【課題】試験器インタフェース接触要素及び支持ハードウエアを清浄化するための装置を提供する。
【解決手段】試験される半導体ウェーハ、個別化ＩＣ装置、又はパッケージ化ＩＣ装置にウェーハ探針器又はパッケージ装置ハンドラ内に清浄化媒体２０を装着する段階を含み、清浄化媒体は、研磨性、粘着性、硬度のような所定の特性を有し、接触要素及びサポート構造体を清浄化する上面を有する。接触要素を清浄化媒体に接触させる段階を更に含み、それによってウェーハ探針器又はパッケージ装置ハンドラの通常の作動中にプローブ要素からあらゆるデブリが除去される。 （もっと読む）

【課題】組み立てが簡易で、確実に機能する接続端子及び検査用治具を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子は、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、大径の円筒形状部の一部にばね部が形成され、小径の導電部の先端部の先端面が、大径の円筒形状部の先端面から突出し、さらに、小径の導電部の一部が、大径の円筒形状部のばね部が形成されていない部分であってばね部よりも先端面に近い部分に接合されていて、小径の導電部の先端部の先端面が、対象点に押しあてられてばね部が収縮する際に、ばね部が小径の導電部の軸線を中心に旋回する。 （もっと読む）

【課題】組み立てが簡易で、確実に機能する接続端子及び検査用治具を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子は、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、大径の円筒形状部の一部にばね部が形成され、小径の導電部の先端部の先端面が、大径の円筒形状部の先端面から突出し、さらに、小径の導電部の一部が、大径の円筒形状部のばね部が形成されていない部分であってばね部よりも先端面に近い部分に接合されていて、小径の導電部の先端部の先端面が、対象点に押しあてられてばね部が収縮する際に、ばね部が小径の導電部の軸線を中心に旋回する。 （もっと読む）

【課題】 微小な対象物であっても、その対象物に設定された対象点を好適に接続することができるとともに、量産性に優れた接続端子やその製造方法の提供。
【解決手段】 外周表面が非導電性の芯材と、該芯材の外周表面に螺旋状に巻き付けられる導電性の巻導体と、所定箇所に該芯材と該巻導体を覆う絶縁被膜が形成される棒状部材の表面全体にめっきを施す工程と、前記めっきが施された棒状部材から前記絶縁被膜を除去する工程と、前記絶縁被膜が除去された棒状部材の表面に露出する前記巻導体を除去する工程と、前記巻導体が除去された前記棒状部材から前記芯材を除去する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも高い接触安定性を得ることが可能な弾性接触子及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 本発明は、電子部品の外部電極に当接して電気的に接続される弾性腕を備えた弾性接触子において、前記外部電極と接触する前記弾性腕２の先端部５には、外周縁５ａよりも内側の位置に形成された貫通孔７、及び前記貫通孔７の周縁を囲み、前記先端部５の外周縁５ａよりも前記外部電極との対面方向（図示上方）に突出した環状突起部８が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スプリングの耐久性の向上を図ったスプリングプローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】スリーブ成形部２１と、スリーブ成形部２１から折曲境界部１１を介して延出したスプリング４と、このスプリング４の先端部分を拡張してなる端子成形部３１とがそれぞれ同一平面上に形成され、各成形部２１、３１がそれぞれ曲げ加工されることで、筒状スリーブ２と、この筒状スリーブ２の一端部に設けられる被検査体接触用の端子３と、筒状スリーブ２に内装されて端子３を付勢するスプリング４とが一体に成形されるスプリングプローブ１であって、スプリング４は、略Ｕ字状の弾性部４２を備えるとともに、弾性部４２が巻回された状態で、筒状スリーブ２に内装される。 （もっと読む）

【課題】 プローブが被試験素子に接触するときに生じる応力を軽減する。
【解決手段】 下部コンタクト２０と上部コンタクト１１とを備えた半導体素子の垂直型プローブ１０Ａであって、下部コンタクト２０は、波頂点同士が対向する方式で重ねられている複数の第１の波状スプリング２１を備えており、被試験素子７０に接触するように配置されており、第１の波状スプリング２１は縦方向の移動を提供するように配置されることで、プローブ１０Ａが被試験素子７０に接触するときに生じる応力を軽減するものであり、上部コンタクト１１は、実質的に直線となるように下部コンタクト２０の上に重ねられており、幅が下部コンタクト２０の幅よりも広い。 （もっと読む）

