【課題】分光装置における光学部材の位置調整を容易化する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列された分光部５と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対向して設けられた複数のバンドパスフィルタＢＰＦ_ｋを有する波長選択部２５と、光電面７、複数のバンドパスフィルタＢＰＦ_ｋの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍ及び複数のアノード１４を有する光電子増倍管２と、波長選択部２５を筐体内で保持する保持部５０とを備え、保持部５０は、バンドパスフィルタＢＰＦ_ｋが一方向に配列された本体部５１と、本体部５１から互いに対向するように突出する一対の壁部５２，５２と、を含み、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎは、バンドパスフィルタＢＰＦ_ｋの配列方向に沿って一対の壁部５２，５２の間に配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光の損失を抑制する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列されたダイクロイックミラーアレイ２１と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎと略平行に対面する反射部材２３と、を有する分光部５と、ダイクロイックミラーアレイ２１からの透過光を光電変換する光電面７と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍと、チャンネルＣ_ｍの各々に対応して設けられた複数のアノード１４とを有する光電子増倍管２と、を備え、分光部５は、ダイクロイックミラーアレイ２１と反射部材２３との間に透光性材料からなる透光ブロック２０を更に有し、透光ブロック２０の反射面２０ｃに反射部材２３が設けられ、反射面２０ｃと対向する分光面２０ｂにダイクロイックミラーアレイ２１が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化すること無く選択波長の可変範囲を容易に広げること。
【解決手段】この分光装置は、光源からの光Ｌ２を、光Ｌ２の入射角に応じた波長範囲で選択的に透過させる４枚のバンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄと、バンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄが主面１０ａ上に立設され、主面１０ａに沿って回転中心Ｃ_１の周りを回転可能にされた平板状の回転テーブル１０とを備える分光装置であって、４枚のバンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄは、それぞれ、光入射面１２或いは光出射面１３が、回転テーブル１０の主面１０ａ上の回転中心Ｃ_１と主面１０ａ上の該バンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄの中心点１５ａ〜１５ｄとを結ぶ線に対して傾斜するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】対向する光学膜の貼り付きを防止する。
【解決手段】第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有し、第１光学膜４０の最表面の誘電体膜４３は第１光学膜４０の周端部４３ａにおいて、第１光学膜４０に光が入射する光入射部４３ｂよりも厚みが厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】省電力化が可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４及び固定電極５６１が設けられた固定基板５１と、固定基板５１に対向し、可動反射膜５５及び可動電極５６２が設けられた可動基板５２と、を具備し、固定電極５６１及び可動電極５６２は、それぞれ透光性を有し、フィルター平面視において、固定反射膜５４及び可動反射膜５５が設けられた光干渉領域Ａｒ２を含む駆動領域Ａｒ１を覆って設けられ、固定反射膜５４は、固定電極５６１を介して固定基板５１に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられた。 （もっと読む）

【課題】所望の波長の光を精度よく取り出せる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２の固定基板５１に対向する面に設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４と対向する可動反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定電極５６１と、を備え、固定基板５１は、固定反射膜５４が設けられる反射膜固定面５１２Ａと、固定電極５６１が設けられ、可動基板５２からの距離が反射膜固定面５１２Ａとは異なる固定電極面５１１Ａと、を有し、反射膜固定面５１２Ａよりも可動基板５２からの距離が大きい固定電極面５１１Ａに、固定反射膜５４及び固定電極５６１が積層された積層部５７が設けられた。 （もっと読む）

【課題】側壁にすき間領域があっても高精度に入射角度を制限可能な光学センサー及電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０上に形成された、フォトダイオード用の不純物領域３０と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の入射角度を制限する角度制限フィルター４０と、を含む。角度制限フィルター４０は、少なくとも、第１の絶縁層に対応する第１のプラグと、第１の絶縁層よりも上層の第２の絶縁層に対応する第２のプラグにより形成される。第１のプラグと第２のプラグの間には、すき間間隔ｂがλ／２以下のすき間領域がある。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上させた赤外線測定器とその製造方法の提供。
【解決手段】基板１０とセンサ（強誘電体層１３）とを有するセンサ部２を備え、基板２０と赤外線透過薄膜積層体２２，２４とを有して両積層体２２，２４の間に電圧が印加された状態において両積層体２２，２４が光学的に一体化し、かつ、両積層体２２，２４の間に電圧が印加されない状態において両積層体２２，２４の間にギャップ２７が形成されるように構成されたシャッター機構部３を備え、基板１０，２０が対向するようにセンサ部２およびシャッター機構部３が一体化して、両積層体２２，２４が厚み方向で光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させてセンサ本体に対する赤外線ＩＲの入射を許容すると共に両積層体２２，２４の間にギャップ２７が形成された状態において赤外線ＩＲを反射してセンサ本体に対する赤外線ＩＲの入射を規制するように構成している。 （もっと読む）

