【課題】外観検査方法及び外観検査装置において、検査対象物の周縁部分が曲面である場合でも、周縁部分を含めて精度の良い欠陥検出を可能とする。
【解決手段】曲面部を含んだ検査対象画像Ｐ０を得て（Ｓ１０１）、これから微分画像Ｐ１を得る（Ｓ１０２）。この微分画像Ｐ１上の各画素から所定の微分値以上となる端部画素を抽出した２値化画像Ｐ２を得る（Ｓ１０３）。各端部画素により連結される領域を端部領域とし（Ｓ１０４）、端部領域において、検査対象物の端側の画素からなる第１の境界線と、対象物の内側の画素からなる第２の境界線を決定する（Ｓ１０５）。各境界線に基づき、端部側の第１の検査領域Ａ１と、内部側の第２の検査領域Ａ２とを決定する（Ｓ１０６）。これら各検査領域Ａ１、Ａ２とにおいてそれぞれ異なる検査条件で欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】プレス加工による曲げ加工曲面について、該曲面からの反射光の輝度のばらつきの影響が低減された高精度の加工品質評価（曲げ加工状態の良否判定）を可能とする。
【解決手段】プレス加工により曲げ加工された曲面にパターン光を照射し（１０２）、そのパターン光の反射像を２次元ＦＦＴを用いてパワースペクトルに変換し（１０２〜１０３）、その低周波数域の行方向と列方向の各ピーク値の座標を行単位、列単位で抽出する（１０５）。抽出された各ピーク値座標の、上記パワースペクトルの行，列各方向の原点座標からの分散値を各々算出し（１０６）、その分散値によって上記曲面の加工品質を評価するようにして（１０８）、曲げ加工曲面からの反射光の輝度のばらつきの影響を受け難い加工品質評価を可能とした。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、透明塗布液に検出剤を添加せずに塗布具合を検査するシステムおよび方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の検査システム１０は、基材１２および塗布液１４から放射される赤外線を検知し、赤外線を基材１２および塗布液１４の表面温度に変換して画像を生成する赤外線サーモグラフ１６と、その画像から塗布液１４が基材１２の所定位置に所定形状で塗布されているか否かを判断する判断手段１８とを含む。塗布液１４には何ら検出剤は添加しないで塗布液１４の検査をおこなう。 （もっと読む）

【課題】２波長方式で多層構造の被検体の内部を正確に測定できる表面検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 短波長と長波長の波長を出射する光源部から光束を被検体の被検面に対して所定の入射角で同時又は択一的に入射させ、光源部からの光束の種類、及び第１光強度検出部からの出力に基づき、射出される少なくとも長波長の光束の強度を調整し、短波長の光束を照射した際の第１光強度検出部の出力と、長波長の光束を照射した際の第１光強度検出部の出力とを比較し、長波長の光束を照射した際の第１光強度検出部の出力にのみ現れる信号を、内部対象物からの検出信号と判別し、かつ、長波長の光束の強度を調整し、その内部対象物からの検出信号が消失する付近の消失レベルを求め、消失レベルよりも高いレベルに、長波長の光束の第１強度を設定し、第１強度の長波長の光束により得られる第１光強度検出部の出力に基づき、被検体内部の対象物を測定する。 （もっと読む）

