【課題】レーザ光の半波長よりも短い間隔（分解能）のサンプリングタイミングを簡易な構成で検出することが可能なフーリエ分光装置及びこれに用いる測定タイミング検出方法を提供すること。
【解決手段】ビームスプリッタ３と移動鏡４との間に多重反射ミラー７を設けて，上記移動鏡４と上記多重反射ミラー７との間で入射したレーザ光を多重反射させる。
これにより，多重反射回数がｎ回の場合は，上記移動鏡４の移動量がｎ倍の光路長変化に変換されるため，多重反射しない場合と較べて光路長変化（即ち干渉縞）が１／ｎ倍の間隔で生じることになる。したがって，得られるサンプリング間隔も１／ｎ倍となるため，分解能の高いサンプリングタイミングを検出することが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、特に選ばれた範囲内の赤外線によるガス検出での使用のための調整可能な干渉フィルタであって、光が間で振動しうる反射面によって区切られたキャビティを定義する選ばれた距離によって分離された少なくとも２つの本質的に平行な反射面を有し、前記表面の少なくとも１つがキャビティへの、またはキャビティからの光の伝播に対して半透明であるような、干渉フィルタに関する。そのフィルタは、透明で高い屈折率材料と調整可能部分によって構成されるキャビティを得るために、キャビティ内に位置し、選ばれた厚さを備え、高い屈折率を持った透明な材料と、反射面間のキャビティ長さを調整するための調整可能な分離手段と、を有する。
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本明細書は、少なくとも１つの吸収最大値（ＡＢＳ）又は最小値が知られている、所定のガス（たとえば、ＣＯ２）を測定することを目的とする、測定デバイス内のファブリペロー干渉計のミラー間の距離の電圧感度を決定する方法を開示する。この方法によれば、少なくとも２つの較正点は、較正点（ＡＢＳ）の少なくとも１つが、被測定ガスの１つの吸収最大値（ＡＢＳ）についての制御電圧信号対に関する情報を含み、他のものが、基準測定値（ＲＥＦ）についての対応する対に関する情報を含むように、制御された条件で基準ガス（Ｎ２）を使用してデバイス固有に定義され、信号−制御電圧感度が、所定のガス（たとえば、ＣＯ２）について決定される。本発明によれば、「仮想」信号−制御電圧感度曲線、たとえば、直線は、基準ガス（たとえば、Ｎ２）を使用して形成された較正点を使用して形成され、所定のガス（たとえば、ＣＯ２）の測定点と基準ガス曲線の対応する値の比が形成され、最小値又は最大値に対応する少なくとも１つの電圧値は、比から定義され、この場合、被測定ガス（ＣＯ２、Ｎ２）の吸収最小値又は最大値の波長に基づいて、ミラー間の距離の電圧感度を明確に定義することができ、一般的なＦＰＩ電圧値（Ｖａｂｓ、Ｖｒｅｆ）に対して必要な補正を行うことができる。
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【課題】ウエハ上の焦点ずれ検出を改善するための方法および装置。
【解決手段】ハイパースペクトル画像化を用いることで、局所的な焦点ずれ欠陥に対する感度を増大させ、フーリエ空間解析を用いることで、広域の焦点ずれ欠陥に対する感度を増大させる。これらを組み合わせることにより、局所的および広域の焦点ずれ欠陥に対する全体的な感度が改善される。 （もっと読む）

【課題】 分光器における受光部のスペックルを軽減し、スペクトルＥ９５の高精度な計測を行うこと。
【解決手段】 計測光（レーザ光）をレンズ１１で集光し、光ファイバ１２を通して取り込む。光ファイバ１２の出射側には、ファイバ揺動／移動機構１３が設けられており、計測の間、常時、揺動もしくは移動させる。 光ファイバ１２から出射される光は、コリメータレンズ１４により適当な角度に集光され、エタロン１５に入射する。エタロン１５から出た光は、集光レンズ１６で集光され、ＣＣＤセンサなどのセンサ１７上にフリンジ像が結像する。センサ１７により取得したデータは積算処理され、波長スケール変換された後、デコンボリューション処理され、Ｅ９５が計測される。 （もっと読む）

