【課題】構成や製造工程を簡素化しつつ保護ゲル部が感湿膜に付着するのをより効果的に抑制することのできる湿度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】湿度センサ１０は、基板２０の一面２０ａにおいて対向配置された一対の検出電極３１ａ，３１ｂと感湿膜３６を有する湿度検出部３０と、一面２０ａにおいて湿度検出部３０と離れて形成され、ボンディングワイヤ１１５が接続された状態で保護ゲル５０に覆われるパッド４０と、一面２０ａにおいて湿度検出部３０とパッド４０の間に形成され、パッド４０側から湿度検出部３０側への保護ゲル５０の流動を抑制するダム部６０と、を備える。ダム部６０は、検出電極３１ａ，３１ｂと同一材料を用いて一面２０ａに形成されたダミー配線６１と、感湿膜３６と同一材料を用いて形成され、ダミー配線６１の少なくとも一部を覆うダム用感湿膜６２を有する。 （もっと読む）

【課題】高温を使用せず室温付近で検出でき、さらにフッ素系液体等からの妨害ガスの干渉も受けず、簡便にＣ₅Ｆ₈やＣ₄Ｆ₆等のフッ素化炭化水素を検出する方法及び検出センサーを提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）で表される、リン−窒素二重結合を有する化合物との反応を用いたフッ素化炭化水素の検出方法、及び検出部に、下記一般式（Ｉ）で表される、リン−窒素二重結合を有する化合物を用いたフッ素化炭化水素の検出センサー。
【化１】
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【課題】導電性高分子膜を用いた小型かつ安価なガスセンサであって、特に、湿度変化に対する安定性が高く、アンモニアやアルコール等のにおい成分の選択的な検出が可能で、車載用として好適なガスセンサを提供する。
【解決手段】基板１０上に設けられた一対の電極１２ａ，１２ｂおよび１３ａ，１３ｂの間に、導電性高分子膜２０が形成されてなり、導電性高分子膜２０にガス成分が付着した際の抵抗値変化を測定して、該ガス成分の濃度を検出するガスセンサであって、導電性高分子膜２０が、ガス成分の付着により抵抗値が変化するアニオン性高分子感ガス膜３２と、アニオン性高分子感ガス膜３２の電荷を打ち消すカチオン性高分子膜３１との、第１の交互積層膜４１を有してなるガスセンサ１００とする。 （もっと読む）

【課題】生体情報に含まれるマーカに対して、マーカ選択性と高い性能とを有する化学物質センシング素子を製造できる方法を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面を特定化学物質に特異的に吸着し得る材料で表面修飾してなる、特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子を製造する方法であって、特定化学物質との結合に関係する特定化学物質の電子軌道に吸着し得る可能性を有する候補材料について、それぞれの特定化学物質との吸着エネルギーを算出し、その結果に基づいて、上記候補材料の中から導電性基体の表面修飾材料に適すると予測される材料を選択する工程を含む、化学物質センシング素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】物質を優れた精度で、かつ、確実に検知することのできる、物質検知センサを提供する。
【解決手段】絶縁層２を、電極４および導電性層５が内側に向き、かつ、端子部６の膨出部１０が外側に向くように、略円筒状に丸めるとともに、絶縁層２の重複領域２０を厚み方向に重ねる。このガス検知センサ１では、絶縁層２に突出部を形成しないので、重複領域２０におけるシール性を高めることができるとともに、絶縁層２の内側の電極４と電気的に接続される端子部６を、絶縁層２の外側に露出させることができる。そして、絶縁層２の内部に特定のガスを流し、特定のガスの漏出を防止しながら、端子部６から、１対の電極４間における導電性層５の電気抵抗値の変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】多成分系のガスから特定化学物質を高選択的および高感度に検出でき、さらに装置の小型化および測定時間の短縮化を達成できる化学物質センシング素子を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面を化学式（１）または（２）で示される化学構造を含む化合物で表面修飾してなるセンシング部を備え、特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子に関する（Ｒ¹とＲ⁴とはＨ、ＣおよびＮのうちいずれかを含む化学構造であり、Ｒ²とＲ⁵とはＨおよびＮのうちいずれかを含む化学構造であり、Ｒ³とＲ⁶とはＨおよびＮａのうちいずれかを含む化学構造である）。
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【課題】高い検出特異性を有し、多成分系のガスから特定化学物質を検出することができる化学物質センシング素子、ならびにこれを備えたガス分析装置および呼気分析装置、ならびに化学センシング素子を用いたアセトン濃度検出方法を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面をマンガンフタロシアニンで表面修飾してなるセンシング部を備える特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子に関する。本発明の化学物質センシング素子において、特定化学物質がケトンであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】その目的は、雰囲気中の特定物質を高選択的かつ高感度に検出できるとともに、装置の小型化及び測定時間の短縮化を達成でき、更に、長期に渡って性能を維持できる化学物質センシング素子、化学物質センシング装置、及び、化学物質センシング素子に含まれる表面修飾カーボンナノ構造体の製造方法、並びに、化学物質センシング素子の製造方法を提供する。
【解決手段】
化学物質センシング素子は、雰囲気中の特定物質である一酸化窒素（ＮＯ）７６と選択的に反応する錯イオン７２とイオン結合するカチオン性官能基７３を有するカーボンナノ構造体７４を含み、カーボンナノ構造体７４は、錯イオン７２によりイオン結合を介して表面修飾されるようにする。 （もっと読む）

