【課題】
光学的な表面を有する基板の検査方法において、特に、原器あるいはマスターから複製される基板の適切な表面検査方法が開発されていないため、高密度化する記録媒体や光学素子の量産化が遅れている。
【解決手段】
原器あるいはマスターとそれから複製される基板とをそれぞれ反射ミラーとするような構成のマイケルソン型干渉計あるいは、マッハツェンダー型干渉計を構築することにより、原器あるいはマスターから反射する位相情報を含む光と、検査対象から反射する光とが干渉し干渉縞を観測する。干渉縞を解析することにより、原器あるいはマスターの表面が有する特定の光学的構造と、検査対象の表面構造との差異を観測することができ、検査対象の表面状態を検知することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】照射部位によって反射方向の異なる正反射光を返す観測対象面Ｐにおいて反射方向の違いに起因するコントラストを打ち消すとともに、大きいサイズの観測対象面Ｐに均一な光を照射して観測対象面Ｐの傷等を検出できるようにする。
【解決手段】観測対象面Ｐに、その裏面を除く略全方向から略均一な光を照射する光照射装置であって、観測対象面Ｐをその裏面以外の略全方向から略囲むように設けられ、観測対象面Ｐに向かうに従って徐々に拡開する略切頭円錐状をなす拡散面２ａと、拡散面２ａに向かって光を照射して、拡散面２ａの輝度を略全面において略均一にする第１光源と、拡散面２ａの輝度と同一輝度の光を、拡散面２ａの観測対象面Ｐとは反対側の開口から観測対象面Ｐに照射する第２光源と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ガラス板等の透明性を有する板状体の製造ライン等において、板状体に存在する欠陥か、否かを効率よく判別して検出する。
【解決手段】第１の線状光源から投光して板状体を通過した透過光を第１のカメラで明視野画像を撮影するとき、第１のカメラの透過光の光路中の第１のカメラの前面の位置にナイフエッジ状の光路遮蔽部材を設ける。撮影された明視野画像の中から、明視野画像の背景成分の信号値に比べて高い信号値を閾値として、明視野画像の中から明部の領域を探索し、探索の結果、明部の領域を抽出したとき、この明部の領域を用いて、板状体に欠陥領域が存在するか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】電子写真装置において像担持体上に残留するトナーを摺擦して除去するためのクリーニングブレードの内部に存在する種々の軽微な欠陥を、正確に検査することを可能にする。
【解決手段】クリーニングブレードの１方の側から投光し、光透過率が９２％以下の拡散板によって光を拡散させ、同じ側でその正反射光を前記ブレード表面の全幅にわたって撮像することで画像データを取得する。 （もっと読む）

【課題】作業者の目に優しく、確実に異物を発見することができる車両用灯具の異物検査装置及びその検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象である車両用灯具の透明部材に光源からの光を照射して該透明部材に異物が付着しているか否かを検出する車両用灯具の異物検査装置１０であって、前記光源が緑色発光ダイオード１１，１２である。 （もっと読む）

【課題】
表面検査装置では、より粒径の小さいＰＳＬを使用することで、より小さい欠陥を検査することが可能となる。しかし、ＰＳＬの粒径は、有限である。このことから、従来の表面検査装置では、近い将来に半導体製造工程の検査で必要となるＰＳＬに設定の無いほど小さい粒径の欠陥をどのように検査するかということに関しては配慮がなされていなかった。
【解決手段】
本発明は、被検査物体で散乱，回折、または反射された光の、波長，光量，光量の時間変化、および偏光の少なくとも１つを模擬した光を発生する光源装置を有し、前記光を表面検査装置の光検出器に入射させる
【効果】
より微小な欠陥を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】被観察物の端面が，面取り加工された光沢性の強い端面であっても，その端面の広い範囲を一望できる撮像画像を得ること。
【解決手段】光を透過させて透過光を拡散させる拡散板が，被観察物１の端面からその端面に連なる表裏両側の面に渡る範囲に対して内側の面が対向する屈曲形状又は湾曲形状に形成され，その外側に配置されたカメラ３０の位置から被観察物の端面１ａが見える覗き窓１４が設けられた光拡散部材１１と，その光拡散部材１１の外側に配列され，光拡散部材１１を介して端面１ａを照明する複数のＬＥＤ１２と，前記覗き窓１４に向かうカメラ３０の光軸方向に交差する方向へ光を照射するＬＥＤ２１及びレンズ２２と，カメラ３０と前記覗き窓１４との間においてＬＥＤ２１からの光を反射して前記覗き窓１４を通じて端面１ａに照射するとともにその端面１ａからの反射光をカメラ３０側へ通過させるハーフミラー２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】チューブ内の流体物およびチューブに対して簡易分光を行い、流体物の状態ならびにチューブの品質を正確に、かつ迅速に、検知でき、また照射する光を自由に設定でき、機械的精度が必要とされないような、流体検知センサの提供をする。
【解決手段】投光手段と受光手段と信号処理手段からなり、流体が流通する透光性のチューブの外側に着脱自在に設けられる流体検知センサであって、流体検知センサのハウジング部がヒンジ機構により開閉自在とされ、チューブを挟み込める機構を備え、投光手段がアレイ状に配置された複数の投光素子から構成される。投光素子の各々が、ピーク波長が異なる光をチューブ内部に対して照射し、受光手段がチューブ内部を透過したピーク波長が異なる光を受光し、信号処理手段が、受光手段が受光した光の分光分析処理を行い、その変化をとらえて、チューブ内を流動もしくは滞留する流体物の状態を検知し得る構成とされる。 （もっと読む）

