【課題】検査対象の画像における特定方向のパターンを除去することにより、欠陥の誤検出を防止する。
【解決手段】検査対象となるパターンを有する基板１１を撮像して元画像５１を得る撮像工程Ｓ１と、元画像５１を、基板１１のパターン方向の成分を用いて平均化して平均化画像５２を生成する指向性平均化処理工程Ｓ２と、元画像５１と平均化画像５２との各画素の差分を算出して差分画像５３を生成する差分処理工程Ｓ３と、差分画像を２値化した２値化画像５４を生成する２値化処理工程Ｓ４と、２値化画像５４から基板１１の欠陥を判定する欠陥判定工程Ｓ５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】対応する測定点と基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて測定点と基準点とを位置合わせしたのち、測定点と基準点との空間位置座標から適正に表面欠陥を判定する技術を提供する。
【解決手段】測定対象物の測定点と測定対象物の基準表面形状に対応する基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて前記測定点と前記基準点とを位置合わせした後の測定点データと基準点データとに基づいて測定対象物の表面欠陥を評価する。表面欠陥評価において、基準点と適正に対応せず互いに隣接する複数の測定点からなる誤対応測定点群の分布密度に基づいて当該誤対応測定点群によって規定される表面領域を表面欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】パターン検査において、簡素な方法により適切なパラメータを決定する装置、コンピュータプログラム、及び方法を提供する。
【解決手段】被検査体に関する情報であってパターン及び欠陥の形状、製造上の下地膜厚ばらつき、及び各膜の光学定数の情報並びにパターン検査装置に関する情報であって光学条件の情報を入力する入力手段と、前記入力手段に入力された情報を用いて前記被検査体の光学像を取得する光学像取得手段と、前記光学像を用いて前記被検査体の欠陥及び背景の信号強度を取得する手段と、前記欠陥の信号強度と前記背景の信号強度との差分を前記下地膜厚ばらつきごとに取得する手段と、前記下地膜厚ばらつきに対する前記差分を光学条件ごとに比較する手段と、を備えたことを特徴とするパラメータ決定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】判定結果の信頼性を向上させることができる物品検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物Ｗを搬送する搬送部２と、搬送部２により搬送される被検査物Ｗを同一検査条件で複数回検査して、検査毎に被検査物Ｗが良品または不良品のいずれであるかの仮判定を行う仮判定部５と、仮判定部５が検査毎に複数行った仮判定に基づいて、被検査物Ｗが良品または不良品のいずれであるかの本判定を行う本判定部６と、を備えた。また、本判定部６が、仮判定部５が行った複数の仮判定のうち良品の仮判定が不良品の仮判定よりも多かったとき、被検査物Ｗが良品であるとの本判定を行う。 （もっと読む）

【課題】煩雑な計算を行うことなく欠陥画像に付与されたカテゴリが当該欠陥画像が属すべきカテゴリか否かを判定する。
【解決手段】作業者により予め対象欠陥画像７２に一のカテゴリが付与され、３つのカテゴリ毎に属する欠陥画像の種類ｘ，ｙの特徴量の平均値および標準偏差に基づいて特徴量範囲Ｅ_ｘ１〜Ｅ_ｘ３，Ｅ_ｙ１〜Ｅ_ｙ３が設定されている。対象欠陥画像７２の一の種類ｘの特徴量Ｕ_ｘ２は特徴量範囲Ｅ_ｘ２にのみ含まれるため、平均位置７０２１を中心とするカテゴリに１票が投票される。同様の投票が特徴量の他の種類ｙについても行われ、平均位置７０２１を中心とするカテゴリに１票が投票される。そして、得票数の最も多いカテゴリが対象欠陥画像に与えられたカテゴリと異なる場合、その旨が作業者に通知される。投票を利用することにより、カテゴリの判定の煩雑な計算が不要とされる。 （もっと読む）

【課題】ユーザにとって必要な画像部分を残し、不要な画像部分を除去する画像処理方法を提供する。
【解決手段】画像処理方法では、先ず、原画像データを構成する画素より、所定のピッチにて、順番に、１画素づつ取り出す。これを基準画素とする。次に、基準画素毎に近接領域を設定し、近接領域における類似濃度の平均値を算出する。次に、基準画素毎に広領域を設定し、広領域における類似濃度の平均値を算出する。最後に、原画像の画像データより、広領域における類似濃度の平均値を減算し、両者の差分を求める。 （もっと読む）

【課題】過剰検出のない高感度検査を行うことの出来るカラーフィルタ検査装置を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ基板を支持し移動させるカラーフィルタ基板移動手段と、前記カラーフィルタ基板に対し照明光を照射する照明光照射手段と、前記カラーフィルタ基板からの反射光／透過光を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により得られた画像データに対して演算処理を行う画像処理手段とを有し、前記画像処理手段において、以下の［ａ］〜［ｃ］の処理を行うことを特徴とするカラーフィルタ検査装置。
［ａ］注目画素に対して比較画素Ａと比較画素Ｂの２つの比較画素を設定する。
［ｂ］注目画素をＢＭ画素もしくはＲＧＢ画素と判定する。
［ｃ］注目画素の良否を判定する。 （もっと読む）

