ウェーハ検査システム及びウェーハを検査する方法である。本方法は、ダイを備える第１の範囲と当該ダイを囲む第１の囲み範囲とをカバーする複数のフレームを獲得するステップであって、当該フレームがオーバラップ範囲を与えるよう部分的にオーバラップする、上記獲得するステップと；オーバラップ範囲の分解されたイメージのシーケンスを、相互にミスアライメントされているフレームを整列するように処理して、ダイ基準イメージを発生するステップと；を含む。 （もっと読む）

【課題】 位相シフト部同士が遮光部を介して隣接する遮光パターンを有する補助パターン型位相シフトマスクのパターン欠陥検査において、描画用パターンデータを的確に補正してパターン検査用データとし、パターン欠陥検査装置により得られる画像データに対するパターン検査用データの相違が生じないようにし、これらパターン検査用データと画像データとの比較により精度よく欠陥を検出する。
【解決手段】 パターン欠陥検査装置を用いて検査光により遮光パターンの画像データを得る工程と、遮光パターンの描画用パターンデータを少なくとも遮光部を介して隣接する位相シフト部間の距離に応じて位相シフト部及び非位相シフト部を通過する検査光強度の相違による遮光パターン像の寸法変化に基づく補正を加えたパターン検査用データに変換する工程と、画像データとパターン検査用データとを比較して位相シフトマスクのパターン欠陥を検出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ単位でインラインで効率的に欠陥を分析するための装置および技術を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、単一のセットアッププロシージャにおいて検査および欠陥分析プロセスの全体をセットアップする簡単なインタフェース（１５８、５００）を提供する。ある実施形態において、試料（１００）上の欠陥を分析する装置が開示される。この装置は、潜在的な欠陥（１０２）を探して試料を検査する検査ステーション、およびそのような潜在的な欠陥（１０４）の分類を決定するために、前記潜在的な欠陥の試料を分析するレビューステーションを含む。
（もっと読む）

【課題】 シミ欠陥を高精度に検出できるシミ欠陥検出方法及び装置を提供する。
【課題手段】 シミ欠陥検出方法は、撮像した画像の各画素に対してシミ欠陥強調フィルタをかけてシミ欠陥を強調するシミ欠陥強調処理工程S5と、前記シミ欠陥強調処理工程で得られた各画素のシミ欠陥強調値に基づいてシミ欠陥を検出するシミ欠陥検出工程とを有する。シミ欠陥強調処理工程S5は、撮像画像において選択された対象画素から所定距離離れてかつ対象画素の周囲に配置された各輝度比較画素を、対象画素を挟んで対称位置に配置された２つの輝度比較画素毎のセットに分け、対象画素の輝度値と各セットの２つの輝度比較画素の平均輝度値との差の値を求め、各セットの差の値のうち、絶対値が最小となる値を対象画素のシミ欠陥強調値とする。そして、各画素のシミ欠陥強調値を所定の閾値と比較してシミ欠陥候補の画素を抽出してシミ欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】照度変化の影響を受けず、しわのような細かく、かつ不規則な不良を検出でき、印刷物の影響を受けないＰＴＰシール検査装置を提供すること。
【解決手段】表面に印刷部分の存在するＰＴＰシートに光を照射する光源１４と、ＰＴＰシートから反射する反射光のうち赤外線光を選択的に撮像するカメラ１１，１２と、カメラ１１，１２が撮像した映像データを演算することにより、ＰＴＰシートのシール不良を検出するシール不良判断プログラム２２とを有している。 （もっと読む）

【課題】複数枚の画像を用いることなく容器内の気泡と異物とを精度よく識別する。
【解決手段】液体を充填した容器に光源からの光を透過させＴＶカメラで撮像する（Ｓ１）。画像処理装置は、ＴＶカメラに撮像した濃淡画像内に検査領域を設定し（Ｓ２）、検査領域内で気泡の候補となる気泡候補領域を抽出する（Ｓ３〜Ｓ６）。気泡候補領域の中の画素に対して気泡候補領域の外周縁からの距離に応じたラベルを付け、同じラベルを付けた領域を単位として気泡候補領域の中央寄りの内側領域と外周寄りの外側領域とを設定する（Ｓ７〜Ｓ９）。内側領域の明度の平均値が外側領域の明度の平均値よりも高く、かつ内側領域の明度と外側領域の明度との分離度が規定の閾値以上であるときに当該気泡候補領域を気泡と判定する（Ｓ１０）。 （もっと読む）

【課題】 従来技術の米粒判別検査装置における問題点を解決し、米粒判別処理速度を高めた米粒判別検査装置の提供。
【解決手段】 本発明による米粒判別検査装置は、多数の米粒を一度に高速で且つ並列に流下させることができるシュート（１）と、該シュートの下端に設けられ且つ前記シュートの下端を横切るライン状の検査領域に亘って監視して前記シュートから流下された米粒の各々を光学的に検定する検査装置（２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ、６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂ）と、該検査装置からの検知信号に基づいて、落下する米粒の各々の判別するための判別装置（１０、１１）と、該判別装置によるデータに基づいて集計して米粒の検査結果を表示する表示装置（１５）とから主として構成され、前記判別装置による判別が、各米粒毎に高速判別アルゴリズムによって行われるようになされている。 （もっと読む）

