【課題】容易に検査対象物の検査対象領域を抽出可能であり、形状寸法の検査と外観検査の両方を短時間で高精度に行うことができる外観検査方法とそれに用いる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査台１に載置した被検査物２の側面全周側より第一の照明手段３を照射して前記被検査物２を含む第一の検査画像を撮像する第一の工程と、前記第一の検査画像から前記被検査物２の輪郭のみを抽出して第二の検査画像とする第二の工程と、前記第二の検査画像から輪郭の形状寸法を測定し良否を判定する第三の工程と、前記被検査物２の上面側より第二の照明手段４を照射して第三の検査画像を撮像する第四の工程と、前記第二、第三の検査画像を照合し、第三の検査画像から前記第二の検査画像の輪郭の内側のみの画像を抽出して第四の検査画像とする第五の工程と、前記第四の検査画像から被検査物の外観の良否を判定する第六の工程とからなる電子部品の外観検査方法である。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における外観不良検査に際し、撮像領域の各部分を適切な光量で一度に撮像可能であり、しかも、撮像処理が比較的簡単な外観検査装置、及び、ＰＴＰシートの製造装置を提供する。
【解決手段】カメラ２３は、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）２３Ｍ及び撮像素子２３Ｓを有し、ＤＭＤ２３Ｍを介して、撮像素子２３Ｓによる撮像を行う。ＣＰＵ及び入出力インターフェース４７は、画像メモリ４１に記憶された画像データに基づいて調整対象領域毎に露光条件を設定し、露光条件データを作成して、露光条件メモリ４２に記憶する。そして、露光条件メモリ４２に記憶した露光条件データに基づいてＤＭＤ２３Ｍを駆動制御し、調整対象領域毎に撮像素子２３Ｓの露光時間を調整する。 （もっと読む）

【課題】検査対象部位の検出または検査対象部位の良否判定を精度良く行うことが可能になる基準値を、簡単に設定できるようにする。
【解決手段】フィレット検査のための判定基準値を設定するために、良品および不良品のモデルＭを、それぞれ少なくとも１つ用意する。ティーチングの際には、各モデルＭを、カメラの撮像範囲３０の中央部、左上、右上、左下、右下の５箇所に位置合わせして撮像を行う。さらに、複数とおりの判定基準値を順に設定しながら、生成された全画像を用いて各モデルＭに対する試験的な検査を実行する。そして、各モデルＭに対してなされるべき判定結果に最も適合する結果が得られたときの判定基準値を選択し、メモリに登録する。 （もっと読む）

【課題】 表面に透明な保護膜が形成された半導体素子の外観検査方法を提供する。
【解決手段】 表面に透明な保護膜１５が形成された光半導体素子１０を撮像した画像データに基づいて、外周領域３１と電極領域３２とを除いて、光半導体素子１０の外観検査領域３３を設定するステップと、外観検査領域３３内の画素信号の平均値を求め、平均値と所定の第１基準値とを比較し、比較結果に応じて第１の欠陥を抽出するステップと、平均値に１より大きい所定の係数を乗じて第２基準値を求め、外観検査領３３域内の画素信号と第２基準値とを比較し、比較結果に応じて第２の欠陥を抽出するステップとを具備する。保護膜１５の膜厚不良部（第１の欠陥）、膜剥離部（第２の欠陥）を検出する。 （もっと読む）

【課題】一様なパターンを有する複数の矩形領域が隙間を空けて縦横に整列して設定される基板上の複数の矩形領域に亘って伸びる筋ムラを容易に検出する。
【解決手段】ムラ検査装置の対象画像生成部６１では、基板を撮像して取得される多階調の元画像において基板上の矩形領域間の隙間に対応する領域をマスクして対象画像が準備され、筋ムラ要素特定部６３では対象画像を２値化した２値画像において長手方向における長さと長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる複数の筋ムラ要素領域が複数の筋ムラ要素線分にてそれぞれ特定される。そして、筋ムラ検出部６４において、複数の筋ムラ要素線分のうち、長手方向（線分が伸びる方向）が同一であり、長手方向に配列され、かつ、隣接する矩形領域内に存在する２つの筋ムラ要素線分が検出されることにより、複数の矩形領域に亘って伸びる筋ムラを容易に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】上方を覆うカバーの貫通孔から検査装置側への開閉動作に伴う異物の落下を簡便な構成で防止できるシャッター装置を提供する。
【解決手段】シャッター装置２０は、貫通孔３１ｂが形成されたカバー３１ａにて上方が覆われ、貫通孔３１ｂを通過可能な検査ヘッド１６の少なくとも一部を貫通孔３１ｂからカバー３１ａの上方に出没させて所定の検査を行う検査装置１に適用される。貫通孔３１ｂを開く開位置と貫通孔３１ｂを閉じる閉位置との間で移動するシャッター板２１を備えるとともに、そのシャッター板２１の上面には下方に窪む円形凹部２１ａが形成され、かつ円形凹部２１ａの底面に粘着シート２３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】原料の粒状物と類似した色彩を示す原料以外の粒状物を高精度に判別する粒状物選別機を提供する。
【解決手段】粒状物選別機は、粒状物の選別処理を制御する制御装置２０を備えている。制御装置２０においては、ＣＣＤカメラ１６により撮影された粒状物の画像から、前処理部２２により粒状物の画素領域を特定し、制御部２６により、特定された画素領域を構成する画素が示す色を、色相及び彩度をパラメータとして示した判別情報に変換する。次に、制御部２６において、参照テーブル２８に記憶されている所定の粒状物固有の色を、色相及び彩度をパラメータとして示した粒状物色情報と判別情報とを用いて、粒状物が所定の粒状物か否かを判別し、所定の粒状物以外の粒状物を噴風装置１８により除外し選別する。 （もっと読む）

