【課題】ワーク表面全体にムラなく光を照射して精度の高い撮像を行うことが可能な検査システムを提供する。
【解決手段】撮像素子が面状に敷設されたエリアセンサを有する撮像装置と、前記撮像装置が撮像する領域に光を照射する発光装置と、前記撮像装置が前記検査対象の流れ方向に直交する水平方向に往復移動可能であるように、前記撮像装置を支持するカメラ移動機構と、前記発光装置が前記検査対象の流れ方向に直交する水平方向に往復移動可能であるように、前記発光装置を支持する照明移動機構と、前記撮像装置と前記発光装置とが同期して移動可能であるように、前記カメラ移動機構と前記照明移動機構とを制御する移動制御部と、前記撮像装置の撮像タイミングと前記発光装置の発光タイミングとが同期するように、前記撮像装置と前記発光装置とを制御する撮像制御部と、を備えているようにした。 （もっと読む）

【課題】均一な照明をすることができるリング照明装置の提供。
【解決手段】リング照明装置１は、対物レンズ１０の光軸Ａの周囲にリング状に配列されるとともに、互いに異なる３種類の色光を射出する複数のＬＥＤ２と、各色光を合成するプリズム３と、プリズム３にて合成された光を交点Ｐに集光する反射鏡４とを備える。各ＬＥＤ２のうち、同一の種類の色光を射出するＬＥＤ群２Ｒ，２Ｇ，２Ｂは、光軸Ａと略直交する同一の平面内に光軸Ａの周囲に沿って所定の間隔で円環状に配列されている。プリズム３、及び反射鏡４は、光軸Ａの周囲に沿って円環状に形成されている。これによれば、反射鏡４は、ＬＥＤ群２Ｒ，２Ｇ，２Ｂから射出され、プリズム３にて合成された光を光軸Ａに向かう放射状に集光することができる。したがって、リング照明装置１は、均一な照明をすることができる。 （もっと読む）

【課題】光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことを可能とすると共に、高い検査精度を確保しながら検査処理能力を向上させることのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１０は、透明テーブルＴと、素体供給ユニットＡ１０と、外・内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０，Ｂ１１０と、外・内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０，Ｃ１１０と、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０と、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０と、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０と、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０と、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０と、外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０と、外・内周側良品回収ユニットＪ１０，Ｊ１１０と、外・内周側不良品回収ユニットＫ１０，Ｋ１１０と、制御部１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】構造を肥大化させることなく、良好な光伝達効率または光量ムラ軽減が可能な光伝達素子を提供する。
【解決手段】基端面を光導入面９ａ、先端面を光導出面９ｂ、側周面９ｃを内向きの反射面とし、前記光導入面９ａから内部に導入した光を前記光導出面９ｂから射出する光伝達素子９であって、前後の素材とは屈折率が異なる異屈折率層９３を、軸線Ｃ１を横切るように設け、その異屈折率層９３に接する互いに対向する端面を非平行に構成した。 （もっと読む）

【課題】検査対象上に形成される膜厚が変動した場合でも検査光の光量を適切に設定可能な光量設定方法、検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】光量設定方法は、検査対象に対して、波長の異なる複数の光を順次照射し、各波長の光に対する膜層での反射特性値を測定する反射特性値測定工程と、膜厚算出係数を用い、反射特性値測定工程により測定される反射特性値に対する膜厚推測値を算出する膜厚演算工程と、膜厚推測値に対する光量値を設定する光量設定工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】物体表面の検査面において光沢度の差を明瞭に検出できる物体表面検査装置を提供する。
【解決手段】物体表面検査装置は、検査対象物５０の検査面５１の法線方向Ｌ１と斜めに交差する方向からライン状の検査光を検査面５１に照射する照明装置２と、ライン状に配置された受光素子を具備し受光素子の受光光軸Ｌ３と検査面５１の法線方向との為す角度δ２が照明装置２の投光光軸Ｌ２と検査面５１の法線方向Ｌ１の為す角度δ１と同じ角度になるように配置されて検査面５１を撮像する撮像装置３と、撮像装置３が撮像した画像を解析することによって検査面の検査を行う画像処理装置１とを備え、照明装置２及び撮像装置３は、ライン状の検査光の延びる方向およびライン状の視野Ａの延びる方向Ｌ４が、搬送装置４による検査対象物５０の搬送方向Ｌ５に対して、それぞれ同じ角度θ１，θ２で斜めに交差するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの欠陥検査技術において、異物混入に起因する欠陥を精度高く検出する技術を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査装置１は、表偏光板１０、検査対象の液晶パネル２０、裏偏光板３０およびバックライト４０を、表偏光板１０側から撮像して検査用画像６０を取得し、検査用画像６０および欠陥を精度よく検出するための視角特性情報を用いて液晶パネル２０の検査を行う。上記視角特性情報は、検査装置１が、表偏光板１０、標準として用いる液晶パネル２０’、裏偏光板３０およびバックライト４０を、表偏光板１０側から撮像して第１画像を取得するとともに、表偏光板１０およびバックライト４０を表偏光板１０側から撮像して第２画像を取得し、第１画像および第２画像に基づいて生成したものである。 （もっと読む）