【目的】ノイズの影響による誤検出を抑制し、フォトマスク上のゴミ等の異物を高感度で検出するフォトマスク検査方法を提供する。
【構成】異なる層構造を有する領域を表面に備えるフォトマスクの画像データを取得し、この領域の階調値データから画像データを引き算して反転画像データを作成し、反転画像データの画素値を一定量底上げした底上げ反転画像データを作成し、底上げ反転画像データと底上げしたガウシアン分布型カーネルとの正規化相関を取ることにより正規化相関画像データを作成し、正規化相関画像データと所定の閾値との比較により異物を検出することを特徴とするフォトマスク検査方法。 （もっと読む）

【課題】基板上の欠陥を分類する分類器の学習に使用される教師データの作成において、教師データに利用される欠陥画像のカテゴリの決定を高速かつ適切に行う。
【解決手段】カテゴリが未決定の対象欠陥画像７から一の種類の特徴量Ｕ_ｘおよび２つのカテゴリ８１，８２の典型的な欠陥を示す典型画像８１１，８１２，８２１から当該一の種類の特徴量Ｔ_ｘ１１、Ｔ_ｘ１２、Ｔ_ｘ２１が取得される。次に、特徴量Ｕ_ｘと特徴量Ｔ_ｘ１１、Ｔ_ｘ１２、Ｔ_ｘ２１との３つの特徴量差が求められ、特徴量差が最も小さい典型画像８１１が属するカテゴリ８１に１票が投票される。同様の処理が特徴量の残りの種類についても行われ、カテゴリ８１，８２のうち得票数が多いカテゴリ８１が対象欠陥画像７が属するカテゴリとして決定される。このように、特徴量の種類毎に特徴量差を求めて投票を行うことにより、対象欠陥画像のカテゴリの決定が高速かつ適切に行われる。 （もっと読む）

【課題】円筒体の表面検査を精度良く行う。
【解決手段】本発明は、円筒体Ｗにおける一端側に駆動ローラ１ａを接触させるとともに、他端側に従動ローラ１ｂを接触させた状態で、駆動手段により駆動ローラ１ａを回転させて、その回転力によって、円筒体Ｗおよび従動ローラを１ｂ従動回転させつつ、円筒体Ｗの表面状態を検査するようにした円筒体の表面検査装置を対象とする。本装置は、両ローラ１ａ，１ｂの回転状況の差異に基づいて、円筒体Ｗの回転異常の有無を判定する回転異常判定手段と、円筒体Ｗを回転させつつ、表面状態を検査する初期検査実行手段と、先行の検査による表面状態の検査中に、回転異常判定手段によって回転異常があったと判定された場合には、円筒体を回転させつつ、表面状態を再度検査する再検査実行手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】フィン（１３）とチューブ（１２）を具備する熱交換器のコア（１１）の外観検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】フィン（１３）とチューブ（１２）を具備する熱交換器（１０）のコア（１１）の外観検査装置であって、該外観検査装置が、撮像手段（３〜５、７）と画像処理装置（２）を具備しており、撮像データを平均化処理と動的２値化処理をしてチューブの画像のみを取り出す画像処理手段と、取り出された前記チューブの画像に対して、チューブの幅方向の中心座標からなるチューブ長手方向に亘る中心軸を求める演算手段と、求められた前記中心軸を、基準値と比較することでチューブ長手方向に亘る最大変位（ΔＴ）を求め、前記最大変位（ΔＴ）が、所定の閾値（ｃ１）以上の場合に、チューブ不良と判別する判別手段とからなる熱交換器のコアの外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクの平面部及び端面（エッジ部）の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】エッジを含んだディスク表面の所定形状の検査領域部分を視野内に含む撮像手段を用いて当該検査領域部分からの反射光を撮像することにより得た取り込み画像からハードディスクのエッジ位置を検出するエッジ検出処理手段と、当該検査対象ディスクの内径、外径及び記録面領域の範囲を規定する仕様情報を取得する情報取得手段と、検出したエッジ位置と仕様情報に基づき、取り込み画像を記録面領域、非記録内周領域、非記録外周領域、外周エッジ領域、内周エッジ領域の各領域に対応したウインドウに分離するウインドウ分離手段と、各領域ごとにデータ処理を行い、塵埃の位置及び大きさの情報を得る画像解析手段と、得られた結果をモニタ画面上に表示させる表示制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】端部検査装置の楕円鏡全体の集光効率を精度良く判定することが可能な端部検査装置の判定方法を提供する。
【解決手段】被検査基板の端部に検査光を照射する発光部と、被検査基板の端部を第１焦点位置に配置するとともに、被検査基板の端部で反射した反射光を第２焦点位置に集める楕円鏡と、第２焦点位置に配置され反射光の強度を検出する検出部とを備え、検出部における集光効率を判定する端部検査装置の判定方法であって、曇り判定用基板の端部に、曇り判定用基板の少なくとも検査光が一度に照射される範囲に曇り擬似要素が所定の規則で配置された第１の曇り擬似要素集合体を形成する曇り擬似要素形成工程（Ｓ１）と、第１の曇り擬似要素集合体に検査光を照射し、楕円鏡が集めた反射光の強度を検出する第１の検出工程（Ｓ４）と、第１の検出工程で検出された反射光の強度に基づいて、集光効率の良否を判定する判定工程（Ｓ３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の検出、過検出を防止して、正確に良否判定を行うことができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 正反射光のため及び乱反射光などのための複数の光学系から入力された撮像画像を画像処理装置によって処理し、各撮像画像より明暗検出で、抽出された欠陥候補及び欠陥候補特徴量を複合処理することによって、欠陥種の分類を行い、あらかじめ設定された欠陥種毎に異なる良否判定パラメータを適用して、適切な良否判定を行うことができるようにした欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル３をプローブユニット１１に対して確実に位置合わせする。
【解決手段】検査対象板を検査するために、カメラで前記検査対象板の表面のアライメントマークを撮影し当該アライメントマークと基準マークとを整合させて前記検査対象板の位置合わせを行う検査装置である。前記カメラで撮影した、印字状態の異なる複数の検査対象板のアライメントマークを基準マークとして記憶する記憶手段と、前記カメラで撮影した前記検査対象板のアライメントマークに近似した基準マークを前記記憶手段に記憶した複数の基準マークの中から選択してその基準マークと前記検査対象板のアライメントマークとを整合させて位置合わせ制御を行う制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】研磨傷などのように規則性のある模様の方向が分からない場合であってもその模様を消去して致命傷のみを抽出する。
【解決手段】画像取得手段３によって取得された画像の微小検査領域ＳＱ内で第一の検査方向Ｄ１に並ぶ画素の輝度情報を取得し、この第一の検査方向Ｄ１を変化させることによって当該第一の検査方向Ｄ１と直交する方向における輝度変化値が所定値よりも大きな方向を検出する。そして、この検出された方向と直交する方向における輝度に基づいて前記取得された輝度を平坦化させるようにしたので、研磨傷２１の方向と輝度情報を取得する第一の検査方向Ｄ１とが一致した場合に、その方向と直交する方向における輝度が最も大きく変化するため、研磨傷２１の方向を検出する。 （もっと読む）

