【課題】空間的に小さな体積で済み、一体型で、振動にも強く、大きな電圧を必要とせず、持ち運びができる小型の分光器を提供する。
【解決手段】リニアセンサ１は、赤外線に感度のある複数の画素を所定のピッチで直線状に並べた構成の赤外線センサである。ファブリペロ干渉計２は、２枚の鏡が離間対向するように互いの両端が固定されており、リニアセンサ１を構成する複数の画素の配列方向と平行な方向に対して共振波長が変化する特性を有する。光線平行化装置３は、近赤外光を吸収する所定の厚みのシートにリニアセンサ１を構成する複数の画素の画素ピッチと同じ直径の孔が多数開けられた構成である。光学フィルタ４は、余計な波長の光がファブリペロ干渉計２に入射しないようにする。分光器１０は、人間の指などの被測定対象物７に光源６からの光を透過させることで、様々な情報を非侵襲で得ることができる。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光フィルターを提供する。
【解決手段】表面研磨された第１研磨平面を有する第１基板５１と、第１基板５１に対向し、第１研磨平面に対向する表面研磨された第２研磨平面を有する第２基板５２と、第１研磨平面に設けられた第１反射膜５６と、第１研磨平面に設けられ第１反射膜を覆うＳｉＮ膜５８と、第２研磨平面に設けられ、第１反射膜に対向する第２反射膜５７と、第１反射膜５６および第２反射膜５７の間に反射膜間ギャップを形成するＳｉＯ₂膜５３と、ＳｉＯ₂膜５３と第２基板５２との間に形成された金属膜６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】配線信頼性を向上でき、かつ基板の撓みをも抑制可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動部５２１および保持部５２２を有する可動基板５２と、固定反射膜５６と、可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた第一電極５４３Ａ、５４３Ｂ、５４４と、可動基板５２に設けられて各第一電極５４３Ａ、５４３Ｂ、５４４にそれぞれ対向した第二電極５４７、５４７，５４６と、第一電極５４３Ａ、５４３Ｂ、５４４および第二電極５４７、５４７，５４６を接続する導電性部材５５と、を具備し、導電性部材５５は、平面視において、可動部５２１の中心点Ｏを中心とする仮想円Ｑ３の円周上に沿って等角度間隔となるように、可動基板５２の外周縁と保持部５２２の外周縁との間の領域内に設けられた。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化すること無く選択波長の可変範囲を容易に広げることができる分光装置を提供する。
【解決手段】分光装置１によれば、遊星歯車機構１０に支持された各バンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄの回転移動とそれ自体の回転との協働により、各バンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄ間の干渉が広い回転移動範囲で低減されると共に、広い角度範囲で入射角が変化させられる。従って、遊星歯車機構１０を大型化すること無く選択波長の可変範囲を容易に広くすることができる。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーと固定ミラーがパチンと引き合うスナップダウン現象を防止し、且つ、低消費電力も実現できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５６と可動ミラー５７は所定のギャップＧをもって対向配置されており、固定ミラー５６と可動ミラー５７の外側には、ギャップＧよりも大きな電極間距離Ｇ１が設定され、Ｇ１が設定された部位から更に外側には、ギャップＧよりも小さな電極間距離Ｇ２が設定される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、平面視で同一形状に形成される複数の固定部分電極５４３を備え、これらの固定部分電極５４３は、等角度間隔で配置され、可動電極５４２は、平面視において固定部分電極５４３と同一形状に形成され、かつ固定部分電極５４３と重なる複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３および可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、２つの前記電圧印加用部分アクチュエーター間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、波長可変バンドパスフィルタを用いた光スペクトラム測定装置及び光スペクトラム測定方法において、分解能が可変でありかつ分解能を狭くすることが可能でありかつ最大入力レベルを大きくすることを可能にすることを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、本願発明の光スペクトラム測定装置１０１は、遅延ループ光導波路１２に波長可変バンドパスフィルタ１４を挿入し、被測定光を波長可変バンドパスフィルタ１４にｎ（ｎは自然数。）回通過させる。さらに、遅延ループ光導波路１２と入力用光導波路１１とを入力側光スイッチ１３で接続し、波長可変バンドパスフィルタ１４に入力される被測定光を時間的に制限する。 （もっと読む）

