【課題】 本願は概して半導体ウエハ上に形成される構造の光学測定に関する。
【解決手段】 半導体ウエハ上に形成される構造の光学測定モデルが生成される。光学測定モデルは、1つ以上のプロセスパラメータ、及び分散を含む。分散と1つ以上のプロセスパラメータのうちの少なくとも1つとを関連づける分散関数が得られる。シミュレーションによる回折信号は、光学測定モデル、少なくとも1つのプロセスパラメータの値、及び分散の値を用いて生成される。分散の値は、少なくとも1つのプロセスパラメータの値及び分散関数を用いて生成される。構造の測定回折信号が得られる。測定回折信号はシミュレーションによる回折信号と比較される。構造に係る1つ以上のプロファイルパラメータ及び1つ以上のプロセスパラメータは、測定回折信号とシミュレーションによる回折信号との比較に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】短い検査時間で被検査物の外観の状態を検査することが可能な外観検査装置およびその画像処理方法を提供する。
【解決手段】ボトルＢの被検査面にあるラベルの状態を検査するラベル検査装置１において、ボトルＢを自転させる検査テーブル５１２と、この検査テーブルを公転させるインデックステーブル５１１と、ボトルＢの１周分以上を順次撮像してそれぞれを走査画像として出力するラインカメラ５２と、ラインカメラ５２により走査画像を１周分より多く結合した画像を元画像とし、この元画像から１周分を切り出した切出画像を被検査面画像とし、被検査面画像に含まれる検査対象画像が分断されているか否かを判定し、検査対象画像が分断されていると判定されると、被検査面画像を前記被検査面の基準位置に対応する位置から２分割し、２分割した被検査面画像のそれぞれの位置を入れ替えて結合して検査画像とする画像処理部を有する制御部５３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、試料の特徴を監視するためのさまざまな方法、キャリア・ミディア、ならびにシステムに関する。試料の特徴を監視するコンピュータ実施方法は、検査システムを用いて、試料を検査することにより生成される出力を用いて、試料上の個々の画素の特性を決定することを含む。また本方法は、個々の領域内の個々の画素の特性を用いて、試料上の個々の領域の特徴を決定することを含む。更に本方法は、個々の領域の特徴に基づき試料の特徴を監視することを含む。 （もっと読む）

ウェブ上で実施された複数の作業から収集されたデータを空間的に同期させるための変換制御システムについて説明される。変換制御システムは、１セットの基準マークをウェブに適用し、複数の作業をウェブ上で実施し、基準マークのセットを使用して、それぞれの第１及び第２座標系に従って、デジタル情報のセットのそれぞれが、ウェブ上の第１及び第２セットの領域に関する位置データを含むように、第１及び第２作業に関する第１及び第２セットのデジタル情報を、それぞれ生成する。変換制御システムは、第１セットの領域の位置データと第２セットの領域に関する位置データを位置合わせし、集約データを生成し、変換制御計画を出力してもよい。
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【課題】欠点分類の精度を向上させる最適化サイクルを有する欠点検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物に光を投射する投光手段と、該被検査物を介した透過光または反射光を受光する受光手段と、該受光手段が受光した透過光または反射光に基づいて前記被検査物の欠点を検査するデータ処理手段とを有する検査装置であって、前記データ処理手段は欠点箇所抽出手段と欠点分類手段と調整手段とから構成され、前記調整手段は、前記欠点分類手段の出力に基づいて、前記欠点箇所抽出手段における、欠点箇所を検出するための閾値および／またはフィルタを調整するものであることを特徴とする欠点検査装置。 （もっと読む）

【課題】分析処理に使用する容器に残存する汚れをさらに厳密に検出できる汚れ検出装置および分析装置を提供すること。
【解決手段】この発明にかかる分析装置１は、単に吸光度測定を行なうのではなく、液体検体中の成分と選択的に反応して光学的特性を変化させる汚れ検出用試薬を反応容器２１に投入して、反応容器２１に残存する汚れの光学的特性を十分に検出可能である程度まで引き上げてから、汚れ検出用測光部２０による反応容器２１における光学的特性を測定する汚れ検出用測定処理を行なう。そして、汚れ検出部３４は、この汚れ検出用測光部２０において測定された測定結果をもとに反応容器２１の汚れの程度を検出する。 （もっと読む）