【課題】透明な部分を含む印刷物を検査すると共に汎用性を高める印刷物の品質検査装置及びその品質検査方法を提供する。
【解決手段】印刷物１ａを搬送する搬送手段２２と、照明手段２３と、照明手段２３の照射光により印刷物１ａの画像情報を取り込む撮影手段２４とを備え、画像情報に基づいて印刷物１ａの異常を検査する印刷物１ａの品質検査装置２１であって、搬送手段２２の搬送面側に、印刷物１ａの紙面と同色にみなす同色材２５を備え、撮影手段２４により、透明な部分を含む印刷物１ａを同色材２５の位置で撮影するように構成する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減すると共に汎用性を高める印刷物の品質検査装置及びその品質検査方法を提供する。
【解決手段】印刷物１を搬送する搬送手段１２と、照明手段１３と、照明手段１３の照射光により印刷物１の画像情報を取り込む撮影手段１４とを備え、画像情報に基づいて印刷物１の異常を検査する印刷物１の品質検査装置１１であって、印刷物１の搬送経路に透過材１５を備え、搬送手段１２により搬送される印刷物１の一面を撮影するよう撮影手段１４を配置すると共に、透過材１５を介して印刷物１の他面を撮影するよう撮影手段１４を配置する。 （もっと読む）

窓ガラスによって発生した一次像と二次像との間の逸脱角の決定方法を開示する。第１方法においては、窓ガラスを光源で照射し、画像取込装置を用いて、窓ガラスによって発生した光源の一次像と二次像を取り込む。一次像と二次像との間の距離を決定し、この距離から逸脱角を決定する。第２方法においては、一次像および二次像を、逸脱角を示す目盛りで表示したターゲット上に映す。逸脱角を、一次像と二次像の目盛りおよび位置から読み取る。この第２方法において、光源をターゲットの中心に設置する。両方の方法において、光源は少なくとも１個の発光ダイオードを備える。かかる方法を用いて窓ガラスのエッジ領域を検査するのが好ましい。
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【課題】広範囲の管内照明に於いて、発光型の異なる２種類の照明をカメラの周囲に配置して、前方向の照明と横方向の照明を使い分け、前方、側方のいずれの管内撮影においても常に最適な照度で管内の各部を照明できる信頼性の高い管内検査カメラの照明装置および管内検査カメラの照明方法を提供する。
【解決手段】カメラ本体２０を収容した筐体１０に、側周発光型のＬＥＤとリフレクタとを備えた直視用集光照明装置部３１と、ドーム状発光型のＬＥＤと拡散板とを備えた側視用散照明装置部３２とを設けて、集光照明装置部３１を用いて管１内を直視撮影し、拡散照明装置部３２を用いて管１内を側視撮影する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、確実に良好な検査を行うことのできる表面検査方法、及びそれに好適な表面検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の表面検査方法は、被検基板上のパターンを偏光した照明光で照明すると共に、そこで生じた正反射光の偏光状態を示す反射信号を取得し、その反射信号に基づき前記被検基板の検査を行う表面検査方法であって、前記被検基板の検査に先立ち、前記照明光の波長を切り替えながら（Ｓ１，Ｓ３，Ｓ４）、予め用意されたテスト基板の前記反射信号を繰り返し取得し（Ｓ２）、取得された複数の反射信号に基づき前記被検基板の検査用の波長を決定する（Ｓ５）ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】点灯及び消灯を繰り返しても寿命の劣化が少なく、均一な面照明が可能で、且つ照明光の色光の選択が容易な照明手段を使用して目視検査をする。
【解決手段】検査対象物５を保持して直交する２軸１３，１４を中心に回動可能とされた保持部７と、前記保持部７の直交２軸１３，１４のうち軸１４を支持して伸縮可能とされた伸縮支持部材８と、前記保持部７を前記２軸１３，１４を中心に回動させると共に、前記伸縮支持部材１７を伸縮させる駆動機構９と、前記保持部７に保持された前記検査対象物５に対して上方又は後背から光を照射可能に配設され、表示素子の像をレンズにより前記検査対象物５上に拡大投影するカラー表示可能な第１〜第１又は第２のプロジェクター１０，１１と、前記各プロジェクターによる投影状態を制御する制御手段１２と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成並びに簡単な操作で容易かつ確実に防水カバーを装着できる、実用性並びにメンテナンス性に優れた照明装置および照明装置の防水カバー装着方法を提供すること。
【解決手段】防水カバー４０の嵌合部４１と、筐体３０の照明用開口部３１に形成されたカバー嵌合部３２には、それぞれ照明用開口部３１の奥行方向に向かって拡径となるテーパ部３３，４３が形成され、防水カバー４０の嵌合部４１と、筐体３０の照明用開口部３１に形成された嵌合部３２との間に、防水用リング５０を介挿して、防水カバー４０が筐体３０の照明用開口部３１に装着される。 （もっと読む）

