【課題】構成が簡単で、製造コストを低減できる三次元磁界センサを実現する。
【解決手段】三次元磁界センサ１は、平面である素子配置面４０ａを有する基板４０と、基板４０の素子配置面４０ａ側に配置されて基板４０と一体化されたＭＲ素子１０，２０，３０を備えている。ＭＲ素子１０は、磁化固定層１１、非磁性層１２および自由層１３を有し、ＭＲ素子２０は、磁化固定層２１、非磁性層２２および自由層２３を有し、ＭＲ素子３０は、磁化固定層３１、非磁性層３２および自由層３３を有している。自由層１３，２３，３３の磁化の方向は、外部磁界Ｈの方向に応じて変化する。磁化固定層１１の磁化の方向は、素子配置面４０ａに平行なＸ方向に固定されている。磁化固定層２１の磁化の方向は、素子配置面４０ａに平行であってＸ方向に直交するＹ方向に固定されている。磁化固定層３１の磁化の方向は、素子配置面４０ａに垂直なＺ方向に固定されている。 （もっと読む）

【課題】トンネル磁気抵抗素子を利用した生体磁気センサーにおいて、トンネル磁気抵抗素子の高感度を達成し、高精度に生体磁気を計測する。
【解決手段】ゼロ磁界での強磁性金属磁化自由層４の容易磁化軸４ａは、強磁性金属磁化固定層６の容易磁化軸６ａに対してねじれの位置にある。好ましくはねじれの角が４５度から１３５度である。また、当該固定層が自由層より上層に積層され、固定層の面積は自由層の面積に対して小さくされる。当該固定層及び自由層がそれぞれ３層とされ、極薄非磁性体金属層を介して第１の強磁性体の磁化の向きと前記第２の強磁性体の磁化の向きとが反平行になる交換結合力を有する反平行結合膜構造体とされる。絶縁層としてはＭｇＯ、極薄非磁性体金属層としてはＲｕが適用される。 （もっと読む）

【課題】電流値を精度良く検知する。
【解決手段】磁気抵抗素子１１を備えた電流センサ１０であって、該磁気抵抗素子１１の、磁気抵抗素子１１自体に流すセンス電流に応じた出力変化（センス電流部１２による出力変化）と、磁気抵抗素子の近傍に配置される電気配線（電気配線ｗｄ２等の影響による出力変化）への電流に応じた出力変化と、の２つの出力変化に基づいて測定対象である負荷Ａへの電流を測定する。 （もっと読む）

【課題】第１の磁性部分と、第２の磁性部分と、第１の磁性部分と第２の磁性部分の間の
バリア層とを有するセンサスタックを含む磁気センサを提供する。
【解決手段】第１の磁性部分及び第２の磁性部分のうち少なくとも一方が、バリア層に隣接する正の磁気ひずみを有する第１の磁性層と、第２の磁性層と、第１の磁性層と第２の磁性層の間の中間層とを有する多層構造を含む。この磁気センサは、その抵抗−面積（ＲＡ）積が約１．０Ω・μｍ^２であるとき、少なくとも約８０％のＭＲ比を有する。 （もっと読む）

【課題】平面に適用された磁場を測定する方法を提供する。
【解決手段】第１の交流ドライブ電流を第１のストラップに適用し、第１のストラップの少なくとも一部が、磁気抵抗センサの上に横たわり、第１のストラップが、第１の方向Ｘに延びる大きさを有することを特徴とし、第２の交流ドライブ電流を第２のストラップに同時に適用し、第２のストラップの少なくとも一部が第１のストラップの少なくとも一部の上に横たわり、第２のストラップが第２の方向Ｙに延びる大きさを有し、第２の方向が、第１の方向と並行ではなく、第２の交流ドライブ電流が、第１の交流ドライブ電流と位相が異なり、磁気抵抗センサが、磁気抵抗センサの平面で回転する周期的回転磁気ドライブ磁場に影響を受けることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非線形カルマンフィルタを用いて高速且つ正確な状態推定を行う。
【解決手段】携帯機器１は、３次元地磁気センサ７０、３次元加速度センサ８０、ＣＰＵ１０、状態推定プログラム１００を備え、状態推定プログラム１００は、複数の磁気データｑ１〜ｑＮの示す座標を近傍に有する球面の中心点ｃ_Ｓの座標を算出する中心点算出モジュール３００と、複数の加速度データａ１〜ａＭに基づいて、携帯機器の動きが安定しているか否かを判定する安定性判定モジュール４００と、安定性判定モジュール４００が行う判定結果が肯定である場合に初期ベクトルＩＮＩを算出する初期ベクトル生成モジュール５００と、初期ベクトルＩＮＩを初期値とする状態ベクトルｘを観測値ベクトルｙを用いて更新するカルマンフィルタモジュール６００とを備える。 （もっと読む）