【課題】光源を立ち上げてから判定開始までの時間を短縮することができる非破壊検査装置およびこれを備えた選別装置を提供する。
【解決手段】判定部（制御装置５０）の記憶手段５２には、前記光源３５ｂを立ち上げてからの時間ｔｒと前記光源３５ｂの照射光量Ｉｉｎとの関係を示す時間−光量関係が記憶されている。一方、判定部の計時手段Ｐ１により、光源３５ｂを立ち上げてからの時間ｔｒが計測される。そして、前記受光部（光電素子３６ｂ）において受光された受光量Ｉｏｕｔについて、判定部の演算手段Ｐ２により、記憶手段５２から時間−光量関係を読み出し、計時手段Ｐ１により計測された時間ｔｒにおける光源３５ｂからの照射光量Ｉｉｎと、安定時における光源３５ｂからの照射光量Ｉｓとの関係が演算され、当該演算結果に基づいて、補正手段Ｐ３により、前記受光量Ｉｏｕｔについてのデータが補正される。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成であって被測定物への光照射角度を変化させる照明装置を提供する。
【解決手段】光源１１０と、反射ミラーユニット１２０と、を備える。
光源１１０は、その位置が固定されており、かつ、対物レンズの光軸Ａから離間する方向へ向けて光を発射する。外側反射ミラー（光学部材）１３０と、内側反射ミラー（光学部材）１４０と、を備えている。外側反射ミラー１３０と内側反射ミラー１４０とは互いの相対位置が固定されてユニット化されている。そして、反射ミラーユニット１２０は、光軸Ａに沿った方向に変位可能であり、すなわち、光源１１０に対して上下動可能である。外側反射ミラー１３０の自由曲面部１３１と内側反射ミラー１４０の反射面とは、光の入射位置によって光の反射方向が異なる。 （もっと読む）

【課題】設備費用の増加を招くことなく、シート部材の搬送中に破断が生じた際に、確実に破断前における上記シート部材の状態を確認して破断原因を特定することができるシート部材の破断原因解析方法を提供する。
【解決手段】複数のロール３に沿って搬送されるシート状部材２を、上記搬送方向の複数箇所に配置されたカメラ５によって毎秒ｎコマ撮影し、各々のカメラ５から出力された各コマの撮影画像を、一定容量を有する記録媒体１６に順次上書きすることにより連続的に録画する際に、各々のカメラ５の設置位置におけるシート状部材２の搬送速度を検出し、当該検出情報に基づいて、上記搬送速度が減速した際に、シート状部材２の全長を連続して撮影可能な範囲内において、上記ｎコマの撮影画像のうちのコマ数を間引いた撮影画像を上記記録媒体１６に録画することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査を効率的に、かつ確実に行えるようにする。
【解決手段】欠陥検査装置１は、搬送部２でアライメントした基板Ｗを端面検査部３に搬送させ、端面検査部３と平面検査部４に順番に搬送し、それぞれで端面検査、表面検査、裏面検査を行わせる。端面検査部３で得られた端面画像から基板Ｗのノッチ位置を検出し、ノッチ位置を基準とする座標系に変換する。表面検査又は裏面検査で取得した画像からは、基準位置に対する基板中心と、回転方向におけるノッチ位置を抽出する。端面画像と表面画像及び裏面画像をノッチ位置や基板の中心位置に基づいて３次元座標系の画像に変換し、３次元形状で表示部６に表示させる。 （もっと読む）

【課題】安価で安全であり、被検査物の被検査面に線状の像を映出し当該線状の像により被検査物の良否の判断を行うことができる外観検査装置、及び当該外観検査装置を用いて行う外観検査方法の提供。
【解決手段】外観検査装置１のＬＥＤ２０は略円柱形状部２１を有し、ＬＥＤ２０は、載置台１０の載置面に対して略４５°の角度で傾斜した状態が維持されるようにして、略円筒形状部が被検査物２の被検査面たる外周面２Ｂに対向し、且つ光軸方向が筋状溝に垂直をなすように８個配置される。ＬＥＤ２０はＬＥＤ保持手段により保持され、ＬＥＤ保持手段は、８個のＬＥＤ２０を等間隔で一直線状に並べた状態のままで、その一直線の指向する方向を変えるように回転軸を中心として回転可能とする回転手段を有する。ＬＥＤ２０の発光により該外周面２Ｂ上に線状の像２０Ｃが映出される。 （もっと読む）

規則ＥＣＥ Ｒ４３に従って実施したフラグメンテーション検査後に、単独の強化ガラスプライのフラグメンテーションパターンを精査する方法を開示する。この方法は、透明な支持手段の第１側面の側に位置する細条状光源を用いて、光透過中の強化ガラスプライの第１部分を照明して透過させるステップを有する。強化ガラスプライの第１部分の画像を、透明な支持手段の第２側面の側に位置し、細条状光源に整列しかつこの細条状光源対する相対的な位置に固定した撮像装置によって取得する。一連の強化ガラスの画像を収集および分析し、フラグメンテーションパターンの画像を生成する。このようなイメージングを行う装置についても開示する。
（もっと読む）