【課題】変化量Δｄｍが初期長さｄｍｉの１/３よりも大きくなるようにメンブレンを変位できるファブリペロー干渉計を提供する。
【解決手段】固定ミラーを有する固定ミラー構造体、第１ギャップを介した固定ミラー構造体との対向部分がメンブレンとされ、該メンブレンに第１電極及び固定ミラーに対向した可動ミラーを有する可動ミラー構造体、可動ミラー構造体に対して固定ミラー構造体と反対に配置され、第２ギャップを介したメンブレンとの対向部分に第２電極を有する電極構造体を備える。初期状態で電極間の長さｄｅｉがミラー間の長さｄｍｉよりも長くされている。そして、メンブレンと固定ミラー構造体のメンブレン対向部分が互いに対向する部分で同電位とされ、電極間に電圧を印加してメンブレンを電極構造体に近づく方向に変位させると、電極間の長さｄｅが初期長さｄｅｉより短くなり、ミラー間の長さｄｍが初期長さｄｍｉより長くなる。 （もっと読む）

【課題】１つのファブリペローフィルタにより、従来よりも広い波長域において所定波長の光を選択的に検出することのできる波長選択型赤外線検出装置を提供する。
【解決手段】対向配置されたミラーを有する可変ファブリペロー型の１つの第１フィルタと、所定帯域の光を選択的に透過させるバンドパス部を有し、該バンドパス部がミラーに対応して設けられた第２フィルタと、赤外線検出素子にてバンドパス部を透過した光を検出する赤外線検出器を備える。第１フィルタから、複数の次数の干渉光が透過される。バンドパス部は、任意の次数の干渉光がギャップ長さの変化に伴って取り得る変調帯域に応じた光透過特性を有し、第２フィルタは、異なる次数の干渉光それぞれに対応する複数種類のバンドパス部を有する。赤外線検出器は、第２フィルタを透過した干渉光を、バンドパス部の種類ごとに異なる赤外線検出素子にて検出するように、複数の赤外線検出素子を有する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で、中心波長を連続的に変えることができる分光装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも２個の可変バンドパスフィルタで構成された第１および第２のフィルタ群からなり、
これらフィルタ群は、光軸に対して互いに異なる方向に所望の回転角度で交わるように回転可能に取り付けられていることを特徴とする分光装置である。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターに温度センサーを設けた場合でも配線構成を簡単にできる光モジュール、および光測定装置を提供する。
【解決手段】光モジュールは、第一基板、第二基板、第一基板に設けられた第一反射膜、第二基板に設けられて第一反射膜とギャップを介して対向する第二反射膜、電圧印可によりギャップ寸法を変化させる静電アクチュエーター、静電アクチュエーターに接続された外側駆動電極線、および外側駆動電極線に接続された第一センサー配線５５１および第二センサー配線５５２を有する温度センサー５５を備えた波長可変干渉フィルターと、外側駆動電極線に接続されて静電アクチュエーターおよび温度センサー５５に電圧を印加する第一駆動回路７２、および第二センサー配線５５２に接続されて温度センサー５５からの温度検出信号が入力される温度検出回路７４を備えたフィルター駆動回路部と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光センサを得ることができる分光センサの製造方法を提供する。
【解決手段】 分光センサ１の製造方法では、ハンドル基板上にナノインプリント法によってキャビティ層２１を形成する。このように、ハンドル基板に対してナノインプリント法を実施することで、高精度のキャビティ層２１を安定して得ることができる。さらに、光透過基板３側にキャビティ層２１及びＤＢＲ層２２，２３を形成した後に、光検出基板４を接合する。これにより、キャビティ層２１やＤＢＲ層２２，２３を形成するための各プロセスにおいて光検出基板４にダメージが与えられるのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも分光帯域の広いファブリペロー干渉計を提供する。
【解決手段】メンブレンの周辺領域には、複数のばね変形部が、分光領域をそれぞれ取り囲みつつ多重に設けられ、メンブレンの外周端からメンブレンの中心に向かう方向においてメンブレンの中心に近いばね変形部ほどばね定数が小さく設定される。メンブレン及び固定ミラー構造体のメンブレン対向部位における周辺領域には、互いに対向するように電極が設けられて電極対が構成される。この電極対は、分光領域を取り囲みつつ複数のばね変形部に対応してばね変形部と同数の多重に設けられる。そして、各電極対に電圧を印加する期間を少なくとも一部重複させ、該重複期間において各電極対に生じる静電気力により、メンブレンが変位される。 （もっと読む）

【課題】読み取った分光情報と対象商品を、適切且つ容易に関連付けることのできる読取装置を提供する。
【解決手段】商品を特定する商品情報を読み取る商品情報読取部（コード読み取り部１１）と、商品情報読取部による商品情報の読み取りをトリガーとして、ハイパースペクトルカメラにより商品の分光情報を読み取る分光情報読取部（商品測定部１２）と、読み取った商品情報および分光情報を関連付けて外部装置に出力する情報出力部（ＰＯＳＩ／Ｆ部３６）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高精度な分光測定が可能な光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、テレセントリック光学系３１と、波長可変干渉フィルター５と、検出部３２と、を備え、波長可変干渉フィルター５は、第一基板５１と、可動部、および保持部を備えた第二基板５２と、第一基板５１に設けられた第一反射膜５６と、可動部に設けられた第二反射膜５７と、可動部を変位させる静電アクチュエーターと、を備え、第一反射膜５６および第二反射膜５７には、可動部の変位量が最大となった際に、測定中心波長を中心に予め設定された許容値以内となる波長の光を透過可能な測定有効領域Ｇが設定され、テレセントリック光学系３１は、入射光の主光線が平行、かつ第一反射膜に対して垂直となるように、入射光を前記波長可変干渉フィルターに導くとともに、測定有効領域Ｇ内に入射光を集光させる。 （もっと読む）