【課題】ピン層の磁化方向とフリー層の磁化方向との成す角度に対して検出精度が異なることを簡素な構成で抑制することができると共に、応答速度を向上させることができる磁気センサを提供する。
【解決手段】磁化方向が所定方向に固定されたピン層１１および外部磁界に応じて磁化方向が変化するフリー層１３を有し、ピン層１１の磁化方向とフリー層１３の磁化方向との成す角度に応じて抵抗値が変化する第１、第２磁気抵抗素子Ｒ１、Ｒ２を有する検出部１０を備える。そして、第１、第２磁気抵抗素子Ｒ１、Ｒ２をピン層１１の磁化方向が互いに直交する状態で直列接続し、検出部１０から第１、第２磁気抵抗素子Ｒ１、Ｒ２の中点電圧を検出信号として出力する。 （もっと読む）

【課題】小型化及びコスト低下を図るとともに、不正行為の検出も可能にした金属部材検出装置を提供する。
【解決手段】金属部材が通過する通路３の側方に、磁界発生手段５と、金属部材が通路３を通過する際に生じる磁界発生手段５からの磁界の変化を検出する磁界検出手段６とを備え、磁界検出手段６は、互いに異なる複数軸方向の磁界を検出可能な磁気検出素子８を有しており、磁気検出素子８の検出結果を組み合わせるなどにより、金属部材の通過及びその方向などを検出する。 （もっと読む）

【課題】 シザーズ構造を有する磁気抵抗センサの磁気バイアス構造を提供する。
【解決手段】 磁気バイアス付与の堅牢性を向上させる新規のハードバイアス構造を有するシザーズ型磁気センサ。当該センサは、電気絶縁障壁層または導電スペーサ層等の非磁性層により分離された第１の磁気層および第２の磁気層を含むセンサスタックを含む。第１の磁気層および第２の磁気層は、逆平行に結合されるが、磁気バイアス構造により、エアベアリング面に対して平行でも垂直でもない方向に傾けられた磁化方向を有する。磁気バイアス構造は、センサスタックの後縁から延在し、センサスタックの第１の側面および第２の側面に整列した第１の側面および第２の側面を有するネック部を含む。バイアス構造はまた、ネック部から後方に延在する先細または楔形部を含む。 （もっと読む）

【課題】環境オフセットの変動に対する追従性を向上させる磁気測定データ校正装置及び方位角計測装置を提供する。
【解決手段】本発明は、互いに直交する３つの測定軸を有し、測定軸方向の地磁気を測定する軸センサからなる磁気センサから出力される測定軸毎の磁気測定データのオフセットを求め、磁気測定データを補正する装置であり、測定された磁気測定データの測定軸毎の磁気データと、前回のオフセットとの差分から誤差関数を求める誤差関数計算部と、誤差関数及び前回の共分散行列からオフセット残差を算出するオフセット残差計算部と、前回の磁気測定データの測定時のオフセットに対し、オフセット残差を加算し、新たなオフセットを算出するオフセット更新部と、測定された磁気測定データを用い、以前に測定された磁気測定データを母集団とする磁気測定データの共分散行列を更新する共分散行列更新部とを備える。 （もっと読む）

【課題】電流測定時においても磁界検出感度を適切に管理可能な電流センサを提供すること。
【解決手段】電流線（２）を通流する被測定電流（Ｉ）からの誘導磁界（Ｈｉ）を検出する磁気抵抗効果素子（１１ａ〜１１ｄ）を備えた磁気センサ（１１）と、磁気抵抗効果素子（１１ａ〜１１ｄ）に対しその感度方向（Ｓａ〜Ｓｄ）に直交する向きの磁界（Ｈｃ）を印加する磁界印加部（１２）と、磁気センサ（１１）の出力からその補正値を算出する演算部と、を備え、演算部は、磁界印加部（１２）により印加する磁界が異なる少なくとも２つの状態において得られる磁気センサ（１１）の出力から、補正値を算出可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】１つの基板に設けた複数の磁気抵抗素子部のピン磁性層を異なる方向に着磁させる。
【解決手段】基板１０を用意し、基板１０の一面１３の上方に複数の磁気抵抗素子部２２を形成する。次に、基板１０において一面１３から他面１４までを貫通する貫通孔１５を形成する。続いて、基板１０の一面１３側と他面１４側とのいずれか一方から他方に貫通孔１５を介して電流が流れる直線状の電流供給ライン４０を形成する。ここで、電流供給ライン４０としてワイヤ４１を用いる。この後、ワイヤ４１に電流を流すことによってワイヤ４１の周囲にワイヤ４１を中心とした同心円状の磁界を発生させると共に、基板１０全体を加熱して磁場中アニールを行う。これにより、複数の磁気抵抗素子部２２を構成するピン磁性層２２ａの磁化の向きがそれぞれ同心円状の磁界の接線方向に向くように着磁を行う。 （もっと読む）