【課題】 固形製剤の印字検査を正確に行うことができる固形製剤の印字検査方法を提供する。
【解決手段】 固形製剤の印字を検査する方法であって、固形製剤に照射する照明手段の設定発光量を取得する発光設定ステップを備え、前記照明手段は、発光波長が異なる複数の単色光源を備え、前記各単色光源は発光量を個別に設定可能とされており、前記発光設定ステップは、前記各単色光源の発光量を仮決めした後、画像データの印字色と背景色とのコントラストが最大となるように、発光量を個別に調整して前記設定発光量を決定する。 （もっと読む）

【課題】応力発光体の発光現象に基づいて、当該応力発光のひずみパターンを精度よく推定することができる応力発光解析装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る応力発光解析装置１００は、応力発光体の発光パターンを特定するパラメータ、および、応力発光体を賦活状態に遷移させる賦活光の照射パターンを特定するパラメータおよび賦活光の照射終了時刻から応力発光の検知時刻までの経過時間を入力情報とし、応力発光体のひずみパターンを出力情報する、学習により予め最適化されたニューラルネットワークを用いた算出部１４０を備えている。 （もっと読む）

【課題】現在の手動検査プロセスを置き換える自動化検査システムおよび方法を提供すること。
【解決手段】自動化欠陥検査システム（１０）が発明され、これはパターン化されたウェハ、全ウェハ、破損ウェハ、部分ウェハ、ワッフルパック、ＭＣＭなどを検査するために使用される。この検査システムは、特に、スクラッチ、ボイド、腐食およびブリッジング、などの金属化欠陥、ならびに拡散欠陥、被覆保護層欠陥、書きこみ欠陥、ガラス絶縁欠陥、切込みからのチップおよびクラック、半田隆起欠陥、ボンドパッド領域欠陥、などの欠陥のための第二の光学的ウェハ検査のために意図され、そして設計される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、検査対象物の外観面の状態を表わした画像を生成することができるようにする。
【解決手段】駆動部１２によって、回転対称形状の金属部材である検査対象物を回転させる。ライン照明１４によって線状スリット光を照射して、反射光をエリアカメラ１８によって撮像する。画像処理部３２によって、検査対象物の所定の回転量毎に撮像された複数の撮像画像の各々から、線状スリット光の反射光を表わす部分の周辺の所定領域を切り出して、切り出された所定領域の画像データを並べて合成して、検査対象物の外観面の状態を表わす外観面画像を生成する。欠陥検出部３４によって、外観面画像から、輝度値が所定値以上となる部分を欠陥候補として検出する。 （もっと読む）

【課題】 装置全体をコンパクトに保持しながら、複数の線状光源のＬＥＤからの光を効率良く集光することができるＬＥＤ照明装置を提供する。
【解決手段】 複数のＬＥＤ１１を線状に配置して線状光源４’となし、この線状光源４’の複数個を所定の間隔を置いて線状方向に配置して構成した面光源４と、面光源４の前方に配置され、各線状光源４’からの光を照射面２４に集光させる集光レンズ３と、を備える。集光レンズ３は、その表面に複数の線状光源４’のそれぞれに対応してシリンドリカル状のレンズ部２２が複数列並設されている。複数の線状光源４’と直交する断面において、複数列のレンズ部２２は、各列のレンズ部２２から射出される光とその光軸とのなす画角が、その中央列から左右外方列に行くに従って順次大きくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】対象物の形状によらず、ライン照明とラインセンサの構成の光学的測定装置を用いて高速かつ高精度に、測定対象物のエッジ周辺部付近まで測定する方法および装置を提供する。
【解決手段】支持部材により支持された測定対象物の表面に、ライン照明光を照射し、測定対象物の表面からの散乱光あるいは反射光あるいは透過光を結像光学系を介して受光部に結像させて、測定対象物の状態を測定する場合、ライン照明光が測定対象物のエッジ周辺部にあたらないようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面を照明するための装置、ならびに物体の視覚的特性を特定するための装置および方法を提供する。
【解決手段】一つの保持装置に設けられている少なくとも二つの放射光源を有する少なくとも一つの放射光装置と、少なくとも一つの絞り装置と、光路において前記絞り装置の手前に設けられており、前記絞り装置を通って進んでゆく放射光を均一にするために用いられている少なくとも一つの散乱装置とを備え、少なくとも一つの放射光源と前記絞り装置との間の光路中に、放射された光を前記絞り装置の単独のスリットに偏向する少なくとも一つの光偏向装置が設けられ、それによって前記放射光源から放射可能とされた放射光が前記絞り装置内の単独のスリットに向けられるように構成されている、測定面を照明するための照明装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】照明装置、検査システム、および照明方法において、光学部材の光散乱系欠陥や光吸収系欠陥等を良好に観察することができるようにする。
【解決手段】検査システム１００は、光透過性の被検レンズ１を、被検レンズ１を保持する保持台と、被検レンズ１上の被検査領域上の各点を小さい開口数で透過照明する散乱光放射領域である面光源６ａと、保持台に保持された被検レンズ１と面光源６ａとの間の相対位置を少なくとも光軸Ｐに沿う方向に調整する相対移動機構とを備え、面光源６ａの中心Ｏを、被検レンズ１の前側焦点位置に略一致させて、被検レンズ１の被検査領域の全域を透過照明する。 （もっと読む）