本発明は、チャンネル間損失偏差の低減を図り高精度の分波機能を実現したＶＩＰＡ型の光学装置を提供することを目的とする。このため本発明の光学装置は、入力光を平行光に変換するコリメートレンズと、該コリメートレンズからの平行光の位相を変化させて強度分布をガウス型とは異なる形状に変える位相マスクと、該位相マスクから出力される光を一次元方向に集光するライン焦点レンズと、該ライン焦点レンズで集光された光を多重反射して出射するＶＩＰＡ板と、を含んで構成される。
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【課題】高速、高解像度、かつ高精度で測色を行う。
【解決手段】照射装置１４からの光が素材要素１２に照射され、反射光が光集束装置１６を介し、スペクトル測光センサアセンブリ１８に供給される。スペクトル測光センサアセンブリ１８が素材要素１２からの反射光を分光分析する。また、この分光分析は、波長が可変になっている。 （もっと読む）

本発明は、電子検出器の分野に関する。本発明は、入力側と反対側のミラーとを有する導波路と、電磁波の局所的強度の関数として電気信号を伝える電磁線の検出手段とを備え、前記検出は入力側とミラーとの間で行なわれることを特徴とする干渉分光検出器に関する。
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【課題】本発明は、分光器に関し、より詳細には、エタロンベースの分光器に関する。
【解決手段】第１の複光路エタロンベース分光器が開示される。好ましい実施形態において、第１の複光路エタロンに適合する第２のエタロンが使用され、極めて正確なフリンジデータを生成する。拡散ビームのスペクトル成分は、エタロンを通って透過される時に角度的に分離される。再帰反射器は、透過された成分を該エタロンを通して反射して戻す。２度透過されたスペクトル成分は、第２のエタロンを通って進み、第２の好ましい実施形態ではフォトダイオード・アレーである光検出器上に集束する。該分光器は、非常にコンパクトであり、きわめて正確なフリンジデータを生成し、Δλ_FWHM及びΔλ_95%の両方に関してマイクロリソグラフィーに必要な精度を伴う帯域幅測定を可能にする。 （もっと読む）

【課題】傾くことなく正確に直線移動させることが可能な可動ミラーで、且つ許容誤差を満たしつつ簡単に取り付けることが可能なミラーを提供すること。
【解決手段】モノリシック変換器支持部材に取り付けられるモノリシックミラー支持部材を有するミラー変位アセンブリであって、これらの２つの部材は互いに離間した薄厚部を有し、これらの薄厚部は変換器支持部材に取り付けられる変換器によって変形可能であり、そして２つの支持部材はほぼ同じ形を有することが好ましい。このように、ミラー支持部材上に位置するミラーは不要に傾くことなく変位させることができ、同時にアセンブリ内の高応力領域はこれらの２つのモノリシック部材の間の接合から理想的に離間する。 （もっと読む）

【課題】ＣＥＯＳ機器を周囲環境、すなわち熱的環境及び振動環境の両方からほぼ完全に遮断すること。
【解決手段】高性能キャビティを使用する分光機器の筐体は、機器の光学キャビティを筐体壁から離れた位置に配置し、壁に取り付けられるヒートポンプ、ファン、及び熱交換器を設けることにより温度が極めて安定した環境を実現する。ファンによって、筐体内に含まれるガスが、熱交換器全体及び筐体の内壁面に沿った乱流ではない層流路に循環するようになり、これによって光学キャビティを温度及び振動の安定したゾーンに保持することができる。 （もっと読む）

