【課題】シート状物に発生した周期性の凹凸状欠陥を安価な装置構成で比較的単純な信号処理によってリアルタイムに判定し、信頼性の高い周期性欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行するシート状物の幅方向を照明する照明手段と、反射光を検出する撮像手段と、検出した欠陥を画像判定してシート状物の幅方向の位置情報を演算し、その幅方向の位置情報に基づいて複数の領域に分別する幅方向領域分別手段と、該幅方向領域分別手段から欠陥検出のタイミングで外部へ電気信号として出力する信号出力手段と、特定の周期性欠陥判定処理手段とを具備ことを特徴とするシート状物の周期性欠陥検査装置により、上記課題を解決しえる。 （もっと読む）

【課題】製造ライン上を搬送される基板の搬送速度の変化に対応してリアルタイムに位置ズレ誤差を補正できるようにする。
【解決手段】インライン基板検査方法は、上流ラインから下流ラインヘ基板を移動させながら、移動中の基板と直交する方向へ投光系及び受光系からなる光学系を移動させて検査光を照射すると共に基板からの反射光又は散乱光又は透過光を受光し、受光した基板からの反射光又は散乱光又は透過光に基づいて基板の欠陥を検出するものであり、この検査時に基板の移動速度を検出し、検出された移動速度に基づいて基板の欠陥検出位置を補正するようにした。 （もっと読む）

【課題】検出感度の向上には、画素の検査サイズを小さくしてＳ／Ｎ比を向上させることや、領域別に最適なアルゴリズムを用いて処理する方法が有効である。しかし、処理データ量が増加するため、処理時間増加によるスループットの低下、処理回路の並列化による回路規模増加およびコストが増加する、という課題がある。
【解決手段】検査領域の量から処理時間が最短、および回路規模が最小のうち少なくとも１つの条件を満たす処理基板とアルゴリズムとの組み合わせを得る。 （もっと読む）

