【課題】それぞれの変数に対する感度は、少なくとも一部は、入射ビームの計測角に依存することから、所望の計測角のセットを選択することによって、分光計測技術の感度を、ある種のプロファイル変数について最適化する。
【解決手段】選択された所望の計測角のセットは、方位角および極角の両方を含む。また分光計測技術の感度を最適化することは、計測されるべき変数間の計測相関を低減または解消しえる。 （もっと読む）

この分光装置では、透過波長帯域が異なる複数の干渉フィルタ３１，３２・・・を、特定の干渉フィルタ３１で反射された光が次段の干渉フィルタ３２に入射するように順次配置し、それぞれの干渉フィルタを透過した光が入射する位置に光検出素子４１，４２・・・を設けてなる分光装置において、この分光装置における初段の干渉フィルタ３１の光入射面側に厚さ２０〜２００ｎｍの銀薄膜３１ａを設けることとした。
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【課題】 信頼性が高く、短時間で波長校正を行なうことができる波長測定装置および波長測定装置の校正方法を実現することにある。
【解決手段】 本発明は、基準光源からの基準光で自装置の波長校正を行い、被測定光の波長測定を行う波長測定装置に改良を加えたものである。本装置は、基準光源からの基準光と被測定光を合波する光合波器と、この光合波器に入力側が接続され、複数の測定レンジを有し、波長校正時には被測定光を測定する測定レンジとは異なる測定レンジで波長測定を行う波長測定部とを設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分光器に関し、より詳細には、エタロンベースの分光器に関する。
【解決手段】第１の複光路エタロンベース分光器が開示される。好ましい実施形態において、第１の複光路エタロンに適合する第２のエタロンが使用され、極めて正確なフリンジデータを生成する。拡散ビームのスペクトル成分は、エタロンを通って透過される時に角度的に分離される。再帰反射器は、透過された成分を該エタロンを通して反射して戻す。２度透過されたスペクトル成分は、第２のエタロンを通って進み、第２の好ましい実施形態ではフォトダイオード・アレーである光検出器上に集束する。該分光器は、非常にコンパクトであり、きわめて正確なフリンジデータを生成し、Δλ_FWHM及びΔλ_95%の両方に関してマイクロリソグラフィーに必要な精度を伴う帯域幅測定を可能にする。 （もっと読む）

【課題】傾くことなく正確に直線移動させることが可能な可動ミラーで、且つ許容誤差を満たしつつ簡単に取り付けることが可能なミラーを提供すること。
【解決手段】モノリシック変換器支持部材に取り付けられるモノリシックミラー支持部材を有するミラー変位アセンブリであって、これらの２つの部材は互いに離間した薄厚部を有し、これらの薄厚部は変換器支持部材に取り付けられる変換器によって変形可能であり、そして２つの支持部材はほぼ同じ形を有することが好ましい。このように、ミラー支持部材上に位置するミラーは不要に傾くことなく変位させることができ、同時にアセンブリ内の高応力領域はこれらの２つのモノリシック部材の間の接合から理想的に離間する。 （もっと読む）

【課題】ＣＥＯＳ機器を周囲環境、すなわち熱的環境及び振動環境の両方からほぼ完全に遮断すること。
【解決手段】高性能キャビティを使用する分光機器の筐体は、機器の光学キャビティを筐体壁から離れた位置に配置し、壁に取り付けられるヒートポンプ、ファン、及び熱交換器を設けることにより温度が極めて安定した環境を実現する。ファンによって、筐体内に含まれるガスが、熱交換器全体及び筐体の内壁面に沿った乱流ではない層流路に循環するようになり、これによって光学キャビティを温度及び振動の安定したゾーンに保持することができる。 （もっと読む）

