【課題】被検査物の表面の欠陥を高い精度で検出する。
【解決手段】表面欠陥検査装置は、被検査物１の微分干渉光学像を形成する微分干渉光学系と前記微分干渉光学像を撮像して微分干渉画像を得る撮像部とを有する微分干渉画像取得部２と、前記微分干渉画像を処理して、被検査物１の表面における欠陥を検出する処理部３と、を備える。処理部３は、前記微分干渉光学系のシア方向と前記撮像部における画素の１つの並び方向との間のずれに応じて、前記撮像部により得られた前記微分干渉画像又はこれに対して所定の前処理を行った画像を回転させる画像回転処理を行う画像回転処理手段を、有する。 （もっと読む）

【課題】溶接ビードの外観形状を精度よく測定して、検査の信頼性を高め、ひいては溶接ビードの品質良否の検査精度を向上させる。
【解決手段】溶接ビード２２表面に向けて照射された照射光を受光して、溶接ビード２２の外観形状をカラー撮像するカラー撮像部３と、カラー撮像データを複数の色成分に分解して、各色成分の検査画像を生成する画像生成部４０ａと、検査画像のうち一の色成分で生成された検査画像から所定の画像領域を抽出してマスク領域を生成するマスク領域生成部４０ｂと、マスク領域に基づいて、他の色成分で生成された検査画像の対応する位置をマスクして非マスク領域内の解析画像を抽出し、該解析画像に対して所定の画像処理を行う画像処理部４０ｃと、画像処理が行われた解析画像に基づいて溶接ビードの品質を検査する検査部４１とを有する。 （もっと読む）

【課題】レビュー装置における最適観察条件の条件出しの作業において、試行レビューの回数を低減することができ、その作業効率の向上を図る手段の提供。
【解決手段】レシピパラメータ管理装置３は、レビュー装置１０で行われた欠陥レビューについて、その欠陥レビュー時に設定されたレシピパラメータの設定値と、そのレシピパラメータを設定するまでに行った試行レビューの回数と、その欠陥レビュー時に取得された欠陥画像と、をレシピパラメータ設定履歴としてレシピパラメータ設定履歴ＤＢ３２に蓄積しておき、一方で、レシピパラメータ設定履歴ＤＢ３２に蓄積されたレシピパラメータ設定履歴データに基づき生成したヒストグラムと、試行レビューの回数を端末装置４０に表示する。従って、オペレータは、過去のレシピパラメータ設定に係るデータを容易に取得することができる。 （もっと読む）

【課題】 教師データを定常的に収集しなくても、疵の検査を可及的に正確に行えるようにする。
【解決手段】 学習モデルＡ〜Ｃを更新すると、それら学習モデルＡ〜Ｃに含まれる部分特徴量空間のうち、更新前後において変化のなかった部分特徴量空間の数に基づいて、検査員が設定した"疵種に関する正解データ"を疵データに付与して学習モデルを生成する教師付き学習と、学習モデルに適用することにより得られた"疵種に関するデータ"を疵データに付与して学習モデルを生成する教師なし学習との何れを行うのかを自動的に判定する。 （もっと読む）

【課題】溶接欠陥の像をより確実に抽出することができる。
【解決手段】溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置であって、画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部とを備える欠陥抽出装置が提供される。また、上記抽出部は、マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下の領域を画像の当該領域の輝度とし、当該マスク画像上の対応領域の輝度が当該基準輝度を超える領域を当該基準輝度を超える予め定められた輝度として抽出画像を生成してもよい。 （もっと読む）

【課題】疵の判別性能を従来よりも向上させる。
【解決手段】第１群の特徴量ｆ１〜ｆ５０について、第１群の特徴量ｆ１〜ｆ５０の値の組と疵種「Ｃ１」、「Ｃ２」とを対応付けるための複数の部分特徴量空間を生成して学習モデルＡを形成する。次に、第２群の特徴量ｆ５１〜ｆ１００のデータの夫々について学習モデルＡを適用する。この結果、第２群の特徴量ｆ５１〜ｆ１００のデータのうち、学習モデルＡでは疵種「Ｃ１」、「Ｃ２」を特定できない疵データを棄却クラスのデータとする。そして、学習モデルＡでは疵種「Ｃ１」、「Ｃ２」を特定できない特徴量について、当該特徴量の値の組と疵種「Ｃ１」、「Ｃ２」とを対応付けるための複数の部分特徴量空間を生成して学習モデルＢを形成する。 （もっと読む）

【課題】 高価で特殊な装置や、難しい測定条件を必要としない、三次元画像処理方法、三次元画像処理装置および三次元画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】 本発明の三次元画像処理方法および三次元画像処理装置では、対象物体に光を投影してこの対象物体を撮影して得られた画像情報に基づいて前記対象物体の表面各部の法線方向を示すデータを取得し、このデータを用いて前記対象物体の表面属性を推定することとする。本発明では、対象物体上に複数個の特徴点を決め、これらの特徴点を含む、撮影角度の異なる複数の二次元画像情報から、特徴点の法線方向のデータを得る。これを用いて対象物体の色・光沢・輝度などの表面特性を高精度に表す、三次元画像を得る。 （もっと読む）