【課題】検査品の画像のマハラノビス距離に基づいてその検査品の良否判定を行う技術において、良否判定をするための処理時間を短縮し、なおかつ画像の写り具合に関わらず精度良くその判定を行うこと。
【解決手段】マハラノビス距離を算出するためのマハラノビス基準空間の生成にあたり、先ず、良品か否かの区別が付きにくい良品グレー領域を含む良品サンプルの良品画像を取得する（Ｓ１）。次いで、その良品画像に対して、２値化処理→平滑処理→差分処理の画像処理を施して、良品画像に含まれる良品グレー領域を検出する（Ｓ２）。次いで、検出した良品グレー領域の周辺領域の輝度情報を基準として、その良品グレー領域の輝度情報の特徴量を算出する（Ｓ３）。次いで、その特徴量に基づいて、マハラノビス基準空間を生成する（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】パターン形状の測定精度を向上させた検査装置を提供する。
【解決手段】下地層の上に所定のパターンを有するウェハ５のパターンを検査する検査装置であって、対物レンズ７の瞳面もしくは該瞳面と共役な面における領域毎の光の強度情報を検出する撮像素子１８と、パターンの形状変化に対しては強度情報の変化が異なり、下地層の変化に対しては強度情報の変化が同程度である、瞳面もしくは該瞳面と共役な面内の第１領域と第２領域の位置情報をそれぞれ記憶する記憶部と、撮像素子１８で検出される、第１領域の強度情報と、第２領域の強度情報との差異に基づいてパターンの形状を求める演算処理部２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】より高い精度で異物や不良品の検出を行う。
【解決手段】異状検査システム１００（検出装置）は、検査対象物３を撮像する光源ユニット１０及び検出ユニット２０と、撮像により得られたスペクトル画像をサポートベクターマシンを用いて解析し検査対象物３中に混在する異物または不良品を検出する分析ユニット３０と、を備える。この異状検査システム１００では、サポートベクターマシンを用いてスペクトル画像を解析して、異物また不良品を検出するため、従来の主成分分析と比較して、例えば正常部分と異状部分とのスペクトルの差が微弱であっても検出が可能となるため、より高い精度で異状部分の検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面等の微小凹凸の密集度合を定量的に評価することができる表面評価装置を提供する。
【解決手段】シリンダボア２表面の凹凸データに基づいてシリンダボア２表面を評価する表面評価装置２０において、前記シリンダボア２表面の凹凸データをフーリエ変換して周波数スペクトルを求める手段と、前記周波数スペクトルから所定のしきい値に基づいて周波数成分を抽出する手段と、前記抽出された周波数成分を逆フーリエ変換して凹凸データに復元する手段と、前記復元された凹凸データから所定のしきい値に基づいて凹凸座標データを抽出する手段と、前記凹凸座標データより座標の数と座標値の分散を求める手段と、前記座標値の分散よりシリンダボア２表面品質を評価する手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】リアルタイム性を確保し且つ安定性の高いトラッキングを行う。
【解決手段】ホモグラフィー行列取得装置３０は、撮像装置１１が出力する画像データを取り込む。ホモグラフィー行列取得装置３０は、画像データごとに局所的ホモグラフィー行列を計算し、また、その計算レートよりも低いレートで、大域的ホモグラフィー行列を計算する。ホモグラフィー行列取得装置３０は、画像データごとに、局所的ホモグラフィー行列を用いて画像データを変換し、参照画像との相関を求める。相関が高い場合は、当該画像データに対応して計算した局所的ホモグラフィー行列が読み出されるように制御する一方、相関が低い場合は、最新の大域的ホモグラフィー行列が読み出されるように制御する。ロボット制御装置４５は、ホモグラフィー行列取得装置３０からホモグラフィー行列データを読み込んでロボット本体１２の姿勢を計算し動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】正事例および負事例の実物のワークを入手することなく、広範囲の色斑を有する負事例のワークを容易に再現して評価する視覚検査装置の評価システムを提供する。
【解決手段】色斑データ生成部２３は、既存の視覚検査装置１００で負事例と判断されたワークから色斑データを生成する。これにより、色斑データは、設計者などが作成しなくても、既存の視覚検査装置１００の判断結果から入手される。負事例画像合成部２５は、ワークデータに基づいて作成したワークの疑似３Ｄ画像に色斑データに基づく色斑テクスチャ画像を貼り付け、３Ｄ負事例画像を擬似的に合成する。視覚検査プログラムの実行によって実現される視覚検査装置は、この任意に生成した３Ｄ負事例画像を用いて評価される。これにより、視覚検査装置は、幅広い種類の色斑が付された負事例のワークについて評価される。 （もっと読む）

【課題】ロール疵発生時にロール疵の起因となっているロールを短時間に特定できると共に、高精度のロール疵判定ができる、ロール疵起因ロールの特定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】複数のスタンドで構成される仕上圧延機を有する熱間圧延ラインにおいて、仕上圧延ロールが起因で鋼板表面に周期的に発生するロール疵を検出し、検出したロール疵の起因であるロールを特定する、ロール疵起因ロールの特定方法であって、ロール疵発生条件ステップと、表面疵の検知ステップと、疵の発生ピッチ演算ステップと、出側疵周期と発生ピッチとを比較する比較ステップと、一致する出側疵周期があれば、その圧延ロールを検出したロール疵の起因ロールであると特定する起因ロールの特定ステップと、一致する出側疵周期がなければ、検出したロール疵は非ロール疵であると判定する非ロール疵判定ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の形状計測手法では検出が不可能だった、凹凸のほとんどない微小な欠陥や、異種ゴムが加硫成型された部分などのタイヤ表面の浅く小さな欠陥を、従来と比較して容易に検出することができるタイヤの外観検査方法および外観検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤの表面に対し、タイヤ円周方向に間隔を空けて少なくとも一対の撮像領域を、タイヤ円周方向から見た際に、互いに対となる撮像領域がタイヤ径方向において少なくとも一部分で重なるように設定し、各撮像領域に対しそれぞれ光を照射して、各撮像領域からの反射光をそれぞれ測定するにあたり、タイヤ円周方向から見て互いに対となる撮像領域間で平行であって、かつ各撮像領域を横断し撮像領域に垂直な任意の面を、互いに対となる撮像領域ごとに設定し、該互いに対となる撮像領域のそれぞれにおける光の照射方向を、任意の面に対し、タイヤ円周方向から見て互いに逆方向とする。 （もっと読む）