【課題】正確な検査を短時間で行うことができる検査装置及び検査方法ならびにパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、フォトマスク３３を透過した透過光とフォトマスク３３で反射した反射光とを用いて検査を行う検査装置１であって、レンズ３２の視野６０の一部である同時照明領域６２を、フォトマスク３３のレンズ３２側から照明する反射照明光源２１と、同時照明領域６２と同時照明領域６２以外の透過照明領域６１とを照明する透過照明光学系１０と、同時照明領域６２からの透過光と反射光とを、レンズ３２を介して検出する合成像用センサ４４と、透過照明領域６１からの透過光を、レンズ３２を介して検出する透過像用センサ４３とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】
光源と受光センサのみの簡易な装置で容易に丸棒の外周面の疵等を検出することができる丸棒検査装置及び丸棒検査方法を提供することにある。
【解決手段】
丸棒の軸に略垂直に該外周面に光を照射する光源と、丸棒の軸断面視で、丸棒の軸における光源の入射方向とのなす角度が９０度を超え１８０度未満になるように設けられた受光センサとを備え、光源からの光の外周面での反射光を受光センサで受光し、受光した光のレベルから外周面を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大きさや形状が異なるむらが混在する場合においても、むらの検出を安定して自動的かつ効率的に行うことができる外観検査装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】中心領域平均算出部１４は、対象画素に対応する中心領域における輝度（画像データにおける各画素の濃淡値）の平均値（中心領域平均輝度）を算出する。周辺領域１平均算出部１５１〜周辺領域Ｎ平均算出部１５Ｎは、同様に、この中心領域に対応する周辺領域１〜周辺領域Ｎにおける各画素の濃淡値の平均値（周辺領域Ｎ平均輝度）を算出する。次に、平均差分算出部１６は、中心領域平均輝度と周辺領域１平均輝度〜周辺領域Ｎ平均輝度との差分値（差分値１〜差分値Ｎ）を算出する。さらに、平均差分算出部１６は、差分値１〜差分値Ｎの中から代表値（代表差分値）を抽出する。この外観検査装置１においては、この代表差分値を用いてむらの検出を行う。 （もっと読む）

【課題】偏光板を用いた欠陥の検出を精度良く行う。
【解決手段】走行するフイルム１６と投光器２２との間に第１偏光板２５を設置する。そのフイルム１６と受光器２４との間に、第１偏光板２５の偏光方向と直交するようにして第２偏光板２６を設置する。第１及び第２偏光板２５，２６はヨウ素系偏光板から構成される。投光器２２と第１偏光板２５との間にバンドパスフィルタ２７を設置する。バンドパスフィルタ２７は、投光器２２からの光のうち波長域が４２０ｎｍ以下及び７００ｎｍ以上の光を除去する。これにより、欠陥があるフイルム１６が位置するとき以外には、第１及び第２偏光板２５，２６から特定の偏光面の光以外の光が出ることが無くなり、欠陥に対する検出の精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】大きな被検体に対しても装置を大型化することなく対応でき、撮像部や投光部に不具合が生じた場合においても容易に交換可能な外観検査装置及びこれを用いた外観検査方法を提供する。
【解決手段】投光部３２から被検体２の表面に照明光が線状に照射され、照明光の被検体２からの反射光を受光し、これを集光する少なくとも１つのレンズ３２ｄと、レンズ３２ｄにより集光された光を結像する線状に配された複数の撮像素子３２ｃとからなる撮像部３２を分離可能な筐体に納めた撮像ユニット２２とされ、撮像ユニット２２を被検体２の幅寸法に合わせて複数連結して一つの連結撮像ユニットに構成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、物体、特にその表面形態を検査するための方法及び装置（０１，１７）に関する。
【解決手段】
装置（０１，１７）は検査対象の物体の表面部分の上に、とりわけ手によって配置される移設可能な箱体（０２）と、少なくとも３つの光源（０６）と、検査対象の物体の表面部分を基準に傾斜した入射角で伸びる光線軸と、から構成される。光源（０７）は箱体の内部に配置され、箱体（０２）にある光アパーチャ（０８）を通過し検査対象の表面部分を照らす。装置（０１，１７）はさらには検査対象の表面部分で反射した光を検出するための少なくとも１つ以上の光センサー（０９）と、光源（０６）と光センサー（０９）に接続される制御評価ユニットと、から構成される。光源（０６）は、光線軸（０７）が異なった非平行の基準面に伸びるように配置される。
（もっと読む）