【課題】高速かつ低コストで検査対象物の表面の不良や欠陥を検査することのできる画像検査装置および画像検査プログラムを提供する。
【解決手段】画像上で見て複数方向それぞれに隣接する複数の数値に基づいた２次元的な差分が所定程度に達しているときに、その画像中でのこの差分を求めた箇所をエッジ部分と判定し、エッジ部分と判定された箇所を含む領域については圧縮データを記録媒体に記録し、その箇所を含まない領域についてはその圧縮データを破棄する。 （もっと読む）

【課題】 積層膜構成中の欠陥検査において、フォーカス位置を正確に制御して、各膜上、又は膜中の欠陥を的確に捉える。
【解決手段】 欠陥検査装置（１）は、ウェーハ上の屈折率を測定する屈折率測定手段（１０）と、前記ウェーハの画像データを取得して欠陥を検出する欠陥検出光学系（２０）と、前記測定した屈折率を膜種ごとに分類し、設計された成膜情報から欠陥撮像光学系のフォーカス位置を決定する制御部（４５）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】過度の検査を防止して、検査効率を向上させる。
【解決手段】検査対象物の欠陥の有無を検査すると共に複数の検査対象物を連続して検査する欠陥検査装置である。前記検査対象物を連続的に搬送する搬送手段と、当該搬送手段で搬送された前記検査対象物を連続的に検査する検査部と、当該検査部で連続的に検査された検査対象物の画像を処理して欠陥を検出する画像処理部と、当該画像処理部で連続して検査された複数枚の検査対象物に亘って、同一又は近似の位置に同様の欠陥が複数検出された場合に、当該欠陥を検査対象物起因の欠陥でないと判断して除外する制御部とを備えた。欠陥検査方法も同様に、複数枚の検査対象物に亘って、同一又は近似の位置に同様の欠陥が複数検出された場合に、当該欠陥を検査対象物起因の欠陥でないと判断して除外した。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの外観検査装置によって検出された欠陥から、気泡を選別処理するガラス基板内の気泡選別処理法を提供する。
【解決手段】１）顕微鏡１４Ｃを用い、欠陥Ｄ４の上方よりガラス基板２０上面に焦点を合わせて欠陥の第１映像情報を取得し、２）ガラス基板内に焦点を合わせ、欠陥の第２映像情報を取得し、３）該欠陥の第２映像情報を構成する検査画素の明るさを２値化して２値検査画素２Ｋ−０とし、４）２値検査画素の位置情報から、最小二乗法を利用した楕円フィッティング処理を行い、適合率より高い際に該欠陥を気泡と判定し、５）該欠陥を欠陥から除外する選別処理を行う。 （もっと読む）