【課題】消費電力の低減を図れ、かつ配線信頼性の高い光フィルター素子、光フィルターモジュール、および分析機器を提供する。
【解決手段】光フィルター素子は、第一基板５１と、前記第一基板５１と対向する第二基板５２と、前記第一基板５１に設けられた第一反射膜と、前記第二基板５２に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜５７と、前記第一基板５１に設けられた第一電極と、前記第二基板５２に設けられ、前記第一電極に対向する第二電極５４２と、前記第一基板５１に設けられ、前記第一電極に接続された一対の第一引出電極５４１Ａと、前記第二基板５２に設けられ、前記第二電極５４２に接続された一対の第二引出電極５４２Ａと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 正確で安定した分光特性を得ることができる分光測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】分光測定装置（１００）は、対象物体をヴィネッティング無しで且つテレセントリックに結像可能な対物光学系（１１）と、所定方向に沿って透過波長が異なるように形成された第１透過波長選択フィルタ（１２）と、第１透過波長選択フィルタを移動させる駆動部と、対象物体の像の共役像をヴィネッティングなしで投影する投影光学系（１５）と、対物光学系または投影光学系（１５）に設置されて、第１透過波長選択フィルタ上に物体像を結像し透過する光束のうち、撮像に使う成分をヴィネッティング無しで且つテレセントリックとする開口絞り（１５３）と、共役像を撮像する二次元撮像素子（１６）と、共役像を記憶する記憶部と、対象物体の分光特性を測定する測定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ギャップが形成される空間の内圧の上昇を抑制し、ギャップの精度を向上させることができる波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルターの製造方法は、第一基板１００のチップ領域１０１に、静電ギャップ形成溝１１１と、静電ギャップ形成溝１１１からチップ領域１０１の外周縁に延びる配線形成溝１１３、１１４と、これらの配線用形成溝と第一基板１００の外部とを連通する空気連通溝１２０、１３０と、を形成する第一基板溝形成工程と、前述の各種溝に固定ミラー１６、第一電極１４１、および第一配線部１４１Ａを形成する第一基板配線形成工程と、可動ミラー、第二電極、および第二配線部と、を備えた第二基板を形成する第二基板形成工程と、第一基板１００および第二基板を貼り合わせる貼合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】微小な傾斜構造体を製造することを課題とする。
【解決手段】傾斜構造体の製造方法は、基板部１３ａの上に軸部１３ｂを形成し、軸部の上面が露出し、且つ軸部の上面と接続する上面を有する犠牲膜を基板部１３ａの上に形成し、軸部の上面及び犠牲膜の上面に傾斜構造体膜７を形成し、軸部の上面と軸部の側面によって構成される角部の上に位置する傾斜構造体膜７の膜厚を薄く加工することにより、傾斜構造体膜に前記角部の上に位置する薄膜部１１を形成し、傾斜構造体膜７と基板部１３ａとの間の犠牲膜を除去し、傾斜構造体膜と基板部との間に液体１８を供給し、液体１８を除去することにより、ステッキングを発生させ、傾斜構造体膜を薄膜部１１で曲げ、傾斜構造体膜の端部を基板部に接合することで、基板部と傾斜構造体膜によって鋭角を構成する。 （もっと読む）

【課題】高速且つ正確に光学特性を変化させることのできる可変分光素子を提供する。
【解決手段】第１センサと第３センサ、第２センサと第４センサが、一対の光学基板２の対向面の重心を結んだ線を軸として対称となる位置に配置され、第１〜４アクチュエータの各々が、一対の光学基板２の対向面の重心から第１〜４センサの各々の中心方向へ伸びる線の線上に配置された可変分光素子であって、第１〜４センサの信号から、一対の光学基板２の対向面の重心同士の間隔ｘを算出し、第１センサの信号と第３センサの信号から、移動させる光学基板の対向面と重心を結んだ線に垂直な面がなす第１の角度θを算出し、第２センサの信号と第４センサの信号から、重心を結んだ線に垂直な面と移動させる光学基板の対向面がなす第２の角度φを算出し、重心同士の間隔ｘ、第１の角度θ及び第２の角度φに基づいて第１〜４アクチュエータを駆動する制御部を備えている。 （もっと読む）