【課題】端子の軸心と端子側接触部材の軸心とが揃うようにして、端子と確実に接触させることができる電気接触子を提供する。
【解決手段】電気接触子２４は、電気部品１の端子１ａに接触する端子側接触部材１４と、配線基板２に接触する基板側接触部材１５と、両方の接触部材１４，１５を互いに離間する方向に付勢するコイルバネ２６とを有している。コイルバネ２６は、端子側接触部材１４に当接する第１バネ部と、基板側接触部材１５に当接する第２バネ部とを有している。第１バネ部は、バネの上下に隣接する一巻き一巻き同士の間隔が開けられてピッチが小さく形成された小ピッチ巻き部２６ａであると共に、第２バネ部は、小ピッチ巻き部２６ａよりもピッチが大きく形成された大ピッチ巻き部２６ｄを有する大ピッチ巻き包含部２６ｍである。 （もっと読む）

【課題】端子との所望の接触面積を得ることができるプローブおよびそれを備えた治工具ならびにそれらを備えた試験装置を提供する。
【解決手段】プローブ１は、検査に用いられる端子１０の表面１０ａに当接されるプローブ１であって、導電性を有する保持部材２と、保持部材２の先端に保持された導電性を有し、かつ変形可能な先端部３とを備えている。先端部３は、先端部３を端子１０の表面１０ａに当接させた際に、端子１０の表面１０ａにおける凸部１１を受け入れ可能な空間領域４と、空間領域４と端子１０との間に位置し、端子１０の表面１０ａに当接される接触部５とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】プレス加工及び丸め加工によらず、かつ袋穴形状のプランジャと異なり金鍍金の品質管理が不要又は容易な、チューブ状プランジャの製造方法を提供する。
【解決手段】内面に金層２２を備えるチューブ状金属材料２０の先端部を小径化し、小径化した部分に切込み３０を入れ、切込み３０を入れた部分を内側に曲げ、内側に曲げた部分から末端側を一部が大径の凸部４０となるように小径化し、小径化した部分の末端でチューブ状金属材料２０を切断する。 （もっと読む）

【課題】コンタクトプローブ、特に垂直スプリング型プローブに用いる場合において、電気的測定の際に安定した導電性を有し、常に正常な測定を行うことができるコンタクトプローブ用プランジャーを提供する。
【解決手段】棒状の接続用ピンと、該接続用ピンの外周に少なくとも１層からなる被覆層とを備え、前記接続用ピンが高導電性を有する貴金属材料によって形成され、前記被覆層が高導電性を有する金属材料によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】実装のために外部接続用電極を備える半導体デバイスについて、外部接続用電極の損傷を避けながらの電気的検査を可能とする。
【解決手段】半導体デバイスは、基板１０１上に配列されたランド部１０２と、ランド部１０２上にそれぞれ形成された外部接続用電極１０３とを備える。基板１０１の主面に垂直な方向から見たとき、ランド部１０２の面積は外部接続用電極１０３の面積よりも大きい。ランド部１０２は、外部接続用電極１０３が形成される接続用エリア１０２ｂと、検査用エリア１０２ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】試験器インタフェース接触要素及び支持ハードウエアを清浄化するための装置を提供する。
【解決手段】個々のダイ又はＩＣパッケージの機能及び性能を電気的に評価することができるように、手動、半自動、及び自動取扱装置にまだある間にプローブカード及び試験ソケットのような試験器インタフェースの接触要素及び支持ハードウエアを予測可能に清浄化するための媒体及び電気試験器具を開示する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも角を有するような電気的接点部材の使用時に問題となるような、炭素皮膜の剥離を極力低減し、長期間に亘って安定な電気的接触を保つことのできる電気的接点部材を提供する。
【解決手段】角を有する先端部で被検体に繰返し接触する電気的接点部材であって、前記先端部の基材表面が、Ａｕ、Ａｕ合金、ＰｄまたはＰｄ合金から構成され、基材表面に中間層が形成され、該中間層の表面に、金属および／またはその炭化物を含有した炭素皮膜が形成されており、且つ前記中間層は、ＮｉまたはＮｉ合金からなる内側層と、Ｃｒ、Ｃｒ合金、Ｗ、Ｗ合金の少なくとも１種を含む外側層を有する積層構造である。 （もっと読む）

【課題】コンタクトピンとプロービング対象体とを安定して接触させる。
【解決手段】スリーブ２と、プロービングポイントに接触させられる突起１４が先端部１１の端面に複数形成され、かつ後端側がスリーブ２内に摺動自在に挿入されたコンタクトピン４とを有するコンタクトプローブ１であって、コンタクトピン４の先端部１１は、プロービングポイント側が開口する円筒体で形成され、突起１４は、円筒体の周壁１１ａにおけるプロービングポイント側の部位を歯状に形成して構成されている。 （もっと読む）