【課題】物品を検査する方法及び装置を提供する。
【解決手段】物品を検査する方法及び装置では、物品（５０）を２つ以上の方向から、イメージセンサ（１０）に貼り付けたベイヤーフィルタ（１２）のスペクトル応答に一致するスペクトル応答を有する光源（５２，５６）で照明する。画像データは色ごとに分離され、そして派生画像が生成され、次に処理されて欠陥群を検出する。 （もっと読む）

【課題】 実機による欠陥検査の作業工数を低減させ、欠陥検査装置のスループットを向上させる欠陥検出レベル調整方法および欠陥検査システムを提供することを課題とする。
【解決手段】 欠陥検査装置で、欠陥検出アルゴリズムに対して高感度パラメータを設定し、実検出データを取得した後は、前記欠陥検査装置に対してオフライン上で、所望の検出レベルを達成するまで、感度パラメータの再設定とシミュレーション検出データの取得及び／またはレビュー用データ生成を繰り返す欠陥検出レベル調整方法およびこの調整方法の実行可能な欠陥検査システムを提供する。
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【課題】精度よく欠陥検出を実施する欠陥検出装置、および欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出装置１は、検査対象物Ｘを撮像して撮像画像を取得する撮像部３と、撮像画像を複数の検査領域に分割する画像分割手段と、各検査領域の標準偏差を演算する標準偏差演算手段と、標準偏差に基づいて検査対象の検査領域を抽出する影部抽出手段と、検査領域に対して、影方向に沿った走査方向を設定する影方向判定手段と、走査方向に沿う各検査対象画素の輝度変化量を演算するとともに、この輝度変化量が所定の欠陥閾値以上となる検査対象画素を欠陥として検出する欠陥検出手段と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル、プラズマディスプレイ、半導体ウェハ等などの繰返しパターンが形成されている検査対象物の欠陥検査を精度良く、しかも、非検査領域が存在しない検査方法を提供すること。
【解決手段】注目画素と代表的な繰返しピッチ分だけ離れた比較画素群の輝度を比較演算する比較演算処理と、注目画素と代表的な繰返しピッチから微小画素数分だけ離れた場所における輝度を比較演算する比較演算を並列で行う、繰返しパターンを有する基板の検査方法。 （もっと読む）

【課題】基板検査に対する基板検査装置の稼働率向上のために、スループットを向上させることが可能な基板検査方法および基板検査システムを提供することを目的とする。
【解決手段】レシピサーバが、レシピの初期設定として被検査体の検査領域を設定する検査領域設定工程を実行し、レシピサーバが、撮像のための光学条件を設定する光学条件設定工程を実行し、基板検査装置が、レシピサーバによって設定された検査領域および光学条件を含む暫定レシピを用いて被検査体を撮像して画像データを取得する画像取得工程を実行し、レシピサーバが、基板検査装置によって取得した画像データを用いて暫定レシピをチューニングして調整レシピを作成するレシピチューニング工程を実行し、基板検査装置が、レシピサーバによってレシピチューニングした調整レシピに基づいて、被検査体を検査する検査工程を実行することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数のプロセッサエレメント（ＰＥ）からなる複数のマルチプロセッサユニットを有する画像処理装置において、プロセッサエレメント（ＰＥ）のハードウェアのメモリサイズ制約により、メモリサイズ制約を超える画像処理プログラムを格納することが不可能であることから、複数の画像処理プログラムでの欠陥判定処理機能を実現するのが困難である。
【解決手段】全体制御コンピュータでは、複数の画像処理プログラムを保持しておき、複数のマルチプロセッサユニット内の各プロセッサエレメント（ＰＥ）のメモリ空間に対して、画像処理プログラムのダウンロードを実行することで画像処理プログラムを入れ替え、各プロセッサエレメント（ＰＥ）では、全体制御コンピュータから初期値ファイルを読み取ることで、ダウンロードされた画像処理プログラムを用いた欠陥判定処理を行う。 （もっと読む）