【課題】走査速度および設計複雑性に関して、汎用型の測定装置および走査装置を改良し、同時に、グラフィック産業における品質管理や、色測定による印刷プロセス制御に対する適合性を維持する。
【解決手段】画素に基づいて印刷シートの形態の測定対象を光電的に測定するための走査装置は、測定対象を支持するための測定テーブルＭＴと、測定対象の画素ラインを走査するために測定テーブルの表面の上方で移動可能な測定装置と、測定対象の上方で測定装置を移動させるための駆動システムと、測定装置および駆動システムのための測定／駆動制御システムと、測定装置によって測定対象Ｓの走査画素から生成された測定信号を処理および評価するための処理装置とを備えている。測定装置は、照射システムと、光電受光ユニットと、光学手段とを備えている。照射システムは、標準化された入射角範囲で、帯状の照射領域１５内の画素に光を当てる。 （もっと読む）

【課題】 高速に変調された光の波長チャープを高い精度で簡便に測定し、広い帯域を持つ変調光の波長チャープを測定する。
【解決手段】 光パワーの平方根に比例する電場振幅の透過率を光周波数で微分して得られる微分係数が正で極大となる第一の透過波長域と、この第一の透過波長域と電場振幅の透過率が等しくこの電場振幅の透過率を光周波数で微分して得られる微分係数が前記第一の透過波長域とその絶対値がほぼ等しく符号が負となる第二の波長域とを有する可変光フィルタを用い、この可変光フィルタの透過波長域を可変し変調光の波長域に前記第一または第二の透過波長域を順次合致させ、それぞれ通過した変調光の時間波形を観測する。 （もっと読む）

空隙を含む特別な構造の金属膜は、巨大に増強された表面増強ラマン分光（ｓｕｒｆａｃｅ ｅｎｈａｎｃｅｄ Ｒａｍａｎ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ，ＳＥＲＳ）の効果を伝えることを発見した。空隙を特定のサイズと幾何学構造に選択することによって、所定の波長の入射放射に対するフォトンからプラズモンへの変換効率が増強された金属膜を提供することが可能となる。従って、制御可能な表面増強吸収及び放出特性が与えられる。これはＳＥＲＳに有効であり、また他の光学分光法およびフィルタリングへの応用に有効である可能性を有する。このような大きなラマン信号により、本発明においては、高速かつ小型かつ安価なラマン分光器を提供することが可能となり、数多くの新規応用の可能性が開拓される。
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【課題】着色画素の分光透過率を測定する際に、カラーフィルタ基板を製造ラインから取り出すことなく、インラインでリアルタイムに、また、カラーフィルタ基板をミクロな範囲に正確に位置決めせずに、簡便に測定することのできる分光透過率測定方法、及び分光透過率測定装置を提供すること。
【解決手段】ガラス基板上に３色の着色画素が順次に同一面積で、同一個数形成されたカラーフィルタの、着色画素５２の分光透過率を各色毎に測定する際に、前記数式１から第一色の分光透過率を、数式２から第二色の分光透過率を、数式３から第三色の分光透過率を算出すること。ブラックマトリックス５１が形成されたガラス基板５０であること。製造ライン上でガラス基板を移動させながら測定すること。 （もっと読む）

変調分光システム１が、プローブビーム１１をサンプル１０上に向け、反射されたプローブビームは集光器７によって集光され、検出器８により処理される。光源４、５によって作られたポンプビームは、ポンプビーム１３をサンプル上のプローブビームと同じにスポットに向ける。しかし、同時にポンプビームをそのプローブスポットに重ならない隣接した位置に切り換えることも行われる。これは空間変調と呼ばれる。集光サブシステム７の円柱レンズ１６は、両ポンプビームスポットからのルミネセンスを同時に含む反射光を集光し、従ってルミネセンスは除去が容易に行えるＤＣ信号となる。また、変調器からのポンプビームの強度と位置を変えるための手段も備える。これは不要なバックグラウンドのルミネセンス信号を除去する手段となると同時にＳ／Ｎ比を改善する。
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【課題】測定の精度を落とすことなく測定速度の高速化できるスペクトルデコード装置を提供することを目的とする。
【解決手段】輝度スペクトル分布の違いでコード化した被検体をデコード可能かつ最少のバンドパスフィルタを選択するバンドパスフィルタ選択手段１０１と、選択したバンドパスフィルタで前記被検体の輝度スペクトル分布を取得するスペクトル取得手段１１１７と、取得した輝度スペクトル分布と予め測定した被検体の輝度スペクトル分布のリファレンススペクトルデータから前記被検体をデコードするデコード手段１１１６とリファレンスペクトルデータを予め記憶するリファレンススペクトルデータ記憶手段１１０１を備え、被検体に応じて測定に用いるバンドパスフィルタを選択し測定することにより、被検体の測定時間を短縮する。 （もっと読む）