【課題】処理装置によって基板上に成膜する処理を含む製造プロセスによって製造される又は製造された製造品について、上記基板上に異常が生じたか否かを検査するマクロ検査方法であって、マクロレベルの異常を客観的に検出することができるものを提供すること。
【解決手段】或る処理装置による処理を受けた後の製造品を撮像して検査対象マクロ画像を取得する一方、その製造品がその処理装置による処理を受ける以前に、その処理装置による処理を受けた同種の製造品を撮像して得られたマクロ画像の中から、比較の基準となる比較基準マクロ画像を用意する（Ｓ１０１，Ｓ１０２）。検査対象マクロ画像と比較基準マクロ画像との間で、互いに類似している程度を定量的に表す類似度を算出する（Ｓ１０３）。類似度が予め決められた管理範囲から外れたかどうかを判断する（Ｓ１０４）。 （もっと読む）

【課題】撮影されたコンクリート表面に、実際のひび割れと類似した汚れや染み、撮影ムラ、型枠跡などが存在する場合でも、高い精度で実際のひび割れのみを検出することのできるひび割れ検出方法を提供すること。
【解決手段】ウェーブレット画像を作成するステップ、輪郭線追跡処理をおこなうことでノイズの一部が除去されてなる第１のひび割れ抽出画像を作成するステップ、第１のひび割れ抽出画像におけるひび割れに対してラベリングをおこない、ラベリングされたひび割れの特徴量を設定し、この特徴量と閾値を比較してノイズのさらに一部が除去されてなる第２のひび割れ抽出画像を作成するステップ、第２のひび割れ抽出画像における残りのノイズを除去して細線化画像を作成し、さらにひび割れ幅を設定するステップ、第１の関係式に細線化画像に対応するウェーブレット係数を代入してひび割れ幅を推定するステップ、からなる検出方法である。 （もっと読む）

【課題】個々の需要家に設置する自動検針装置で計測する需要家の負荷（電力消費量）情報と、配電設備を撮影した画像情報を利用して、柱上変圧器など配電設備の劣化状態を診断する配電設備劣化診断装置を提供する。
【解決手段】各需要家に設置する自動検針装置で電力負荷データを計測し、計測した複数の需要家の負荷データから、前記需要家と同じ配電系統につながる柱上変圧器の負荷を演算する。同時に前記柱上変圧器の負荷データから過負荷となるデータを逐次抽出し、前記過負荷の積算値が所定の閾値を超えた場合に、撮像装置で柱上変圧器の外観を自動撮影する。撮影した画像データと前記負荷データを同期させ、画像データを用いて外観の錆を検出し、負荷データを用いて内部の絶縁性能を推定し、錆の検出結果もしくは絶縁性能推定結果のうち少なくとも一方を用いて、柱上変圧器の劣化診断を実施する。 （もっと読む）

【課題】追加検査に要される費用及び時間を低減することができ、欠陥流出率が高く現われると予想される原反を自動選別することができる偏光フィルム原反の品質判定システム及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施例による偏光フィルム原反の品質判定システム及び方法は、自動光学検査機の検査結果データを用いて原反品質判定に重要な情報を獲得及びこれを後工程に伝達することにより、不良原反に対する早期警報システムとしての機能を行って、後工程での原反品質別のプロセスを構築できるようにすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】正常製品群に基づいて作成された基準空間に基づいて決定された検査閾値と、被検査製品の画像のマハラノビス距離とを比較することでその被検査製品の画像の検査を行う画像検査方法、画像検査装置において、基準空間の質を高めること。
【解決手段】当初の基準空間を使用した検査の結果（Ｓ３１〜Ｓ３５）、不良と判定された被検査製品の画像である不良判定画像が、誤判定であるか否かが評価されたとして、電子計算機は、その評価によって誤判定であると評価された不良判定画像である誤判定画像を記憶装置に記憶させる（Ｓ３７）。その記憶装置に記憶された誤判定画像の数量Ｎが、所定量Ｎ_０に達しか否かを判定する（Ｓ３８）。所定量Ｎ_０に達した場合は（Ｓ３８、Ｙｅｓ）、記憶装置から誤判定画像を読み出す（Ｓ３９）。読み出した誤判定画像を当初の基準画像の群に加えて、基準空間を再度作成する（Ｓ４０）。 （もっと読む）