【課題】 検出感度及び応答速度に優れるとともに、簡便にセンサの再生処理を行なうことができ、更に装置の小型化を達成可能な呼気センシング装置を提供する。
【解決手段】
内部に呼気中の特定ガス成分を検出するためのガスセンサ４８，５０を備える筐体１８と、筐体１８内部に呼気を導入するための呼気導入部２８と、筐体１８内部から呼気を排出するための呼気排出部２４，２６と、筐体１８内部にガスセンサ４８，５０の機能を再生するための脱離ガスを流入させるための脱離ガス導入部３０２，３０４と、筐体１８内部から脱離ガスを排出するための脱離ガス排出部３０６，３０８と、脱離ガス導入部３０２，３０４から脱離ガス排出部３０６，３０８に向けて脱離ガスを送り込む送風機３１０，３１２と、ガスセンサ４８，５０及び送風機３１０，３１２の動作を制御する制御部３２とを含むようにする。 （もっと読む）

本発明は、半導体トランスデューサー、及び電子供与体又は電子受容体種を検出するためのセンサーにおけるその使用に関する。このトランスデューサーは、絶縁性基材の表面上に２つの電極及び半導体感応素子が設けられて成る。前記感応素子は、導電性がＣ_１である半導体分子材料Ｍ１の層及び導電性がＣ_２であり且つ禁止帯の幅Ｅ_ｇ２が１ｅＶ未満である半導体分子材料Ｍ２の層から成る。材料Ｍ１の層は、電極に接続される。材料Ｍ２の層は、材料Ｍ１の層上に積層され、電極に接続されない。前記の導電性は、Ｃ_２／Ｃ_１≧１となるものである。
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ガス検知半導体素子。ガス検知半導体素子１’は、ＣＭＯＳ回路のソース領域およびドレイン領域と同時に形成されるドープされた単結晶シリコンから成る抵抗性ヒータ６が埋込まれる二酸化シリコン薄層３’を有するシリコン基板２’上に作製される。素子１’は、絶縁層４’によってヒータ６’から分離されたガス感知層９’を備えた検知領域を含む。作製の最終工程の１つとして、基板２’は、検知領域に薄膜を形成するためにバックエッチングされる。ヒータ６’は、熱拡散プレート１６’を包囲する略円形の構造を有し、弓形部分が互いに入れ子になって入り組んだ形態で相互接続されている２つの湾曲した抵抗器２０’，２１’から成る。ＣＭＯＳ回路のソース領域およびドレイン領域と同時にヒータを作製することは、ＣＭＯＳ工程後のバックエッチングおよびガス感知層の蒸着の他、ＩＣ処理工程で既に採用されている作製工程以外の工程を要することなくガス検知半導体素子が製造されるという点で、特に有利である。この円形の形状は、電力損失および加熱面積を一定として膜の大きさを最小にするには最善の解決策であることから、利点である。
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【課題】 従来よりも高感度で水素ガス、酸ガス等を検出することが可能な、プロトン受容型ガスセンサーの駆動方法、ガス検出方法、及びプロトン受容型ガスセンサー装置を提供すること。
【解決手段】
プロトン受容型ガスセンサーを駆動する方法であって、プロトン受容型ガスセンサーは、窒素原子を含む複素環を導入した有機化合物を含有するガス感応部、及び当該ガス感応部に接する一対の電極を有し、電極間に、極性が交互に反転する電圧を印加することを特徴とするプロトン受容型ガスセンサーの駆動方法。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板上に製膜した、酸化モリブデン（ＭｏＯ_３）を主成分とする導電性の有機無機ハイブリッド薄膜、該薄膜を製造する方法、及びその導電性有機無機ハイブリッド薄膜を利用したセンサ部材等を提供する。
【解決手段】金属酸化物単結晶に比べて安価なシリコン基板上に、適切な金属酸化物のバッファー層を介在させて、有機無機ハイブリッド薄膜を形成したことを特徴とする、電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜、その製造方法、該方法により作製された電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜をセンサ素子として用いた、ＶＯＣガス等に対して高感度に応答する化学センサ部材。 （もっと読む）

【課題】基板に固定化していない化合物を完全に除去できる機能性単分子膜の製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】シロキサン結合を介して基板１表面に固定化する官能基と、機能を発現する官能基とを有する化合物を接触させることで、基板１にその化合物を固定化する工程と、基板１に固定化していない化合物を２００℃雰囲気４で１０分加熱し蒸発する工程を少なくとも含むものである。これにより、基板１に固定化していない化合物を完全に除去でき、その結果、機能性の官能基が表面に露出した撥水性単分子膜５を製造でき、機能性単分子膜の性能を向上できる。特に、シロキサン結合により、化合物をより強固に基板に結合でき、耐熱性、耐水性、耐電気特性などにすぐれている。 （もっと読む）

【課題】 植物からの蒸散量を測定する。
【解決手段】 本発明の半導体材料が付着した多孔質の薄膜上に対向電極を形成した水蒸気センサ１２０を用いた測定装置は、葉１１０の裏側（気孔がある側）に水蒸気センサ１２０を取りつけ、葉の気孔から蒸散される水分を検出する。 （もっと読む）