マルチチャネル、マルチスペクトル型撮像分光計は、それぞれが２以上の入力チャネルの各々用である２以上の入力スリット又は他の光入力装置を有する。入力スリットは、互いに垂直及び水平方向に変位されている。垂直変位は、２つのチャネルからのスペクトルが、静止画像面上の単一画像センサ上で、互いに垂直方向に変位されるようにする。水平変位は、それぞれの入力チャネルからの入射光ビームが、異なるそれぞれの入射角で凸状格子に衝突し、異なるそれぞれのスペクトル範囲を持つ別々のスペクトルを生成するようにする。反転型分光計は、回折によって、光の波長を、異なる角度及び次数で、入射光ビームに沿ってほぼ後方に分散させる凸状格子を有する。単一の凹面鏡は、入力チャネルと分散スペクトルの双方を反射する。プリズム、ミラーの組、ビームスプリッタ又は他の光学要素（１又は複数）は、分光計の入力チャネル（１又は複数）を折り返して、入力（１又は複数）が、画像センサの面から遠くへ移動されるようにして、より大きなカメラ又は他の装置が、入力（１又は複数）を遮ることなく、分光計に取り付けられるようにする。搭載機構は、湾曲した光学要素が、ラテラル及びトランスバースの並進によって、ジンバルマウントを要することなく、調整され得るようにする。 （もっと読む）

【課題】 時間分解分光計測を高精度に行うことができる時間分解分光装置を提供する。
【解決手段】 コリメートされたプローブ光を第一回折格子に斜めに入射させて、分散によるスペクトル分布が生じる方向での位置及び時間遅延量が異なる一次回折光の集合に変換し、これら各一次回折光を二次元変換光学系によって変換して擬似ニ次元スペクトログラムＳを得る時間分解分光装置において、第一回折格子に対する共役面ＦＣ上に第一回折格子と同じ格子定数の第二回折格子８を設置し、この第二回折格子８と撮像装置との間に、縮小光学系であるリレー光学系１１を配置する。 （もっと読む）

【課題】
光信号対雑音比（ＯＳＮＲ）を測定する。
【解決手段】
光バンドパスフィルタ（ＯＢＰＦ）２０が、測定対象の波長又はチャネルの信号光成分を抽出する。光スプリッタ２２は、ＯＢＰＦ２０の出力光を７つに等分割する。偏光子２４，２８，３２，３６及びフォトダイオード２６，３０，３４，３８により、水平方向、垂直方向、＋４５度方向及び−４５度方向の各直線偏光成分の光強度Ｐ_１，Ｐ_２，Ｐ_３，Ｐ_４を得る。１／４波長板４０，４６、偏光子４２，４８及びフォトダイオード４４，５０により、右回り及び左回りの各円偏光成分の光強度Ｐ_５，Ｐ_６を得る。フォトダイオード５２により測定対象の信号光の光強度Ｓ_０を得る。減算器５４、５８，６２が、Ｓ_１（＝Ｐ_１−Ｐ_２）、Ｓ_２（＝Ｐ_３−Ｐ_４）及びＳ_３（＝Ｐ_５−Ｐ_６）をそれぞれ算出する。演算装置６８はＳ_１，Ｓ_２，Ｓ_３，Ｓ_０から偏光度（ＤＯＰ）を算出し、換算装置７０はＤＯＰをＯＳＮＲに換算する。 （もっと読む）