【課題】 検出部の小型化が可能で、軸受内部などへの配置の自由度が高く、安定した正確な検出が可能な潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、先端が潤滑剤６の配置空間１０を介して並ぶ２本の光ファイバ４，５と、一方の光ファイバ４の基端に配置した発光素子２と、他方の光ファイバ５の基端に配置した受光素子３と、この受光素子３の出力から潤滑剤６に混入している異物の量を検出する判定手段７とを備える。前記２本の光ファイバは、それぞれ先端を斜めにカットしてその斜めカット面を反射コーティングした反射面４ａ，５ａとする。これら斜めの反射面４ａ，５ａは、一方の光ファイバ４を通る光が先端の反射面４ａで他方の光ファイバ５の反射面５ａに向けて反射して、この反射面５ａから他方の光ファイバ５内に反射する方向に向ける。 （もっと読む）

【課題】 潤滑剤の厚さ、および発光部と受光部の距離を一定に保つことができ、現場でサンプリングした潤滑剤の劣化検出が容易な潤滑剤劣化測定器具を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化測定器具１は、基端側部６ａが把手となる一対の支持部材６，６を互いに開閉自在に連結してなり、閉じ状態で先端間の距離が一定となる鋏状器具本体２を備える。この鋏状器具本体２の前記一対の支持部材６，６の先端６ｂ，６ｂには、互いに対向して互いの間に潤滑剤９を介在させる発光部３および受光部４がそれぞれ設けられる。また、前記鋏状器具本体２には、前記受光部４の出力から潤滑剤９の光透過率を求めて潤滑剤９に混入している異物の量を検出する判定手段５が設けられる。 （もっと読む）

【課題】貯水タンク内面の塗装膜状態の点検を容易に、かつ、タンクを使用しながらできる水中塗装膜外観検査装置を提供する。
【解決手段】貯水タンク内面３の塗装膜状態を点検すべく水中にてタンク内面３に吸着する水中作業装置本体７と、水中作業装置本体７に設けられ塗装膜を検査する塗装膜検査手段８と、水中作業装置本体７に設けられ健全な塗装膜を傷めない程度に柔らかな材質で形成された車輪９と、水中作業装置本体７に設けられ車輪９を駆動する駆動装置１０と、駆動装置１０を遠隔操作する遠隔操作手段とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置およびシステムにおいて、大型の被検査基板に対して検査位置を移動して検査する場合でも、検査効率や検査精度を良好なものとすることができるようにする。
【解決手段】基板検査装置１が、水平方向からの検査者２の目視検査が可能となるように基板１０１を起こした状態で保持する基板保持部１０８と、起こされた基板１０１と検査者２の目視観察の観察領域とを相対的に移動させる保持部移動機構１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 周期構造の欠陥を容易かつ迅速、確実に測定できる周期構造欠陥測定装置を提供すること。
【解決手段】 被検査物３の周期構造３−１のｘ方向、ｙ方向の並び方向から光源１からの光を照射し、前記被検査物３の周期構造３−１へ前記光が照射されたときの前記被検査物３の周期構造３−１のｘ方向、ｙ方向の並び方向からの反射回折光を光検出器４で同時に検出し、前記検出した反射回折光をもとに前記被検査物３の周期構造３−１の欠陥を画像処理装置により容易かつ迅速、確実に測定し判定する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置および方法において、簡素な手段によって縦筋ノイズを除去することができるようにする。
【解決手段】ライン照明ユニット３と、ラインセンサカメラ６と、それらと基板とを副走査方向に相対移動する基板保持移動ユニット４と、基板保持移動ユニット４の移動動作およびラインセンサカメラ６の撮像動作を制御することにより基板の２次元の走査画像を取得せしめる装置制御部１３と、走査画像の画像データを演算処理することにより縦筋ノイズを検出する縦筋ノイズ検出手段と、縦筋ノイズ検出手段が検出した縦筋ノイズを除去処理して補正画像を生成する縦筋ノイズ除去手段とを有する画像ノイズ処理部１５と、補正画像から欠陥抽出を行う欠陥抽出処理部１６を備える構成とする。 （もっと読む）