本発明は、基板の品質検査装置及びその検査方法を提供する。
本発明の検査装置と検査方法は、光源となる光の明るさの変化、光源の不安定性や交流電力によって発生する電源からのノイズ、検査しようとする基板の移送過程中に発生する震動、装備の震動や環境による震動などの影響を受けてノイズが影映像情報に含まれている際、そのノイズは除去して基板の表面品質を検査する装置に構成させたものであって、これにより、品質検査時のノイズによるエラーを無くして検査の精密度を高めると共に、製品に対する品質満足度を向上させることができる。
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【課題】撮像する領域の任意の点において光の入射する条件が同じである照明手段、及び、ピットの良否判定を行うことができるパターン検査装置を提供すること。
【解決手段】多数のＬＥＤ２をＬＥＤ支持部材３上に並べ、ＬＥＤ２から照明光が平行な状態で出射し、撮像領域Ｒに所定の入射角度θで入射するように各面光源ア〜クを構成する。ＬＥＤ２を並べる領域の大きさは、撮像領域Ｒの大きさよりも大きくする。８個の面光源ア〜クからは照明光が平行な状態で出射し、撮像領域Ｒの全体に所定の角度θで入射する。したがって、撮像領域ＲのＢＡＣ上の任意の点において、全方向から同じ角度の照明光が同じ照射強度で入射し、撮像領域のどの点においても、その条件が同じになる。このため、検査を行う全領域でピットの明るさ（輝度）の違いよって良否を判定することができる。 （もっと読む）

【課題】欠陥部分の信号を漏れなく検出する。
【解決手段】欠陥検査対象のフィルムを受光器により撮像する。受光器で得られた撮像信号を微分処理する。微分処理が施された微分処理信号のうち、一定の画素範囲内で輝度値が最大となる極大信号５０ａ，５１ａ，５２ａと輝度値が最小となる極小信号５０ｂ，５１ｂ，５２ｂとを検出する。基準信号５５の輝度値と極大信号５０ａ，５１ａ，５２ａの輝度値の差分を第１差分値ＬＡ１，ＬＢ１，ＬＣ１として求める。基準信号５５の輝度値と極小信号５０ｂ，５１ｂ，５２ｂの輝度値の差分を第１差分値ＬＡ２，ＬＢ２，ＬＣ２として求める。第１差分値ＬＡ１，ＬＢ１，ＬＣ１と第２差分値ＬＡ２，ＬＢ２，ＬＣ２を加算して、加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣを求める。加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣが一定値以上である場合に、それら加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣを求めた画素範囲内の信号を、フィルムの欠陥部分の信号として特定する。 （もっと読む）

【課題】検査準備等の工数を極力減らして、検査の有効性を簡単かつ容易に判断することのできる欠陥検査方法を提供する。
【手段】内部欠陥５が表面温度の差として顕著に表れているのは、被検査体１に対して与えられる熱３の熱量が熱７の熱量よりも大きいため、被検査体１の表面温度が大きく上昇し、これによって生じた熱流が内部欠陥５において反射することによって、被検査体１の表面２の温度を上昇させているためである。表面温度の温度上昇率と、健全部と欠陥部の間に生じる表面温度の差に着目し、これらの関係を定量化することにより、被検査体の内部における欠陥を検出することのできる有効範囲を決定し、当該有効範囲において検査結果の信頼性を保証する。 （もっと読む）