【課題】 高速に変調された光の波長チャープを高い精度で簡便に測定し、広い帯域を持つ変調光の波長チャープを測定する。
【解決手段】 光パワーの平方根に比例する電場振幅の透過率を光周波数で微分して得られる微分係数が正で極大となる第一の透過波長域と、この第一の透過波長域と電場振幅の透過率が等しくこの電場振幅の透過率を光周波数で微分して得られる微分係数が前記第一の透過波長域とその絶対値がほぼ等しく符号が負となる第二の波長域とを有する可変光フィルタを用い、この可変光フィルタの透過波長域を可変し変調光の波長域に前記第一または第二の透過波長域を順次合致させ、それぞれ通過した変調光の時間波形を観測する。 （もっと読む）

【課題】エタロンの経時変化等による特性の変動が生じても波長検出に影響を及ぼさず、正確な波長制御が行えるレーザ装置を提供する。
【解決手段】このレーザ装置は、レーザ発振器と、第１の基準光源及びグレーティング型分光器を含み、第１の基準光源から出力される基準光の波長に基づいて、レーザ光の波長を検出する第１の波長検出手段と、第２の基準光源及びエタロン型分光器を含み、第２の基準光源から出力される基準光の波長に基づいて、レーザ光の波長を検出する第２の波長検出手段と、レーザ発振器を発振させて、第１の波長検出手段によって得られるレーザ光波長検出値と第２の波長検出手段によって得られるレーザ光波長検出値との差を算出して記憶し、その後にレーザ発振器を発振させたときに第２の波長検出手段によって得られるレーザ光波長検出値とレーザ光目標波長との差へ更に記憶した差を加算する制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】従来の分光計及び波長シフト量検出器で必要であった頻繁な校正を不要にしまたそれらをコンパクト且つ頑丈なものにする。
【解決手段】その透過特性がその膜上の横方向位置により異なる横変透過特性膜１００及び光の入射位置を感知できる位置感知型光検出器３００を用いチップサイズ波長検出器１０００を実現する。横変透過特性膜１００を透過し位置感知型光検出器３００に達する波長がその横変透過特性膜１００上の横方向位置により異なるため、横変透過特性膜１００上のどこを透過して位置感知型光検出器３００に達したか即ち位置感知型光検出器３００上のどの横方向位置ｘに光スポットが形成されたかを調べることにより、その光の波長を検出できる。 （もっと読む）

【課題】 試料気体中の微量物質の濃度を、装置コストを高くすることなく、且つ、ｐｐｍ以下の濃度を高精度で測定できる、光共振器吸収セルの透過光スペクトルの半値幅を使用した気体中微量物質の濃度測定方法を提供する。
【解決手段】 試料気体を導入した光共振器吸収セル１に、連続波レーザー光３を入力し、連続波レーザー光３の周波数を掃引すると共に、掃引する各々の周波数に光共振器吸収セル１が共振するように共振器長Ｌを調節して透過光４の強度を測定し、透過光強度４の最小値を与える周波数に共振する共振器長Ｌで、上記周波数を中心周波数として周波数掃引して試料気体の透過光スペクトル８を求め、透過光スペクトル８の半値幅と共振器干渉スペクトルの半値幅とから試料気体に含まれる被測定物質の濃度を求める。 （もっと読む）

干渉計（１０）を較正する方法は、電気信号（２２０）の印加に応じて光学ギャップ（１５）を制御するようになっているアクチュエータ（５０）を使用する。所定の略単色の波長を有し、第１の所定の入射角（６５）を有する光ビーム（６０）が干渉計に照射され、アクチュエータに印加される電気信号（２２０）を変化させる間に、干渉計から第２の所定の角度（７５）で反射する光（７０、８０）が検出され、それにより、印加される電気信号と干渉計の光路長との間に較正された関係が確立される。
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【課題】
【解決手段】ファブリ・ペロー（ＦＰ）可変（波長可変）フィルタ分光計の高分解能、小型、堅牢、および低消費電力といった利点と、ＦＴおよび／または格子／検出器アレイの多チャネル多重化の利点とを兼ね備えた能力を備える分光計。主要な概念は、可変ＦＰフィルタを多次フィルタ条件に設計し、作動させることにある。次いで、このフィルタの後には「低分解能」の固定格子があり、この格子がフィルタ処理されたｎ次の信号を、好ましくは整合Ｎ素子組込み検出器アレイに分散して並列検出する。このシステムのスペクトル分解能は、きわめて高分解能を有するように設計できるＦＰフィルタによって決定される。Ｎ次の並列検出方式によって全積分または走査時間が１／Ｎに短縮され、単一チャネルの可変フィルタ法と同一分解能で同一の信号対雑音比（ＳＮＲ）を達成できる。 （もっと読む）