【課題】 時間分解分光計測を高精度に行うことができる時間分解分光装置を提供する。
【解決手段】 コリメートされたプローブ光を回折格子に斜めに入射させて、分散によるスペクトル分布が生じる方向での位置及び時間遅延量が異なる一次回折光の集合に変換し、これら各一次回折光を、二次元変換光学系によって二次元変換光学系の光軸ＡＸ２に交差する仮想平面内でそれぞれスペクトル分布が生じる方向とは交差する方向にスペクトル分布が生じるように変換して、回折格子と共役となる共役面ＦＣ上にプローブ光の擬似二次元スペクトログラムＳを結像させ、撮像面７ａが共役面ＦＣと共役となるようにして配置された撮像装置７によって擬似二次元スペクトログラムＳと参照光との干渉縞パターンを得る時間分解分光装置において、二次元変換光学系と撮像装置との間に、縮小光学系であるリレー光学系１１を配置する。 （もっと読む）

【課題】 機構的にスリット幅を狭くすることなく、光スペクトルの測定精度の向上を図る。
【解決手段】 回折格子１４は、被測定光を波長分散して分光し、一定方向に回転して選択した波長の回折光を生成する。集光レンズ１３は、回折光を集光して集光ビームを生成する。スリット制御部１５は、スリット幅の開閉を一定のスキャン速度で可動し、集光ビームの透過帯域幅を可変にする。受光測定部１６は、スリットからの透過光を受光して、光周波数の変化によって変動する受光パワーのレベルを表すレベル関数を求めた後、レベル関数をスキャン速度で微分して、被測定光のスペクトル形状を再現する。 （もっと読む）

【課題】フェムト秒光パルスのパルス幅を容易に計測すること。
【解決手段】入力光パルスを二分して得られた第１分岐光Ｌ１、および第１分岐光に対し時間遅延のない第２分岐光Ｌ２が、基本波として、入射される非線形光学素子２０と、非線形光学素子で発生された第２高調波の、ある波長領域に存在する全てのスペクトルを抽出し、抽出する中心波長が位置によって連続的に変化するスペクトル抽出光学素子３０と、スペクトル抽出光学素子から出射する第２高調波の２次元パターンを撮像する２次元撮像素子４０とを具える。非線形光学素子として、有機色素素子を用い、自己相関波形情報対波長情報の２次元パターンを得、自己相関波形情報からスケール基準としてのレチクルを用いてパルス幅を決定する。 （もっと読む）

複数の波長成分を含んでいてガウシアンビームで近似される光束を出射する入射側光導波路と、入射側光導波路の出射側に設置され、入射側光導波路から出射されたガウシアンビームで近似される光束を、略平行光束に変換するコリメートレンズとを有する光入射部と、コリメートレンズにより略平行光束に変換された光束が入射され、波長ごとに出射方向の異なる光束を出射することで光束を分光する、表面に溝を有する回折格子と、回折格子によって分光された各光束をそれぞれ集光する、複数の集光レンズを有する光出射部とを備えている。
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本発明は、色収差無発生型且つ吸収低減型の光収集システム、特に光学的分光分析に適合させた同システムに関する。このシステムは、少なくとも１つの光源（５２）によって放射される光を収集し、この収集された光を少なくとも１つの光検出装置（５４）上に集束する。このシステムは、望ましくは、光源によって放射される光を収集し、この収集された光を第２のミラー（６０）上に集束する第１のミラー（５８）を備える。次いでこの第２のミラーは、この集束された光を光検出装置上に集束する。このシステムは、全ての光、特に紫外線放射光に対して透明なチャンバを備え、このチャンバ内に光源、光検出装置とミラー、並びにこのチャンバ内に真空を生成するか、又はこのチャンバ内に紫外線放射光に対して透明であるガスを充填する手段（１１８）が設置される。
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