【課題】薄膜コート未塗工部を膜厚がばらついたときにも正確に識別可能な検査を行えるようにする。
【解決手段】ロール状原反から連続シートを巻き出しながら、前記連続シートに薄膜コートを塗工してロール状シートとして巻き取り、ロール状シート加工品を生産する加工工程で、前記ロール状シート加工品の全面に対して薄膜コート未塗工部を検査する装置であって、
前記連続シートの薄膜コート面側方斜め上方から照明光を照射する照明光照射手段（３）と、
前記連続シートの薄膜コート面からの正反射光により前記連続シートの薄膜コート面を撮像する撮像手段（２）と、
前記撮像手段で得られた画像データに対して画像処理を行い、薄膜コート未塗工部を検出する画像処理手段（６）とを備えることを特徴とする薄膜コート未塗工部検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が積層構造であり、表面が透過性の有る光沢面であっても、表面の凹凸欠陥を検出することが可能な表面欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】照明部１から明暗が交互に存在する線状の光を検査対象物４に照射しその検査対象物４からの反射光をラインカメラ６により撮影して第１の原画像を得る。画像処理部８は、予め、表面に凹凸欠陥が存在しない基準物に照明部１からの光を照射しその基準物からの反射光を撮影して得た第２の原画像を記憶しており、これらの第１と第２の原画像を基に、検査対象物４の表面に存在する凹凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】画像処理装置側での画像補正を不要又は可及的に減少させ、検査精度を向上させるとともに検査時間を短縮できるようにする。
【解決手段】独立して光量調整可能な複数の光照射部１１を有し、所定の対象領域Ａに向かって光を照射する光照射装置１と、前記対象領域Ａをレンズを介して撮像し、撮像した画像である対象領域画像を出力する撮像装置２と、前記撮像装置２が出力した対象領域画像における各部の明るさが所定の目標値に近づくように、前記光照射部１１の光量をそれぞれ制御する光量制御部３とを備えた光量調整システムを設けた。 （もっと読む）

【課題】金属製の円筒形容器のような一端が開口し他端が凹凸ある底板で閉塞された円筒管の内面検査を好適に行える検査光照射装置を製造するために好適なＬＥＤ搭載用台座を提供する。
【解決手段】
ＬＥＤとこれを支持する基板との間に介在し、ＬＥＤのリード線を挿通させる挿通孔を有した柱状をなすものであって、少なくともいずれかの端面を、前記挿通孔の形成位置と相対的に一定の関係を保つように、軸線に対して傾斜させているようにした。 （もっと読む）

【課題】撮像条件、照明条件、周期性パターンの設計条件などの影響をできる限り排除した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】周期性パターンを有する被検査体のスジ状ムラを検出するための欠陥検査方法であって、被検査体に光源からの照射で生じる回折光の強度分布の取得を複数の照明角度で行い、各照明角度における回折光の強度分布を検査画像として取得された被検査体への照明角度が異なる複数枚の検査画像に対し、照明角度の異なる複数の検査画像を比較し、被検査体への照射角度に応じて位置が変化するスジ状ムラと変化しないスジ状ムラとを抽出し、変化するスジ状ムラを検査の際に欠陥としない擬似欠陥とし、変化しないスジ状ムラを検査の際に欠陥として選別されたスジ状ムラに対し、それぞれの最大輝度とパターンピッチ正規化面積に基づいて欠陥規模の評価を行う欠陥検査方法を提供する。 （もっと読む）

【目的】回転位相板及び四分割ミラーを用いずにインコヒーレント化する照明装置を搭載したパターン欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン欠陥検査装置１００は、基本波を発光する光源１４０と、基本波を、基本波の偏向状態を維持した第１と第２の分波に分岐し、第１の分波と第２の分波とを同一光路長で合成する光学系１４２と、第１の分波の光路上に配置され、第１の分波の偏向面と第２の分波の偏向面とが直交するように第１の分波を偏向するλ／２波長板３０と、光学系１４２により合成された合成波をパターンが形成された被検査対象に照射する光学系１４４と、被検査対象を載置するＸＹθテーブル１０２と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、回転位相板及び四分割ミラーを用いずにインコヒーレント化された照明光を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】検査箇所の裏側に異なる物質が配置れた検査対象物であっても、内部に生じた割れ等を外観から検査することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】注射器本体１１にピストン１２が組み付けられた注射器２をステージ５１のセット位置５２にセットし、紫外線照射装置５３の紫外線発光ダイオード６１からの紫外線６２を、紫外線発光成分を含有したピストン１２に照射して発光させる。これにより、ピストン１２からの光でフランジ部２１を内側２２から照らし、フランジ部１２検査用のバックライトとして利用する。フランジ部１２の画像をカメラ７１で取得し、取得画像を画像処理装置８１で画像処理してフランジ部２１の内部の状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】リフロー後のハンダの三次元形状を正確に測定することは難しい。
【解決手段】走査ヘッド１６は、基板１の検査面に投光する落射照明源と、基板１からの反射光を検知するラインセンサ３４を有し、このラインセンサ３４の走査により被検査体の検査面全体の画像を取得する。画像メモリ４４は、走査ヘッド１６により取得された基板１の検査面全体の画像を検査画像として格納する。ハンダ情報記憶部４５は、検査面上のハンダの撮像画像の明度とハンダ面の傾斜角度の相関関係を示す相関マップ６４を記憶する。傾斜角度算出部６１は、相関マップ６４を参照することにより、画像メモリ４４に格納された検査画像４１のハンダ撮像領域の明度から検査面上のハンダ面の傾斜角度を算出する。 （もっと読む）