【課題】レーザのスペクトル帯域幅を判断する技術を提供する。
【解決手段】レーザから放出されて帯域幅計測器に入力される光のスペクトルの帯域幅を測定するための帯域幅計測器の方法及び装置が開示され、それは、レーザから放出された光の帯域幅を示す第１のパラメータを表す第１の出力とレーザから放出された光の帯域幅を示す第２のパラメータを表す第２の出力とを提供する光学帯域幅モニタと、実帯域幅パラメータを計算する（１０）ために光学帯域幅モニタに固有の所定の較正変数を使用する多変数方程式の一部として第１の出力及び第２の出力を利用する実帯域幅計算装置とを含むことができる。実帯域幅パラメータは、レーザから放出された光のスペクトルの全幅内の最大値のある百分率比でのスペクトル全幅（ＦＷＸＭ）、又はレーザから放出された光のスペクトルの全スペクトルのエネルギのある百分率比を含むスペクトル上の２点間の幅（ＥＸ）を含むことができる。帯域幅モニタは、エタロンを含むことができ、第１の出力は、ＦＷＸＭでのエタロンの光出力のフリンジの幅、又はレーザから放出された光の全スペクトルのエネルギのある百分率比を含むスペクトル上の２点間の幅（ＥＸ’）の少なくとも一方を表し、第２の出力は、第２のＦＷＸ’’Ｍ又はＥＸ’’’の少なくとも一方を表し、ここで、Ｘ≠Ｘ’’及びＸ’≠Ｘ’’’である。予め計算される較正変数は、信頼できる基準を利用して、較正スペクトルに対する第１及び第２の出力の発生と相関付けられた実帯域幅パラメータの値の測定値から導出することができる。実帯域幅パラメータの値は、推定実ＢＷパラメータ＝Ｋ^*ｗ₁＋Ｌ^*ｗ₂＋Ｍという式から計算され、ただし、ｗ₁＝ＦＷＸＭ又はＥＸ’を表す第１の測定出力、及びｗ₂は、ＦＷＸ’’Ｍ又はＥＸ’’’を表す第２の測定出力である。この装置及び方法は、レーザリソグラフィ光源及び／又は集積回路リソグラフィツールにおいて実施することができる。 （もっと読む）

レーザから放射される光のスペクトルの未知の帯域幅を測定するようになった帯域幅測定器（すなわち分光計）を含むことができ、該測定器が、測定されているスペクトルの未知の帯域幅のパラメータを表す測定パラメータを出力として供給するようになった光帯域幅測定ユニットと、次式：
記録パラメータ（「ＲＰ」）＝Ａ＊（測定パラメータ（「ＭＰ」））＋Ｃ
（ここで、ＲＰ及びＭＰは異なるタイプのパラメータ、Ａ及びＣの値はＲＰが既知の値の光に対する前記光帯域幅測定ユニットのＭＰ応答の較正に基づいて決定される）
に従って測定されるスペクトルの未知の帯域幅の記録パラメータを計算するようになった記録パラメータ計算ユニットと、を備えることができるレーザシステムを制御するための装置及び方法が開示される。光帯域幅測定ユニットは、エタロン又は格子分光計などの干渉又は分散光学計器を含むことができる。ＲＰは、例えばＦＷＸＭにおけるものとすることができ、ＭＰは、例えばＦＷＸ’Ｍにおけるものとすることができ、Ｘ≠Ｘ’である。ＲＰは、例えばＥＸ％におけるものであってもよく、ＭＰは、例えばＦＷＸＭにおけるものであってもよい。 （もっと読む）