【課題】分光センサー及び角度制限フィルターを小型化する。また、任意の傾斜角度を有する光路を含む角度制限フィルターを製造する。
【解決手段】角度制限フィルターは、第１の開口部を有する第１の遮光層と、第２の開口部を有し、第１の遮光層の上方に位置する第２の遮光層と、を含み、第２の遮光層の上方から見て第１の開口部と第２の開口部とが一部重なり、且つ、ずれた位置に有するように、第１及び第２の遮光層が配置されている。分光センサーは、角度制限フィルターと、波長制限フィルターと、受光素子とを具備する。 （もっと読む）

【課題】光分析装置に組み込んだ際にＳ／Ｎ比を高くできて高精度の測定を行うことができる波長可変干渉フィルター、光モジュールと、高精度の測定を行うことができる光分析装置を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルターであるエタロン５は、第１基板５１と、第２基板５２と、固定ミラー５４と、可動ミラー５５と、静電アクチュエーター５６を備える。各ミラー５４，５５は、一層のＴｉＯ_２膜５７と、一層の合金膜５８とが積層されて形成される。ＴｉＯ_２膜５７の膜厚寸法ＴおよびＡｇ合金膜５８の膜厚寸法Ｓは、参照波長５６０ｎｍの反射率が目標反射率９１％となり、かつ、設定波長４００ｎｍの反射率が、前記金属膜のみで反射膜を構成した場合より低くなる膜厚に設定される。 （もっと読む）

【課題】可動基板をエッチングする際の深さ寸法のばらつきを抑制し、保持部の厚み寸法の精度を向上できる干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の干渉フィルターの製造方法は、固定基板と、可動部５２１および保持部５２２を備えた可動基板５２と、固定反射膜と、可動反射膜５７と、を備える干渉フィルターの製造方法であって、固定基板を製造する固定基板製造工程と、可動基板５２を製造する可動基板製造工程と、固定基板と可動基板５２とを接合する基板接合工程と、を備え、前記可動基板製造工程は、第一母材５２４Ａおよび第二母材５２５Ａを、プラズマ重合膜５２６Ｃを介して接合させる母材接合工程と、プラズマ重合膜５２６Ｃをエッチングストッパーとして、第二母材５２５Ａをエッチングして、保持部５２２を形成する保持部形成工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】エタロン５(波長可変干渉フィルター)は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２の固定電極５４１側の面には可動絶縁膜５４４が積層され、可動電極５４２は圧縮応力を有し、可動絶縁膜５４４は引張応力を有して構成された。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１反射膜５６と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられ第１反射膜５６と対向する第２反射膜５７と、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１電極５３と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられた第２電極５４とを備え、第２基板５２は、第２反射膜５７を設けた可動部５２２と、可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する連結保持部５２３とを備え、連結保持部５２３は可動部５２２を囲んで連続して、かつ可動部５２２より厚み寸法が小さく形成され、第２電極５４は第２基板５２の連結保持部５２３より厚み寸法が大きい部分に設けられる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で電極間の導通を可能にする波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２とを備える。固定基板５１は、接合膜５３１，５３２を介して可動基板５２に接合される第１接合面５１５と、第１電極５６１の一部が形成される第１電極面５１６とを備える。可動基板５２は、接合膜５３１，５３２を介して第１接合面５１５に接合される第２接合面５２４と、第２電極５６２の一部が形成される第２電極面５２５とを備える。固定基板５１及び可動基板５２が接合膜５３１，５３２により接合された状態において、第１電極面５１６に形成された第１電極５６１と、第２電極面５２５に形成された第２電極５６２とが接触する （もっと読む）

