【課題】同一波長の直交する偏波が多重化された偏波多重信号光の各偏光を分離し、各信号光の特性を評価できるようにする。
【解決手段】光入射部２１に入射され可変波長光フィルタ２２を透過した光を前処理部２３で受けて、偏波状態の変更、位相変化から振幅変化への変換を行い、偏光ビームスプリッタ２６に入射し、偏光ビームスプリッタ２６で分離された一方の偏光成分の強度を第１受光部３０で検出し、他方の強度を第２受光部３１で検出する。また、分離された両偏光成分を差動バランス型の第３受光部３３に入射し、両偏光成分の差分信号の強度を検出し、その振幅を振幅検出部３４で検出する。評価処理部４０は、可変波長光フィルタ２２と前処理部２３を制御しつつ、第１受光部３０、第２受光部３１、振幅検出部３４の出力を受けて、光入射部２１に入射された偏波多重信号光の評価に必要な各特性を求める。 （もっと読む）

【課題】分光領域の変形を抑制して分解能を向上することができ、且つ、製品ごとの分解能のばらつきを低減することのできるファブリペロー干渉計の製造方法を提供する。
【解決手段】可動ミラー構造体を形成する工程として、第１高屈折率層を犠牲層上に形成する工程と、第１低屈折率層を、第１高屈折率層上における分光領域の可動ミラー形成位置及び周辺領域に形成する工程と、第２高屈折率層を、第１低屈折率層を含んで第１高屈折率層を覆うように形成する工程と、エッチングにより、周辺領域の第１低屈折率層上に位置する第２高屈折率層の少なくとも一部を、第１低屈折率層をエッチングストッパとして除去する工程と、エッチングにより、第２高屈折率層の除去された部分を介して、周辺領域の第１低屈折率層を除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】消費電力量の低減、および小型化を図りつつ、検出精度を十分に高める。
【解決手段】赤外線を透過可能な支持基板１１と、支持基板１１における一方の面側に形成されたフィルタ部１２と、支持基板１１における他方の面側に形成されたセンサ部１３とが一体的に構成されて、フィルタ部１２および支持基板１１を透過した測定光ＩＲをセンサ部１３によって検出可能に構成され、フィルタ部１２は、透過波長固定型の第１光学フィルタ２１と、第１波長から第２波長まで透過波長を変化可能な透過波長可変型の第２光学フィルタ２２とを備え、第１光学フィルタ２１は、測定光ＩＲの透過を規制する透過規制波長領域と、測定光ＩＲの透過を許容する透過許容波長領域とが第１波長から第２波長までの間に規定されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、第１基板５１に設けられた固定ミラー５６と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５６とギャップＧを介して対向する可動ミラー５７と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた第１電極５４１と、第２基板５２の第１基板５１に対向する第１面５２Ａに設けられ、第１電極５４１と離間して設けられた第２電極５４２と、第２基板の第２面５２Ｂでかつ、平面視において、少なくとも可動ミラー５７を覆う撓み防止膜５３と、撓み防止膜５３の面方向に作用する内部応力の方向と、可動ミラー５７及び第２電極５４２の面方向に作用する内部応力の方向とは同一方向である。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】エタロン５（波長可変干渉フィルター）は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２は、圧縮応力を有する圧縮電極層と、引張応力を有する引張電極層と、が積層されて構成された。 （もっと読む）

【課題】 光学膜としての金属膜の特性が、酸化や硫化等によって劣化するのを防止すること。
【解決手段】 光フィルターは、第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０および第２光学膜５０の少なくとも一方は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有する金属膜４０Ｍを有し、金属膜４０Ｍの表面およびエッジ部は、バリア膜９０としての誘電体膜によって覆われている。金属膜４０Ｍのエッジ部に、傾斜面を設けることもできる。また、金属膜４０Ｍと、その下に形成される他の光学膜としての誘電体膜４０Ｅとの間に階段状の段差を形成することもできる。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの特性設計を容易化すること。
【解決手段】 エタロンフィルター３００は、第１基板２０と、第１基板に対向する第２基板３０と、第１基板に設けられた第１光学膜４０と、第２基板に設けられ、第１光学膜と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ１と、第２光学膜５０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ２とが異なる。第１光学膜４０は、第１波長λ１を中心波長とする反射特性を有し、第２光学膜５０は、第１波長とは異なる第２波長λ２を中心波長とする反射光特性を有することができる。エタロンフィルター３００の分光帯域での中心波長をλ３としたとき、λ１＜λ３＜λ２となるように、各光学膜４０，５０を設計する。 （もっと読む）