【課題】被実装部材上に回路チップと隣接して搭載される磁気センサにおいて、回路チップとパッドとを電気的に接続するワイヤ同士の接触を抑制することができる磁気センサを提供する。
【解決手段】複数のパッド３１〜３６を一辺１０ａと垂直方向において互いに完全にオフセットした状態で配置する。これによれば、被実装部材上に磁気センサの一辺１０ａを回路チップと隣接して搭載し、パッド３１〜３６と回路チップとをワイヤで接続した際に、ワイヤ同士が接触してしまうことを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】１つの基板に形成した複数の磁気抵抗素子部のピン磁性層を任意の方向に着磁させたとしても、着磁による熱拡散の影響を低減する。
【解決手段】基板１０の一面１１の上方に各磁気抵抗素子部５０を形成する。次に、基板１０のうち各磁気抵抗素子部５０に対応する部分に溝１３を形成して空間部１４を形成する。この後、磁場の向きが第１の方向に設定された磁場中に、各磁気抵抗素子部５０が形成された基板１０を配置し、一方の磁気抵抗素子部５０を局所的に加熱して磁場中アニールを行い、当該磁気抵抗素子部５０のピン磁性層５１の磁化の向きを第１の方向に着磁する。また、磁場の向きを第１の方向とは異なる第２の方向に設定した磁場中において、他方の磁気抵抗素子部５０を局所的に加熱して磁場中アニールを行い、当該磁気抵抗素子部５０のピン磁性層５１の磁化の向きを第２の方向に着磁する。 （もっと読む）

【課題】検出精度を低下させることなく、装置全体としての回路規模をより縮小することができる変位検出装置、車両用操舵装置及びモータ。
【解決手段】モータ回転角センサ１６は、複数のホール素子ＨＡ〜ＨＣと、これら複数のホール素子ＨＡ〜ＨＣを動作させるための電力供給をそれぞれ遮断可能な複数のスイッチＳＷＡ〜ＳＷＣとを備える。 （もっと読む）

【課題】精度の高い磁界検出方法を提供する。
【解決手段】
トンネル磁気抵抗効果素子１０を用いて外部磁界を検出する磁界検出方法が提供される。磁界検出方法は、トンネル磁気抵抗効果素子１０の自由層１５の磁化方向を変化させるバイアス磁界Ｈｂと外部磁界Ｈｅｘとを同時に、もしくはバイアス磁界Ｈｂと外部磁界Ｈｅｘとを個別にトンネル磁気抵抗効果素子１０に印加したときの電気特性を測定するステップと、バイアス磁界Ｈｂおよび外部磁界Ｈｅｘに応じて測定されたトンネル磁気抵抗効果素子１０の電気特性に基づいて外部磁界を算出するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 熱マグノンによるスピントルク発振素子を提供する。
【解決手段】 「熱マグノンによる」スピントルク発振素子（ＳＴＯ）は、熱流のみを用いて、スピントルク（ＳＴ）効果を惹起しかつ自由層磁化の持続的な振動を発生させる。熱マグノンによるＳＴＯは、従来型の自由層および基準層に加えて、さらに、固定された面内磁化を有する磁性酸化物層と、その磁性酸化物層の１つの表面上の強磁性金属層と、自由層および金属層間の非磁性導電層と、磁性酸化物層のもう一方の表面上の電気抵抗性ヒータとを含む。熱マグノン効果のために、金属層と伝導層と自由層とを通る磁性酸化物層からの熱流によって、最終的に、自由層に対するスピン移行トルク（ＳＴＴ）が生じる。熱流と反対方向に流れるセンス電流が、自由層磁化の振動周波数を監視するために用いられる。 （もっと読む）

【課題】ソフトアイアン効果が生じている場合に正確な地磁気の方向を算出する
【解決手段】地磁気測定装置は、３次元磁気センサ６０から順次出力される複数の磁気データｑ_１〜ｑ_Ｎの示す座標を近傍に有する、第１楕円面、第２楕円面、及び第３楕円面の形状を表す、第１楕円面係数行列Ｄ_ｘｘ、第２楕円面係数行列Ｄ_ｙｙ、及び第３楕円面係数行列Ｄ_ｚｚを生成する初期楕円面生成部３１０と、第１楕円面の中心点ｃ_ｘｘ、第２楕円面の中心点ｃ_ｙｙ、及び第３楕円面の中心点ｃ_ｚｚの相互間の距離が、第１閾値Δｃ以下であることを判定する初期楕円面中心点判定部３２２と、第１楕円面係数行列Ｄ_ｘｘ、第２楕円面係数行列Ｄ_ｙｙ、及び第３楕円面係数行列Ｄ_ｚｚに基づいて初期楕円面補正行列Ｔ_０を生成するとともに、中心点ｃ_ｘｘ、中心点ｃ_ｙｙ、及び中心点ｃ_ｚｚに基づいて初期中心点ｃ_Ｅ０を生成する初期補正値生成部３３０とを備える。 （もっと読む）