【課題】検査アルゴリズムや画像取得条件などが追加、削除、変更された場合であっても、容易にその検査プログラムを追加、削除、変更することができる自動検査装置における検査プログラムファイルの格納構造を提供する。
【解決手段】複数の照明装置１５１やカメラ１５２を用いて画像を取得する画像取得装置１５と複数の検査アルゴリズムを用いて一の検査対象物を検査する場合、記憶部１７に、一の検査対象物を検査する際に使用される複数の検査アルゴリズム毎に個別に設定された複数のアルゴリズム記憶領域２ａと、これらの領域の内部に、当該検査アルゴリズムで使用されるカメラ毎に個別に設定された複数のカメラ毎記憶領域３ａと、当該カメラ毎記憶領域３ａ内に、当該カメラで得られた画像に基づいて検査するための複数の検査プログラムファイルを格納する検査プログラムファイル記憶領域４ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】他の判別結果に対する影響を抑えつつ、誤判定した判定対象に対し所望の判別結果が得られるよう判別規則を調整可能な判別装置、判別方法及びプログラムを提供すること。
【解決手段】判別対象が複数種類の集合のいずれに属するかを判別する判別装置１００を提供する。この判別装置１００は、判別結果が既知の学習用特徴情報とその学習用判別結果情報とに基づいて、学習用特徴情報を特徴情報による空間上の点を写像した際を写像先の空間上で点を線形分離する判別面と、判別面までの距離が最短の点との距離が最大になるように判別面を算出して判別関数とする判別関数算出部１１２と、判別関数による判別結果情報と既知の判別結果とが異なる誤判別特徴情報の判別関数への影響係数を調整する判別関数修正部１２０と、当該判別結果が未知の判別対象の特徴情報と修正された判別関数とに基づいてその判別対象を判別する判別部１３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】量産部品の完成検査は、従来、目視によることを基本とし、検査員の育成・配備や検査時間が多大であると同時に、判別に対する個人差や誤認或いは見落としが避けられないため、判別検査を自動的に処理する画像処理システムを提供する。
【解決手段】被検査部品の各面に対応してカメラを設置し、照明板、コントロ−ラ、パ−ソナルコンピュ−タ−及びこれらをコントロ−ルするコンソ−ル並びにコントロ−ルマウスによって画像処理システムを構成し、適合の見本とする部品の各撮像面について、カメラの角度、照明の色調及び照明の明るさをプログラミングしたモデル画像による計測値９をメモリ−する。同時に、これを基準にして曖昧さの領域について上限レベル及び下限レベルを設定する。以上にもとづいて、被検査部品の画像をモデル画像及びその計測値９と対比し、被検査部品の適合又は不適合を自動的に判別する。 （もっと読む）

【課題】改良された自由パラメータ選択方法でスペクトルをモデル化する方法を提供する。
【解決手段】分光器のモデルに使用される１セットのパラメータは、自由パラメータ及び固定パラメータを含む。第一スペクトルを生成するために、パラメータの第一セットの値が設定され、モデルが使用される。固定パラメータの１つの値が変更され、第二スペクトルが生成される。次に、パラメータの１セットの値を生成するために、分光器のモデルの逆数が第二スペクトルに適用され、この値は、１つ又は複数の自由パラメータを除いて、第一セットの値と同じである。自由パラメータが大幅に変化している場合、固定パラメータは自由パラメータに指定される。 （もっと読む）

【課題】装置の冗長性及び長期安定性を確保しつつ、基板表面Ｗａ上又は裏面Ｗｂ上の欠陥を区別することができる。
【解決手段】基板表面Ｗａに検査光Ｌ１を照射した場合の光検出信号から表面照射検出欠陥の位置、基板裏面Ｗｂに検査光を照射した場合の光検出信号から裏面照射検出欠陥の位置を算出し、その表面照射検出欠陥の位置及び裏面照射検出欠陥の位置の位置関係をパラメータとして、表面照射検出欠陥及び裏面照射検出欠陥が前記各測定系により共通して検出された同一欠陥であるか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】一部の領域に差異が発生する場合にも高精度の画像欠陥判定を可能とする画像欠陥検査装置および画像欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ある被検査物から光電変換された画像信号と参照画像を比較検査するパターンの欠陥検査方法において、前記参照画像を補正して第１の補正画像を得る第１の画像補正ステップＳ４１と、前記画像信号と前記第１の補正画像を用いて欠陥を検出し欠陥座標を求める第１の欠陥検出ステップＳ４２と、前記画像信号と前記第１の補正画像と前記欠陥座標から重み画像を得る重み画像算出ステップＳ４３と、前記画像信号と前記第１の補正画像と前記重み画像を用いて第１の補正画像を再補正して第２の補正画像を得る第２の画像補正ステップＳ４４と、前記画像信号と前記第２の補正画像を用いて欠陥を検出する第２の欠陥検出ステップＳ４５を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】タイヤやタイヤ構成部材の表面の欠陥を高精度に検査することを可能とする。
【解決手段】タイヤ又はタイヤ構成部材の表面の検査における前記表面の撮像画像から欠陥領域を抽出するためのタイヤ検査用特徴抽出プログラムを作成するタイヤ検査用の特徴抽出プログラム作成装置１０は、前記タイヤ検査用特徴抽出プログラムを構成する複数種類の画像処理用フィルタを記憶するフィルタ記憶部１４と、前記タイヤ又は前記タイヤ構成部材の表面に発生し得る欠陥が撮像された原画像を記憶した原画像記憶部１６と、前記撮像画像を前記特徴抽出プログラムにより処理した際の目標となる目標画像を記憶する目標画像記憶部１８と、前記原画像と前記目標画像とに基づいて、遺伝的プログラミングにより前記複数種類の画像処理用フィルタの中から適応度が最大となる画像処理用フィルタの組み合わせを決定する遺伝的プログラミング部１２と、を備えている。 （もっと読む）