【課題】 波長可変フィルターが、所望波長帯域の全帯域をスキャンするのに要する時間を短縮すること。
【解決手段】 光フィルター３００は、第１波長可変バンドパスフィルター（ＢＰＦ（１））と、第２波長可変バンドパスフィルター（ＢＰＦ（２））と、駆動部１２０と、各光フィルターの各々の分光帯域を可変に制御する制御部６００と、を含み、第１波長可変バンドパスフィルターは、第１波長帯域の光を分光し、かつ、分光帯域として、第１分光帯域と、第２分光帯域と、を少なくとも有し、第２波長可変バンドパスフィルターは、第１波長帯域に隣接する第２波長帯域の光を分光し、かつ、分光帯域として、第３分光帯域と、第４分光帯域とを少なくとも有し、駆動部１２０は、各第１波長可変バンドパスフィルターおよび第２波長可変バンドパスフィルターの各々を共に駆動し、第１分光帯域と、第３分光帯域とにおける、光が分光される期間の少なくとも一部が重複し、かつ、第２分光帯域と、第４分光帯域とにおける、光が分光される期間の少なくとも一部が重複する。 （もっと読む）

【課題】 分光器における受光部のスペックルを軽減し、スペクトルＥ９５の高精度な計測を行うこと。
【解決手段】 計測光（レーザ光）をレンズで集光し、光ファイバ１２を通して取り込む。光ファイバ１２の出射側には、ファイバ揺動／移動機構１３が設けられており、計測の間、常時、揺動もしくは移動させる。光ファイバ１２から出射される光は、シリンドリカルレンズから構成されるコリメータレンズ１４により集光され、エタロン１５に入射する。エタロン１５から出た光は、集光レンズ１６で集光され、ＣＣＤセンサなどのセンサ１７上にフリンジ像が結像する。センサ１７により取得したデータは積算処理され、波長スケール変換された後、デコンボリューション処理され、Ｅ９５が計測される。 （もっと読む）

【課題】高分解能で、かつ低コストで製造可能な干渉フィルターを提供する。
【解決手段】エタロン５は、表面研磨された第一反射膜形成面５１３を有する第一基板５１と、第一基板５１に対向配置され、第一反射膜形成面５１３に対向する第二反射膜形成面５２３を有する第二基板５２と、第一反射膜形成面５１３に設けられた第一反射膜５６と、第二反射膜形成面５２３に設けられ、第一反射膜５６に対向する第二反射膜５７と、第一基板５１および第二基板５２を接合するプラズマ重合膜５３と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 例えば、高価な光バンドパスフィルターを使用せずに、分光測定装置の測定精度を向上させること。
【解決手段】 分光測定装置は、分光帯域として、所定波長幅の第１波長域〜第ｎ波長域（ｎは２以上の整数）を有する光バンドパスフィルター部３００と、光バンドパスフィルター部からの光を受光する受光部４００と、受光部の出力信号に基づいて得られる受光信号を補正する補正演算を実行する補正演算部５００と、補正演算部５００によって補正された、補正後の受光信号に基づいて所定の信号処理を実行する信号処理部６００と、を含み、補正演算部５００は、受光信号の分光分布の変化に基づいて受光信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】運用中の光信号のＯＳＮＲを簡易かつ安価な構成によって精度良く測定することのできるＯＳＮＲ測定装置を提供する。
【解決手段】ＯＳＮＲ測定装置１は、可変の通過帯域を有する波長選択部１２により、入力ポート１１に与えられる被測定光Ｌから測定対象の信号光波長に対応した光成分を選択的に取り出して遅延干渉部１４に与え、該遅延干渉部から出力される遅延干渉光のパワーを光検出部１５で検出し、波長選択部の通過帯域の帯域幅および光検出部の検出結果を基に、ＯＳＮＲ演算部１６が測定対象の信号光波長におけるＯＳＮＲを算出する。 （もっと読む）