【課題】
金属などの部材やそれらに金属皮膜を形成した表面で、光学的に全反射ないしはそれに近い状態の表面は、全反射による鏡面反射光が強く、表面欠陥の検出に有用なランダム反射光を検出することは困難である。このため従来技術では、表面欠陥検査の自動化は困難であった。
【解決手段】
本発明は、評価対象物とカメラを固定し，点光源の位置を変えて、または複数位置に配置した点光源を順次点灯することにより、複数枚の表面画像を計測する工程、金属表面反射モデルを用いて強い鏡面反射を削除し微小なランダム反射を抽出する工程、複素数離散ウェーブレット変換を用いてノイズ除去や欠陥鮮鋭化などを行う工程、パターンマッチングにより欠陥を検出する工程などの組み合わせにより、評価対象物の表面欠陥、特に金属皮膜が形成された鏡面状態の部材や部品の表面欠陥の自動検査装置とその検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】周期性のある有害疵を従来よりも高精度に検出することができるようにする。
【解決手段】ワークロール７ａの外周長を基にした長さで切り出された複数の画像データを加算して得られた加算平均画像データ４３ａ〜４３ｃの中から、ワークロール７ａの実際の外周長に合った加算平均画像データ４３を選択することを、複数のコイルについて行い記憶しておく。そして、疵検査対象の加算平均画像データ４３が求められると、過去に求めておいた複数のコイルにおける加算平均画像データ４３（Ｉ₁〜Ｉ_n-1）の平均画像データＩ₀と、それら加算平均画像データ４３（Ｉ₁〜Ｉ_n-1）の固有画像Ｊ_iとを用いて、疵検査対象である加算平均画像データ４３（Ｉ_n）を線形結合して、周期性のある外乱ノイズを抽出し、抽出した外乱のノイズを低減する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の輝度に依存することなく当該検査対象の欠陥を強調することができる欠陥検出方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る欠陥検出方法は、検査対象８を撮像した撮像画像を２次元フーリエ変換して第１のフーリエスペクトルを算出するフーリエ変換ステップと、第１のフーリエスペクトルの直流成分以外の成分に重み付け処理を行って第２のフーリエスペクトルを算出するスペクトル算出ステップと、第２のフーリエスペクトルを２次元逆フーリエ変換し、検査対象８の欠陥を強調した強調画像を作成する逆フーリエ変換ステップと、強調画像を画像処理することにより特徴量を算出する特徴量算出ステップと、算出された特徴量と、予め設定された特徴量の閾値とを比較し、検査対象８が良品か否かを判断する判断ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】高速な試料検査を提供すること。
【解決手段】被検査試料からの透過光、又は反射光を検出して測定パターンデータを取得する測定パターンデータ取得装置と、被検査試料の設計データから複数層の展開パターンデータを生成する展開パターンデータ生成装置と、透過光又は反射光の画素の領域が小さい方に相当する展開パターンデータを上層とし、複数の層の展開パターンデータの中の１つの層の画素を抽出して、測定パターンデータに対応した合成パターンデータを生成する合成パターンデータ生成装置と、合成パターンデータの画素が抽出された展開パターンデータの層を示す層識別データを生成する層識別データ生成装置と、合成パターンデータと層識別データから測定パターンデータに類似する基準パターンデータを生成する基準パターンデータ生成装置と、測定パターンデータと基準パターンデータとを比較する比較装置とを備え被検査試料を検査する試料検査装置。 （もっと読む）

【課題】 外観検査の精度を向上させることのできる技術を提供する。
【解決手段】 予め、基準となる製品を撮影して取得した画像データを分割し、所定の形式で変換したファイルのサイズを取得しておく。検査対象の製品を撮影した画像を分割し、おなじ形式で変換する。基準製品のファイルサイズと、検査対象製品のファイルサイズとを比較し、差分が所定値以上であれば、不合格の可能性有りと判定する。 （もっと読む）

【課題】画像データの処理を用いた異物検査に際して、異物の有無の判定の正確性を向上させることを目的とする。
【解決手段】検査対象物１０を撮影して得られる画像の情報に基づき、縦方向の複数列および横方向の複数列に沿ってそれぞれ並べられた複数の画素を有する画像データを作成し、作成した画像データの各画素の輝度値について、縦方向または横方向の少なくとも一方の列毎に平均値または積算値を算出し、隣接する２列の平均値または積算値の差を、列毎の平均値または積算値の微分値として算出し、各微分値が所定の閾値の範囲内にあるか否かを判断し、閾値の範囲外にある微分値の個数に基づき、異物の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】加工痕を含む加工面中の鋳巣や傷等の欠陥部を正確に判定できる加工面欠陥判定方法を提供する。
【解決手段】加工面の濃淡画像からその加工面の欠陥を判定する加工面欠陥判定方法において、上記濃淡画像を原画像として、この原画像に、所定の閾値で２値化処理をして２値化画像Ｂを得ると共に、所定値以上の輝度値の傾きを抽出する輝度傾き抽出処理をして輝度傾き抽出画像Ａを得る。そして、両画像Ａ，Ｂを重ね合わせて欠陥検出用画像Ｃを得、この画像Ｃにおける画像Ａ中の欠陥部画像Ａ１と画像Ｂ中の注目部位画像Ｂ１との、形態に係る相互関係が予め決められた８種類のパターンＩ〜VIII中の何れに該当するかを判定
する。そして、その結果に応じて上記加工面の欠陥部を検出し、その欠陥部のサイズ等を正確に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】容易な操作で的確にデータ処理に係るパラメータを調整することが可能なデータ処理装置、画像処理装置、パラメータの調整方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 画像処理に係るパラメータ値の調整を行うにあたり、目標データ作成部１４０がオペレータから結果データＤ２に対する修正指示を受け付けて目標データＤ３を作成する。続いてパラメータ調整処理部１７０が、目標データＤ３と所定の許容範囲で一致するような結果データＤ２が得られるパラメータ値を検出して、調整値に決定する。 （もっと読む）