【課題】高速かつ正確に光学特性を変化させることのできる可変分光素子を提供する。
【解決手段】第１〜４ピエゾ素子４₁〜４₄の各々が、一対の光学基板２の対向面の重心から第１〜４センサ３₁〜３₄の各々の中心方向へ伸びる線の線上に配置された可変分光素子において、第１〜４センサ３₁〜３₄の信号から、一対の光学基板２の対向面の重心同士の間隔ｘを算出し、第１センサ３₁の信号と第３センサ３₃の信号から、移動させる光学基板の対向面と重心を結んだ線に垂直な面がなす第１の角度θを算出し、第２センサの信号３₂と第４センサ３₄の信号から、移動させる光学基板の対向面が重心を結んだ線に垂直な面がなす第２の角度φを算出し、間隔ｘ、角度θ及びφに基づいて第１〜４ピエゾ素子４₁〜４₄を駆動し、の間隔ｘ、角度θ及びφついてＦＢ制御及びＦＦ制御を行う制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】分光センサー及び角度制限フィルターを小型化する。
【解決手段】角度制限フィルター１０は、同一材料を含む複数の遮光体１３によって積層され、当該遮光体１３の積層方向の光路を形成する光路壁部と、光路壁部に囲まれた領域に形成された光透過部と、を具備し、光路内を通過する光の入射角度を制限する。分光センサーは、上述の角度制限フィルター１０と、角度制限フィルター１０を通過できる光の波長を制限する波長制限フィルター２０と、角度制限フィルター１０及び波長制限フィルター２０を通過した光を検出する受光素子３０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】小型化可能な光学センサー及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０上に形成された、フォトダイオード用の不純物領域３１、３２と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の入射角度を制限するための角度制限フィルター４１、４２と、を含む。角度制限フィルター４１、４２は、フォトダイオード用の不純物領域３１、３２の上に半導体プロセスによって形成された遮光物質（光吸収物質または光反射物質）によって形成される。 （もっと読む）

【課題】温度や湿度の環境変化により対向配置されている光学基板に夫々設けられた容量センサ電極間で生じる静電容量が変化しても、高精度に波長制御できる可変分光素子並びにそれを備えた分光ユニット及び内視鏡装置の提供。
【解決手段】対向配置された光学基板１，２と、光学基板１，２の間隔を変化させるアクチュエータ３と、光学基板１，２の対向面に固定された容量センサ電極４ａ，４ｂからなり電極４ａ，４ｂ間で発生する静電容量から光学基板１，２の間隔を検出する面間センサ４と、対向位置に間隔を固定して配置された容量センサ電極５ａ，５ｂからなり電極５ａ，５ｂ間で発生する静電容量から温度、湿度の環境変化の変動量を検出し変動量に応じてセンサ４が検出した静電容量に対し所定値を補償する参照センサ５と、光学基板１，２とアクチュエータ３とセンサ４とセンサ５とを内部に備える筐体６を有する。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの製造時又実使用時にはオゾンまたは紫外線から一対の反射膜を保護して、光フィルター特性を劣化させることがない光フィルター及びその製造方法並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０は、対向する第１，第２基板２０，３０と、第１，第２基板に設けられた第１，第２反射膜４０，５０と、第１，第２基板に設けられた第１，第２接合膜１００，１１０と、第１，第２反射膜の表面に形成された第１，第２バリア膜１２０，１３０とを有する。第１バリア膜はオゾンまたは紫外線の透過率が第１反射膜よりも低く、第２バリア膜はオゾンまたは紫外線の透過率が第２反射膜よりも低い。 （もっと読む）

【課題】分光可能な波長域が広く、かつ、分光された光の透過率および分解能が大きい波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロンは、互いに対向する一対のミラー５６，５７と、これらのミラー間の間隔であるミラー間ギャップを可変する静電アクチュエーターと、を備える。そして、一対のミラー５６，５７は、それぞれ、複数の誘電体膜５５１と、これらの誘電体膜５５１の間に設けられ、互いに対向する誘電体膜５５１間の距離を所定の寸法に保持するとともに、互いに対向する誘電体膜５５１間に空気層５５３を形成するポスト部材５５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータを介した光学基板の変動に支障を来たすことなく、温度変化が生じても光学基板に対向配置されている容量センサ電極同士の光学基板の径方向のずれを抑えて高精度に波長制御できる可変分光素子の提供。
【解決手段】光学基板２と、面２ａに設けられた容量センサ電極３と、光学基板２を面２ａが内側を向くように支持する筐体１と、光学基板２に対向配置された第２の光学基板４と、面４ａに容量センサ電極３に対して対向配置された容量センサ電極５と、光学基板４以下の熱膨張率を持つ材料からなり、少なくとも面４ｂに環状に接合する接合面６ａ１を有する支持部材６ａと、支持部材６ａに比べてヤング率が小さい材料からなり、面６ａ２に間接的又は直接的に接合する支持部材６ｂと、面６ｂ２に接合し、光学基板２と光学基板４との間隔方向に伸縮するアクチュエータ７を有する。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの製造時にはオゾンまたは紫外線から反射膜を保護して、反射膜が劣化することを抑制することができる光フィルターの製造方法並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０の製造方法は、第１反射膜４０が形成された第１基板２０を準備し、第２反射膜５０が形成された第２基板３０を準備し、第１基板の第１接合領域に第１接合膜１００を形成し、第２基板の第２接合領域に第２接合膜１１０を形成し、第１マスク部材を用いて第１接合膜に、オゾンまたは紫外線を照射し、第２マスク部材を用いて第２接合膜にオゾンまたは紫外線を照射し、第１接合膜と第２接合膜とを接合して第１基板と第２基板とを貼り合わせることを含む。 （もっと読む）