【課題】短時間に出力波長を切り替えることができる分光器を提供する。
【解決手段】分光器１Ａは、第１入射側光導波路１１、入射側光スイッチ１２、第２入射側光導波路１３_１〜１３_４、分光手段としての光フィルタ１４_１〜１４_４、第２出射側光導波路１５_１〜１５_４、出射側光スイッチ１６、第１出射側光導波路１７、光タップ２１、光検出器２２および切替回路２３を備える。切替回路２３の制御により、第１入射側光導波路１１の出射端から出射されて入射側光スイッチ１２に入射された光のうち選択された波長λ_ｎの光は、第２入射側光導波路１３_ｎ，光フィルタ１４_ｎ，第２出射側光導波路１５_ｎ，出射側光スイッチ１６および第１出射側光導波路１７を経て、第１出射側光導波路１７の出射端から出射される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、偏波多重信号光のＯＳＮＲ（インバンドＯＳＮＲ）を測定することのできるＯＳＮＲ評価装置及びＯＳＮＲ評価方法の提供を目的とする。
【解決手段】本願発明のＯＳＮＲ評価装置は、偏波コントローラ１１と、波長可変バンドパスフィルタ１２と、ＰＢＳ１３と、ＰＤ１４−１と、ＰＤ１４−２と、ＯＳＮＲ演算部１５と、偏波コントローラ１１及び波長可変バンドパスフィルタ１２を制御する制御処理部１６と、を備え、２つの信号光が偏波多重された偏波多重信号光の２つの信号光の強度を測定し、信号光の波長近傍の第１波長及び第２波長でのＰＤ１４−１及びＰＤ１４−２の受光レベルを用いてＡＳＥノイズパワーを算出し、２つの信号光の強度及びデータグループのＡＳＥノイズパワーを用いて、２つの信号光のＯＳＮＲを算出する。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】 例えば、高価な光バンドパスフィルターを使用せずに、分光測定装置の測定精度を向上させること。
【解決手段】 分光帯域として、第１波長域〜第ｎ波長域（ｎは２以上の整数）を有する光バンドパスフィルター部３００と、受光部４００と、補正演算部５００と、信号処理部６００と、を含み、第ｍ波長域（１≦ｍ≦ｎ）を関心波長域とし、第ｍ波長域以外の第ｋ波長域（ｋ≠ｍかつ１≦ｋ≦ｎ）を非関心波長域とした場合、光バンドパスフィルター部は、第ｍ波長域に対応する第ｍバンドパスフィルターならびに第ｋ波長域に対応する第ｋバンドパスフィルターとして機能し、補正演算部５００は、第ｍ波長域に対応した第ｍバンドパスフィルターの透過光または反射光を、受光部によって受光して得られる関心受光信号に含まれる、第ｋ波長域の、各々の波長域毎のノイズ成分の量を推定するノイズ推定部５０８と、関心受光信号から、推定された波長域毎のノイズ成分の総量を減算する補正を行って、補正された補正受光信号を求めるノイズ除去補正部５１０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】透過波長可変フィルタを用いて、高い波長分解能を有する分光測光装置を提供する。
【解決手段】入射した光を波長ごとに分光して透過させる光学部品であって、光が入射する面内の第１の方向に沿って透過波長が変化する第１の透過波長可変フィルタと、光が入射する面内の第２の方向に沿って透過波長が変化する第２の透過波長可変フィルタを有し、前記第１及び第２の透過波長可変フィルタを所定の間隔を隔てて、かつ、前記第１の方向と前記第２の方向が略平行となるように設置する。分光測光装置であって、前記光学部品と、前記光学部品を透過した光を受光する、複数のセンサが配列されたセンサアレイを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、容易な制御でＯＳＮＲを測定することのできる光スペクトラムアナライザ及び光スペクトラム解析方法の提供を目的とする。
【解決手段】本願発明の光スペクトラムアナライザ９１は、波長可変バンドパスフィルタ１２の透過波長を波長掃引信号発生部１８で掃引したときのＰＤ１４−１の受光レベルＰＤ１及びＰＤ１４−２の受光レベルＰＤ２を用いて被測定信号光のスペクトラムを求め、被測定信号光の信号光波長λ_Ｐ近傍の第１波長λ_１及び第２波長λ_２での受光レベルＰＤ１及び受光レベルＰＤ２からなるデータグループを複数求め、データグループごとのＡＳＥノイズパワーＰ_ＡＳＥを算出し、複数のデータグループのＡＳＥノイズパワーＰ_ＡＳＥを用いて信号光波長λ_ＰにおけるＡＳＥノイズパワーＰ_ＡＳＥ［λ_Ｐ］を算出し、被測定信号光のスペクトラム及びＡＳＥノイズパワーＰ_ＡＳＥを用いてＯＳＮＲを算出する。 （もっと読む）

【課題】一対の基板の対向する面に設けられた電極の配線を確実に基板の外部に引き出し、接続信頼性を向上させることが可能な光フィルター、光フィルターモジュール、および分析機器を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、平面正方形状の板状の光学部材であり、第１基板５１および第２基板５２を備えている。第１基板５１は、第２基板５２に対向しない第１突出部５１３を有しており、この第１突出部５１３に第１電極パッド５４１Ｂが形成されている。また、第２基板５２は、第１基板５１に対向しない第２突出部５２４を有しており、この第２突出部５２４に第２電極パッド５４２Ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】精度の高い分光測定が可能な光測定装置を提供するを提供する。
【解決手段】 分光測定装置１は、第一測定波長域内の第一波長の光を取り出す短波長域用エタロン２Ａと、第一測定波長域よりも波長が長い第二測定波長域内の第二波長の光を取り出す長波長域用エタロン２Ｂと、短波長域用エタロン２Ａに入射される測定対象光の光量を調整する短波長域用アパーチャー４Ａと、長波長域用エタロン２Ｂに入射される前記測定対象光の光量を調整する長波長域用アパーチャー４Ｂと、第一波長光を受光して検出信号を出力する短波長域用光検出器３Ａと、第二波長光を受光して検出信号を出力する長波長域用光検出器３Ｂと、を具備し、短波長域用アパーチャー４Ａを通過する光の光量は、長波長域用アパーチャー４Ｂを通過する光の光量よりも大きい。 （もっと読む）