【課題】外的要因によるギャップの変動を抑制しつつ、所望のギャップに正確に設定できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること
【解決手段】第１基板５１に設けられた第１可動ミラー５６と、第１可動ミラー５６と所定のギャップＧを介して対向する第２可動ミラー５７と、ミラー間のギャップＧの寸法を変える静電アクチュエーター５４とを備える。第１基板５１は、第１可動ミラー５６が設けられた第１可動部５１２と、第１可動部５１２を基板厚み方向に移動可能に保持する第１連結保持部５１３とを備える。第２基板５２は、第２可動ミラー５７が設けられた第２可動部５２２と、第２可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する第２連結保持部５２３と備える。静電アクチュエーター５４は、各可動部５１２，５２２を相対的に移動させることで、ギャップＧの寸法を変更させる。 （もっと読む）

【課題】 十分に高い分解能を有し、測定対象物からの光の分光特性を高精度に測定することのできるフーリエ分光器。
【解決手段】 測定対象物からの光の分光特性を測定する分光器は、測定対象物から入射した光のうち、第１の直線偏光状態の光を射出する偏光子（１）と、偏光子を経た第１の直線偏光状態の光に位相差を可変的に付与する可変位相部材（４）と、可変位相部材に入射した光が複数回に亘って可変位相部材を透過または反射するように光を導く導光部材（２，３）と、可変位相部材を経て入射した光のうち、第１の直線偏光状態の光の偏光方向と直交する方向に偏光方向を有する第２の直線偏光状態の光を射出する検光子（５）と、検光子を経た第２の直線偏光状態の光を検出する光検出器（６）と、可変位相部材により付与される位相差と光検出器で検出される光強度とに基づいて、測定対象物からの光の分光特性を測定する測定部（７）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】異常スペクトルが得られた場合、原因を容易に推測できるフーリエ変換赤外分光光度計を提供する。
【解決手段】本発明のフーリエ変換赤外分光光度計は、密閉室１０内の光学部品と、干渉光を生成する干渉計と、干渉光を検出する検出器と、検出器の検出信号からスペクトルを得る変換処理部２７を有する。検出器は、密閉室１０の窓板１７と試料室２２を透過した後の干渉光を検出する標準検出器２６と、窓板１７を透過する前の干渉光を検出する補償検出器２０とを有し、変換処理部２７は、標準検出器２６と補償検出器２０の検出信号から標準スペクトル及び補償スペクトルを得るように構成され、干渉光を窓板１７を介して密閉室１０外に放射する光路と、干渉光を補償検出器２０に入射させる光路とを切り替え可能な光路切換鏡１８と、光路切替鏡１８を制御する制御部２８を備える。標準スペクトルと補償スペクトルにおける異常の有無を検討して原因を推測する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で、かつ所望のギャップを正確に設定でき、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板及び第２基板に互いに対向配置されて、ギャップが可変されて最小となる最小ギャップにおいて互いに接触する一対の検出電極と、反射膜間のギャップ及び電圧の関係を示すマップを複数有する相関データ７２１が記憶された記憶部７２と、検出電極の接触時での最小ギャップにおける静電アクチュエーターに印加している接触電圧を取得する接触検出部７１１と、相関データ７２１から１つのマップを選択するデータ選択部７１２とを備える。相関データ７２１は、最小ギャップに対する接触電圧が異なる複数のマップを備え、データ選択部７１２は、接触検出部７１１で取得した接触電圧に基づいて、マップを選択する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の波長ずれを誤りなく検出すること。
【解決手段】光伝送モジュール１０は、レーザダイオード２０と、レーザ光の波長に対して単調増加するレーザダイオード２０の温度を検出するレーザ温度算出部５２と、入射光の波長に対して透過率が周期的に変動するエタロンフィルタ３６に入射するレーザ光の透過率およびその透過率に対応するレーザ波長を検出する波長算出部４４と、レーザ温度算出部５２により検出された温度と、波長算出部４４により検出されたレーザ波長と、に基づいて、レーザダイオード２０から出力されるレーザ光の設定波長からの波長誤差（波長ずれ）を検出する波長誤差取得部５４と、を含む。 （もっと読む）