【課題】 基板の微細化及び複雑化に対応することができ、部品点数を低減した簡素化した構造の四端子測定を可能にする接触子を備える検査用治具の提供。
【解決手段】 被検査物と検査装置を電気的に接続する検査用治具であって、前記検査装置と電気的に接続される電極部と、一方端が検査部に圧接され他方端が電極部に圧接される導電性の筒形状の第一筒体と、該第一筒体内に略同軸で配置され、一方端が検査部に圧接され他方端が電極部に圧接される導電性の筒形状の第二筒体と、前記第一筒体と前記第二筒体は、筒壁部の螺旋状の切欠部により形成される長軸方向に伸縮する２つの伸縮部が中間部を介して設けられ、第一筒体と前記第二筒体は、夫々の中間部において該第一筒体と該第二筒体が固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の微細化及び複雑化に対応することができ、部品点数を低減した簡素化した構造の検査用治具を提供する。
【解決手段】被検査対象の検査体と検査装置とを接続する検査用治具であって、接触子２が、両端に開口部を有する外側筒体２ｂと、外側筒体の内側に収容され外側筒体の両端から夫々突出して配置される内側筒体２ａを備え、内側筒体は、検査点と接する第一筒部２ａ１と、内側筒体の長手方向に伸縮する第一伸縮部２ａ４と、他方端が電極部に当接する第二筒部２ａ２と、該接触子の長手方向に伸縮する第二伸縮部２ａ５と、第一伸縮部と前記第二伸縮部を連通連結する第三筒部２ａ３とを有し、第一筒部、第一伸縮部、第三筒部、第二伸縮部と第二筒部が一の筒部材から形成されてなり、第三筒部は外側筒体と前記内側筒体を固着する接続部が形成される。 （もっと読む）

【課題】測定用機器のリード端子またはリード線と、配電盤における所望の端子台ネジとを、容易かつ確実に接続すること。
【解決手段】支点部１０３において回動可能に連結され、支点部１０３を支点として揺動可能に設けられた一対のクリップ片１０１、１０２と、一対のクリップ片１０１、１０２における一端部１０１ａ、１０２ａどうしが当接するように一対のクリップ片１０１、１０２を付勢する付勢部材１０４と、一方のクリップ片１０１の他端部１０１ｂに設けられ、リード端子２０１またはリード線１１０２を保持可能な接続部１０５と、一方のクリップ片１０１の一端部１０１ａに設けられ、接続部１０５に対して電気的に接続された端子部１０７と、他方のクリップ片１０２に設けられ、当該他方のクリップ片１０２における少なくとも配電盤が備えた端子台ネジに接触する部分を絶縁する絶縁部１０８と、を備えた測定用クリップ１００を構成した。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルプリント基板に傷付けずに正確に接触させることができる基板検査装置の提供。
【解決手段】フレキシブルプリント基板４１を保持する治具１２と、該基板４１の一側面４４側に位置する一側検査ユニット２２と、他側面４５側に位置する他側検査ユニット３２とを備える基板検査装置１１において、各検査ユニット２２，３２は、３軸方向への移動が可能な可動本体２３，３３と、該可動本体２３，３３に取り付けられた吸引プローブ体２５，３５とで構成され、該吸引プローブ体２５，３５は、先端開口部２６ａ，３６ａから空気引き可能に配設される１本以上の吸引筒体部２６，３６と、該吸引筒体部２６，３６の先端開口部２７ａ，３７ａを基板４１に接触させてその空間部２６ｂ，３６ｂ内を負圧にして検査ポイントに接触端２７ａ，３７ａを接触させるコンタクトプローブ２７，３７とで形成した。 （もっと読む）

【課題】プローブなどの同軸構造の端子においてワイピングができる同軸コネクタを提供する。
【解決手段】ランド１５１を有する基板２に取り付けられる同軸コネクタ１は、中心端子５２およびそれを囲む筒形の外端子６１による同軸構造を有する同軸端子５１と、上記同軸端子５１を収容するハウジング１１と、上記外端子６１の軸方向に沿って移動可能で且つ上記ランド１５１と接触される筒形コンタクト８１と、上記ハウジング１１から突出させるように上記筒形コンタクト８１を付勢する付勢部材７１と、上記付勢部材７１の付勢力に抗して上記筒形コンタクト８１が上記ハウジング１１へ押し込まれるときに上記筒形コンタクト８１を上記軸を中心に回転させる機構とを含む。 （もっと読む）