【課題】 疵候補の未検出や過剰検出あるいは単発疵によるノイズが多い場合であっても、高精度で周期疵の有無を判定することができる帯状体や柱状体の周期疵検出方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】 移動する帯状体や柱状体の表面を撮像し、撮像画像を画像処理して周期疵を検出する帯状体や柱状体の周期疵検出方法において、撮像画像から帯状体や柱状体の長手方向に間隔をおいて現れる複数の疵候補を抽出し、長手方向位置ｘにおける疵候補画像Ｆ（ｘ）と長手方向位置をτずらしたときの疵候補画像Ｆ（ｘ＋τ）との相関を画像の類似度で演算し、さらに長手方向に関して前記類似度の総和を求め、τを変化させて前記類似度の総和を比較して、周期疵を検出することを特徴とする帯状体や柱状体の周期疵検出方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は視覚モデルによりフラットパネル表示装置を検出する方法と装置を提供する。
【解決手段】フラットパネル表示装置に存在されるムラの欠点が現れ、即ち、ハードウェアかソフトウェアにより差異認識の発生システムを行い、撮影システムを利用し、テストパネルのイメージ画面が得られ、次に背景模擬システムで参照イメージを取り、情報検出の発生システムによる検出参照情報。以下の工程から構成される。テストパネルのイメージを捕獲する工程、捕獲したイメージを調整すると共に、テストイメージと参照イメージを発生する工程、前端処理、イメージ情報の推定及びイメージ情報の整合工程からなる認識発生の流れにより、テストイメージと参照イメージが生じる工程、最後に夫々のテスト情報をまとめて検知図及び検知数値が生じる工程、これらの検出図及び検出数値を利用し、フラットパネル表示装置のイメージ品質良悪を評判するパネルの良悪の判断工程よりなる。 （もっと読む）

【課題】 画像に存在する画素ムラ欠陥を精度よく検出する画素ムラ欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 検査画像取得工程ＳＴ１００で取得した画像から画素ムラを検出して（画素ムラ検出工程ＳＴ３００）、画素ムラ検出工程で検出された結果に基づいた定量的な評価により、画像に画素ムラ欠陥があることの判別を行う（欠陥判別工程ＳＴ４００）。画素ムラ検出工程（ＳＴ３００）は、画像データを所定面積の複数の領域に分割する領域分割工程と、各領域内において周囲に比べて輝度が所定閾値よりも高いまたは輝度が低い異常画素を検出する工程（異常画素検出工程）と、検出された異常画素の数を領域ごとにカウントしていく工程（異常画素カウント工程）と、領域ごとにカウントされた異常画素の数に基づいて画素ムラに繋がる領域を抽出する工程（画素ムラ候補抽出工程）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 設計データから高い近似度を持って参照データを高速で作成することができ、検査精度及び検査速度の向上をはかる。
【解決手段】 設計データから参照データを作成する際に、画素を分割したサブ画素単位で、多角形により表わされる図形データをライン方向に走査して求めた交点の座標で定義される走査リスト若しくはサブ画素単位のビットマップを生成し、試料の透過率や位相分布に応じた像強度分布を部分コヒーレント結像の物理モデルに基づいて計算する。 （もっと読む）

【課題】 レシピ作成者の熟練度に依存しない、検査装置に要求される検査条件を満足する検査結果を得られる検査レシピを作成する自動検査レシピ作成装置及び作成方法を提供する。
【解決手段】 複数の検査装置の動作をそれぞれ規定する複数のレシピパラメータから、特定の検査装置に関する複数のレシピパラメータを抽出する抽出部１１と、複数のレシピパラメータを組み合わせて、複数の検査レシピ候補を作成するレシピ候補作成部１２と、複数の検査レシピ候補をそれぞれ適用して特定の検査装置により製品を検査した結果に基づき、複数の検査レシピ候補毎に検出パラメータを算出する算出部１３と、条件記憶領域３１に格納された検出条件を読み出し、その検出条件と検出パラメータに基づき、複数の検査レシピ候補から検査レシピを選択するレシピ選択部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】位置検出用の計測用パターンの汚れを自動的かつ確実に判別する。
【解決手段】計測用パターンとしてのマークの撮像結果Ｐから抽出された、Ｌ／Ｓパターン上において、直線上に並ぶ特定の複数の計測範囲内の撮像結果に基づいて、それぞれの計測範囲の代表点を検出する。そして、その代表点に基づく最小近似直線を求め、その直線と、各代表点と分散値を求める。この分散値が所定の閾値を超えていた場合には、異物Ｄ１，Ｄ２がマークに付着して汚れがあるものとみなす。 （もっと読む）

【課題】プリント回路基板上に実装された電子部品の外観検査において、シルクスクリーン印刷部による悪影響を除去可能な構成を提供する。
【解決手段】該当する電子部品１００の周囲にシルク検査ウインドウを設定する。次に予め登録されているシルクスクリーン印刷部２１０の色／輝度のデータに基づき、シルク検査ウインドウ内の画像データを二値化する。プリント回路基板上の部品１００の周囲のシルクスクリーン印刷部２１０を検出し、検出されたシルクスクリーン印刷部２１０と重複しないように所定の検査領域Ｗ１を画定する。 （もっと読む）

【課題】 自動外観検査装置にて欠陥位置と検出した検出位置付近について、人がカラーフィルタの拡大された撮影画像を観察して最終的なＯＫ／ＮＧの判定を出すカラーフィルタのシミ検査方法で、局部的なシミの検査を、簡単に、手間がかからずにできる検査方法を提供する。
【解決手段】 カラーカメラ１１で、拡大した状態でカラーフィルタ１６の検出位置付近を撮影してモニタ１４ａに表示する。さらに、得られた撮影画像データを、画像処理装置１５でＲ、Ｇ、Ｂの３原色に分解し、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データを得た後、観察対象となるカラーフィルタの絵素部に対して、Ｒ成分画像データ、Ｇ成分画像データ、Ｂ成分画像データの中から、吸収の多い色成分の画素データを選択し、選択された色成分の画像データを、選択的に濃淡強調した状態でモニタ１４ｂに表示し、モニタ表示された画像を観察してＯＫ／ＮＧの判定を出す。 （もっと読む）