【課題】タイヤ表面に付着した塗膜の影響を受けることなく精度良く不良個所を判定するタイヤの外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ表面を検査して欠陥を抽出するタイヤの外観検査方法であって、タイヤ中心軸回りに回転するタイヤ表面に対してスリット光を照射し、スリット光が照射されたタイヤ表面を撮像手段により撮像して撮像画像を取得する撮像ステップと、撮像画像からタイヤ表面の形状情報を取得する形状情報取得ステップと、形状情報からタイヤ表面の欠陥情報を抽出する形状欠陥情報抽出ステップと、撮像画像からタイヤ表面の色調情報を取得する外観情報取得ステップと、色調情報からタイヤ表面の塗膜情報を抽出する塗膜情報抽出ステップとを有し、欠陥情報と塗膜情報とを比較して塗膜情報に欠陥情報が一部叉は全部重複するときに塗膜情報に基づいて欠陥情報を修正する塗膜除去ステップとを含むようにした。 （もっと読む）

【課題】はんだ印刷工程における基板の抜き取りや再投入が基板の品質に及ぼす影響を容易に確認できるようにする。
【解決手段】はんだ印刷検査機において、毎時の検査対象基板の識別コードおよび検査時刻をメモリに蓄積し、この蓄積データを１つずつ遡りながら現在の検査対象基板と識別コードが一致するものを検索する。該当する基板が見つかったとき、その基板が不良により抜き取られ、抜き取られた基板を再投入したものが検査対象基板であると認識する。また、毎回の検査結果に基づき、各基板の品質を表す情報を時系列に並べたグラフを作成してモニタに表示すると共に、このグラフに含まれるデータのうち、再投入と認識された基板に対応するデータを『Ｒ』の記号により明示する。 （もっと読む）

【課題】自動車のボディやその部品などの光沢塗装が施されるなどして表面反射の強い計測対象物であっても、簡単な構造により低コストで高精度かつ高速に表面の疵、塗装の剥がれや凹みなどの表面欠陥を検査することが可能な表面検査装置、表面検査プログラムおよび表面検査方法の提供。
【解決手段】曲面状壁１ｂを有する計測空間１を構成し、計測空間１内の計測対象物Ａに対して照明装置２−１，２−２，２−３の光源光を均一に減光して照明し、照明された計測対象物Ａの全照明画像の撮影を行うとともに、パターン光投影装置３によりパターン光を計測対象物Ａに直接当たらないように曲面状壁１ｂに投影して反射させ、カメラ装置４によりこの反射パターン光が投影された計測対象物Ａの反射パターン画像の撮像を行う。 （もっと読む）

【課題】設定された精度の検査結果を得るのに要する時間の点で有利な検査装置を提供する。
【解決手段】異物または欠陥としての不具合に関して物体を検査する検査装置は、光を照射された物体からの光を検出し、当該光の強度が閾値を超えた前記物体上の位置を示す信号を出力する検出部と、前記物体上の位置に異物または欠陥としての不具合が存在することを示す情報を出力する制御部と、前記物体上の位置に前記不具合が存在する確率を示す情報を記憶する記憶部と、前記不具合の検査漏れの数に対する上限値を示す情報を入力する操作部と、を備える。前記制御部は、前記検出部に既定回数（少なくとも１回）前記検出を行わせ、推定された総数と前記記憶部に記憶された情報が示す前記確率とに基づいて、決定された全回数から前記既定回数を減じた残り回数の前記検出を前記検出部に行わせる。 （もっと読む）