【課題】本発明は、波長可変エタロンフィルタに光を２回通す光スペクトラムアナライザにおいて、ＰＤＬ性能を向上することを目的とする。
【解決手段】本願発明の光スペクトラム測定装置は、被測定光を予め定められた偏波方向にする偏波コントローラ（１５）と、偏波コントローラからの被測定光を通過し、予め定められた偏波方向と直交する方向の光を分離するＰＢＳ（１１）と、ＰＢＳを通過した被測定光から設定波長の光を抽出するとともに、抽出後の光の偏波方向が９０°回転された偏波回転光から設定波長の光を抽出する波長可変エタロンフィルタ（１２）と、波長可変エタロンフィルタによって抽出された被測定光の偏波方向を９０°回転させ、当該回転後の光を偏波回転光として波長可変エタロンフィルタに入射させる偏波回転部（１３）と、波長可変エタロンフィルタによって抽出されかつＰＢＳで分離された偏波回転光を受光する受光器（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５では、第１基板５１の第２基板５２との対向面に第１電極５３、第１電極５３から延出する第１電極引出部５３１Ｌ，５３２Ｌ、および少なくとも一部が第２電極引出部５４２Ｌと対向する第３電極引出部５４３Ｌを設け、第２基板５２の第１基板５１との対向面に第２電極５４および第２電極５４から延出する第２電極引出部５４２Ｌを設け、第２電極引出部５４２Ｌおよび第３電極引出部５４３Ｌが設けられた引出部形成溝５１５と、引出部形成溝５１５と外部とを連通する貫通孔５２４と、貫通孔５２４に接続される引出部形成溝５１５に配置され第２電極引出部５４２Ｌと第３電極引出部５４３Ｌとを導通させる導電性部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】電極間の絶縁を維持しつつ、低コストで、構造を簡素化できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板５１に設けられた固定ミラー５４と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５４と所定のギャップＧを介して対向する可動ミラー５５と、第１基板５１に設けられた第１電極５６１と、第２基板５２に設けられ、第１電極５６１に対向する第２電極５６２と、を備える。第１基板５１は、第２基板５２に接合される第１接合面５１３を有し、第２基板５２は、第１接合面５１３に接合される第２接合面５２４を有する。第１基板５１には、第１接合面５１３、及び第１電極５６１の第２電極５６２に対向する面に絶縁性を有する第１接合膜５３１が形成され、第１接合面５１３及び第２接合面５２４は、第１接合膜５３１により接合された。 （もっと読む）

【課題】光学基板に備わるアクチュエータの特性のバラツキにかかわることなく、高速且つ正確に光学特性を変化させることのできる可変分光素子を提供する。
【解決手段】第１〜第４センサが、一対の光学基板の対向面の重心を結んだ線を軸として対称となる位置に配置された可変分光素子であって、第１〜第４アクチュエータ４_１〜４_４の各々が、一対の光学基板の対向面の重心から第１〜第４センサの各々の中心方向へ伸びる線の線上に配置され、第１〜第４センサの信号から、一対の光学基板の対向面の重心同士の間隔を算出し、第１・第３センサの信号、第２・第４センサの信号から、夫々、移動させる光学基板の対向面と重心を結んだ線に垂直な面がなす第１の角度、第２の角度を算出し、第１・第２センサの信号から夫々の配置位置での一対の光学基板の対向面同士の面間隔との差分を算出し、間隔、角度、差分に基づいて第１〜第４アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】空間的に小さな体積で済み、一体型で、振動にも強く、大きな電圧を必要とせず、持ち運びができる小型の分光器を提供する。
【解決手段】リニアセンサ１は、赤外線に感度のある複数の画素を所定のピッチで直線状に並べた構成の赤外線センサである。ファブリペロ干渉計２は、２枚の鏡が離間対向するように互いの両端が固定されており、リニアセンサ１を構成する複数の画素の配列方向と平行な方向に対して共振波長が変化する特性を有する。光線平行化装置３は、近赤外光を吸収する所定の厚みのシートにリニアセンサ１を構成する複数の画素の画素ピッチと同じ直径の孔が多数開けられた構成である。光学フィルタ４は、余計な波長の光がファブリペロ干渉計２に入射しないようにする。分光器１０は、人間の指などの被測定対象物７に光源６からの光を透過させることで、様々な情報を非侵襲で得ることができる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で反射膜同士の貼り付きを防止できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、第１基板５１と、第１基板５１に対向する第２基板５２と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた固定ミラー５４と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５４とミラー間ギャップＧ１を介して対向する可動ミラー５５と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、を備え、第１電極５６１の一部と、固定ミラー５４の外周縁の少なくとも一部とが積層されて構成される第１積層ストッパー部６０を有する。 （もっと読む）