【課題】 ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板に設けられた第１，第２電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２電極と対向する第３，第４電極７２，７４とを有する。 （もっと読む）

【課題】より高い精度で反射膜間のギャップ制御が可能な光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１反射膜４０と、第２反射膜５０と、第１電極６２と、第２電極６４と、第３電極７２と、第４電極７４と、電位差制御部と、を有する。第１電極６２と前記第３電極７２とは第１距離Ｇ１を隔てて対向し、第２電極６４と前記第４電極７４とは前記第１距離Ｇ１と異なる第２距離Ｇ２を隔てて対向している。電位差制御部は、第１電極６２と第３電極７２との間に電位差を生じさせることによって第１電極６２と第３電極７２とを当接させ、第２電極６４と第４電極７４との間に電位差を生じさせることによって第２電極６４と前記第４電極７４とを当接させる。 （もっと読む）

【課題】分光精度を維持することができる波長可変干渉フィルター、光センサー及び分析機器を提供すること
【解決手段】
本発明の波長可変干渉フィルター５では、第二基板５２は、第一反射膜５１に対向する位置で、基板厚み方向に沿って形成され、当該第二基板５２の第一面Ａから反対側の第二面Ｂまでを貫通する光透過口５２１Ａと、光透過口５２１Ａ内に設けられる透光性部材５８と、を備え、光透過口５２１Ａは、内周面の径寸法が、第一面Ａから第二面Ｂに向かうに従って増大するテーパー形状に形成され、透光性部材５８は、第一反射膜５６及び第二反射膜５７に平行する光入射面５８Ａ、第一反射膜５６及び第二反射膜５７に平行する光射出面５８Ｂ、及び第一面Ａから第二面Ｂに向かうに従って径寸法が増大するテーパー側面５８Ｃを有し、テーパー側面５８Ｃが光透過口５２１Ａの内周面に当接することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ長寿命の波長可変干渉フィルター、光センサーおよび分析機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５では、透光性を有する第一基板５１と、前記第一基板５１の一面側に対向して接合される第二基板５２と、前記第一基板５１の前記一面側に設けられる第一反射膜５６と、前記第二基板５２の前記第一基板５１に対向する第一面Ａに設けられ、ギャップＧを介して前記第一反射膜５６に対向する第二反射膜５７と、前記ギャップＧを可変する可変部５４と、を備えた波長可変干渉フィルター５であって、前記第二基板５２は、前記第一反射膜５６に対向する位置に設けられるとともに、前記第一面Ａから反対の第二面Ｂまでを貫通する光透過口５２１Ａと、前記第二基板５２の前記第一面Ａに設けられ、前記光透過口５２１Ａを閉塞する平板状の透光性部材５８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】迅速な分光測定が可能な光フィルター、特性測定方法、分析機器、および光機器を提供する。
【解決手段】 光フィルター３は、第一基板と、前記第一基板と対向する第二基板と、前記第一基板に設けられた第一反射膜と、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜と対向する第二反射膜と、前記第一基板に設けられた第一電極と、前記第二基板に設けられ、前記第一電極と対向する第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間の電位差を制御する電圧制御部８１と、を備え、前記電圧制御部８１は、前記電位差を、第一電位差から前記第一電位差より大きい第二電位差に切り替える。 （もっと読む）

【課題】蛍光灯、電球、ＬＥＤ素子などの測定対象光源からの光の特性を、例えば、光源の色度、照度、演色性、波長、パワーなどをより簡易で、迅速に測定することのできる測光装置を提供する。
【解決手段】各光センサＳ１〜Ｓｎの分光感度特性を元に、各光センサＳ１〜Ｓｎの信号に重み付け係数を掛けて加算する演算部１０２は、測光装置の分光感度特性を、第一の組の重み付け係数を掛けて等色関数に近似した出力特性として、測定対象光源の色度を測定し、また、測光装置の分光感度特性を、第二の組の重み付け係数を掛けて演色性測定の試験色の分光放射輝度率と等色関数の積に合致させて、測定対象光源及び基準光源の色度を測定し、測定対象光源の演色性を測定する。 （もっと読む）