器具を提供すること。
【解決手段】ベースの上のサンプル・ホルダが、器具の作業領域間においてサンプルを回転させる。スライド可能真空封止が、真空を必要とする器具のサンプル室において真空を維持する。 （もっと読む）

【課題】容器詰製品の密封性を確実に判定できるようにする。
【解決手段】搬送用ベルト９に直立した姿勢で載って移動中のペットボトル詰製品の容器胴部１０にその径方向へ一定の押圧力を付与する加圧機構１１と、当該製品の容器口部１の径方向へＸ線１２を照射し得るＸ線発生器１３と、容器口部１のＸ線透過像を得るＸ線ラインセンサカメラ１４と、Ｘ線ラインセンサカメラ１４からの画像信号１５に基づきペットボトル詰製品の密閉性の可否を判定する判定手段１６とを備えた構成を採る。
一定の押圧力を容器胴部１０に付与すると、容器口部１に対するキャップ本体２の嵌め合い不良や、ピンホールなどに由来するペットボトル自体の欠陥がある場合には、ペットボトル内の空気が抜けて容器胴部１０が変形を来たし、液面位置が上がり、容器口部１が内容液で満たされることになる。 （もっと読む）