【課題】試料セルの取り外しを要せず、簡単且つ正確に試料セル内壁の異常を検出できる半導体製造システム用分析装置を提供する。
【解決手段】異なる２種類の液体を選択的に収容する試料セル１と、前記各液体での吸収が略等しく屈折度合いが異なる所定波長の光を、前記試料セル１に照射する光照射部２３ａと、前記各液体を前記試料セル１にそれぞれ収容した状態で、前記光照射部２３ａの照射により前記試料セル１を透過してくる光を検出する光検出器２３と、前記光検出器２３で検出した前記各状態での検出光量に関する値である検出光量関連値を比較し、その比較結果に基づいて、前記試料セル１の汚れや傷などの異常の有無を判定可能に出力する判定部２３ｅと、を具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】容器を正確に品質検査することができる容器検査方法及び容器検査装置を提供する。
【解決手段】容器頂壁のフィンが折り畳まれた容器１４を、連続的に並進させて搬送する搬送手段と、容器の頂壁のフィン２３端を覗くように容器の斜め側方向に配設され、照射光を照射する光源３０と、容器の頂壁のフィンの上方に配設され、フィン端から反射光を検知する画像センサ３１と、画像センサが検知した反射光のパターンから、容器の良否を判定する判定手段と、判定手段からの出力に基づいて、不良品を排出する排出手段とを含むことである。 （もっと読む）

【課題】入射光を散乱する性質を有する対象面において周囲に対して凸状または凹状となる欠陥を容易に精度よく検出する。
【解決手段】欠陥検出装置１は、板金加工物である対象物９の対象面９１上にフラッシュ光である光束８１を導く光照射部２、光の照射方向とは反対側に配置されて対象面９１を撮像する撮像部３、および、対象物９を光照射部２および撮像部３に対して相対的かつ連続的に移動する移動機構４を備え、対象物９が連続的に移動する間に光の照射および撮像が繰り返される。光照射部２の光軸Ｊ１と撮像領域の法線Ｎとのなす角θ１は７０°以上９０°未満とされ、撮像部３の光軸Ｊ２と法線Ｎとのなす角θ２は０°以上４２°以下とされる。さらに、撮像領域の各位置に入射する光の入射方向の範囲の半角が０°以上３°以下とされる。これにより、撮像部３により取得された画像中の影として対象面９１上の欠陥を容易に精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトに配置できてメンテナンスなどにおける取り扱いも容易で、軸受内の潤滑剤の劣化状態を正確に検出できる軸受の潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 潤滑剤劣化検出装置１は、発光素子２および受光素子３と、中間に潤滑剤を介在させる検出ギャップ部７を有し前記発光素子２から受光素子３へ光を導く導光部材４Ａ，４Ｂと、判定手段６と、センサケース１０とを備える。判定手段６は、受光素子２の出力から前記検出ギャップ部７内の潤滑剤に混入している異物の量を推定する手段である。センサケース１０には、発光素子２、受光素子３、および導光部材４Ａ，４Ｂが取付けられる。軸受２１が取付けられたハウジング２５の前記軸受２１の端面を覆う軸受端面覆い部２６にセンサケース１０を取付け、前記導光部材４Ａ，４Ｂの前記検出ギャップ部７を、ハウジング２５の前記軸受端面覆い部２６と軸受２１の端面との間の空間内に配置する。 （もっと読む）