【課題】検査コスト及び不良品の処理コストの和であるトータルコストが最小になる理論検査間隔と現状の検査間隔との差分を認識しやすい形式で表示する検査間隔表示装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査間隔表示装置は、前記複数の検査工程それぞれ毎に、実際の検査間隔を保持するデータ保持部５と、半導体装置の製造における複数の検査工程それぞれ毎に、検査コスト及び不良品の処理コストの和であるトータルコストを最小値にするための理論検査間隔を算出する演算部４と、データ保持部３から実際の検査間隔を読み出し、実際の検査間隔と理論検査間隔の差分である第１の差分を前記複数の検査工程それぞれ毎に算出し、前記複数の検査工程それぞれ毎に算出された複数の前記第１の差分を同時に表示するグラフを生成するグラフ生成部６と、前記グラフ生成部が生成したグラフを表示する表示部７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】検査員による官能検査の結果に近い結果を得ることができるムラ検査方法、このムラ検査方法を利用した表示パネルの製造方法、及びムラ検査装置を提供する。
【解決手段】パネル材におけるムラの有無を検査するムラ検査方法において、検査対象となるパネル材を複数水準の条件で撮像し（ステップＳ１）、この撮像結果から複数枚の一次画像を取得し（ステップＳ２）、これらの一次画像に画像の変化を強調するような処理を施して複数枚の二次画像を作成し（ステップＳ３）、これらの二次画像を所定の重み付けで合成して合成画像を作成し（ステップＳ４）、この合成画像に基づいてムラの有無を判定する（ステップＳ５）。そして、所定の重み付けを、ムラが発生している教示用のパネル材について二次画像を作成し、これらの二次画像を合成して合成画像を作成したときに、ムラが発生している領域とそれ以外の領域とを区別できるように決定する。 （もっと読む）

【目的】参照画像と光学画像との高精度な位置合わせを行う方法および装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の試料検査装置１００は、光学画像と参照画像との仮の合わせ位置からの位置ずれ量を演算する最小二乗法による正規行列の複数の要素を演算する正規行列要素演算部３７０と、複数の要素の一部を用いて、パターンの種別を判定する次元判定部３８０と、パターンの種別に応じて正規行列から所定の要素を削除した正規行列を用いて、最小二乗法による位置ずれ量を演算する位置ずれ量演算部３９０と、位置ずれ量分ずらした位置に合わせ位置を補正する位置補正部３５０と、その位置で比較する比較部１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 処理部において処理が施される前の基板につき、容易に良否判定を実行することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 光源１７１および受光部１７２は、アライメント部１３０内に、アライメントヘッド１３２と離隔して設けられる。光源１７１および受光部１７２は、支持部材１７３、１７４によって、基板Ｗの上方に固定される。これにより、アライメント処理が完了して加熱処理が施される前の基板Ｗについて、表面状況を判定し、良品判定を実行できる。 （もっと読む）

【課題】 検査対象箇所の表面色をいくつかの構成色に分離し、それぞれの構成色の統計量及び構成色間の色の類似度を算出して、最適な検査データの設定を行う。
【解決手段】 認識対象物の画像認識時に用いる情報を設定するプログラムにおいて、認識対象物の画像内における所定の領域ごとに、認識対象物の色を判別するステップと、判別された色に関する統計量を算出するステップと、算出された統計量に基づいて、認識対象物を構成する構成色として設定するステップを実行し、色を判別するステップでは、出現頻度の高い色の領域を抽出するステップを実行し、設定ステップでは、算出された統計量に基づいて、出現頻度の高い色を構成色として設定するステップを実行し、色判別ステップでは、出現頻度の高い色に類似する領域を抽出するステップを実行し、統計量を算出するステップでは、出現頻度の高い色と、類似色との統計量を算出するステップを実行する。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＤデータの形状とホールパターンの形状が大きく異なる場合でも、正確に位置情報を検出するパターンマッチング装置を提供する。
【解決手段】ホールパターンを撮影した画像データ１０５と、対応するＣＡＤデータ１０４と、を入力可能とする信号入力インターフェース１０１と、中心位置検出データ１１１を生成するＣＡＤホールパターン中心位置検出手段１０７と、画像データからパターンデータ１１２を抽出するパターン抽出手段１０８と、中心位置データ１１３を生成する画像ホールパターン中心位置検出手段１０９と、中心位置データ同士の照合処理により、ＣＡＤデータに対応する画像データの位置データ１１４を検出する照合処理手段１１０と、で構成されたデータ演算部１０２と、位置データを出力する信号出力インターフェース１０３と、で構成されている。 （もっと読む）