【課題】光学的方法を使用して長期間安定した検査を行うことができる長寿命光源を有する検査装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】長尺な検査対象Ｓの表面検査に使用される長寿命光源を有する検査装置であって、検査対象Ｓに光を照射する光源１１と、光源１１の作動を制御する制御部３０とを備えた投光手段１０と、投光手段１０から検査対象Ｓに照射された光の反射光を受光する受光手段２０とを備えており、投光手段１０は、光源１１が、検査対象Ｓ上の同一の検査位置ＳＡに光を照射する複数のＬＥＤセットＬを備えており、制御部３０は、複数のＬＥＤセットＬのうち、検査対象Ｓに対して光を照射するＬＥＤセットＬを切り換える切換手段３２を備えており、制御部３０は、検査位置ＳＡで反射され受光手段２０に入光する光量が所定の量となるように、各ＬＥＤセットＬから検査対象Ｓ上に照射する光の光量を調整する。 （もっと読む）

【課題】 ＬＥＤ照射装置全体の放熱効果が大きく、ＬＥＤの所定の寿命期間照射効率を維持することができ、また安定した照射光を維持することができ、さらに安全で且つ安価に実施することができるＬＥＤ照射装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 箱形のＬＥＤ照射装置本体の長手方向の中間部と、上端部に波形整形フィルタを配置し、さらにセンサー収納室と、ＬＥＤ照射ユニット収納室と、制御機器収納室を有して構成してある。
そしてＬＥＤ照射装置本体の一端に送風ファンを配置し他端に排気ファンを配置し、ＬＥＤ照射ユニット収納室と、センサー収納室と、制御機器収納室の各室に各々冷却風を送風するように構成してある。
さらに各室における排気容量は送風容量より大きく設定して構成してある。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に光を照射する場合に、実装基板に多くのＬＥＤを取り付けて、すべてのＬＥＤからの光を検査ラインに向けられるようにする。
【解決手段】プリント基板４などの検査対象物に光を照射し、検査ライン５からの反射光をラインセンサ３で受光する検査装置１の照明装置２において、検査ライン５に沿った方向に第一列ＬＥＤ２１と第二列ＬＥＤ群２２を取り付けた一の実装基板２６と、この一の実装基板２６を取り付けるための平坦部２８を有する円弧状のブラケット２７とを備え、各実装基板２６における各列のＬＥＤ２３の光軸を検査ライン５に向けるようにする。また、第一列ＬＥＤ群２１と第二列ＬＥＤ群２２のＬＥＤ２３の光軸を、さらにそれぞれの列方向に沿ってそれぞれ異なる角度に設定する。 （もっと読む）

【課題】撮像対象物の表面欠陥検査とピンホール検査を１つの検査ユニットで実現することができる照明装置と検査装置を提供する。
【解決手段】撮像対象物３を載置し得る表面を有する所定長さの透明な円筒ローラー２又は円柱ローラー８と、該円筒ローラー２又は円柱ローラー８の撮像対象物３を載置する側とは直径方向反対側において該円筒ローラー２又は円柱ローラー８に近接配置された光源装置４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】省スペース性および運用作業性に優れた検査装置付き折畳機の提供。
【解決手段】シート状物品を搬送する複数のコンベアからなるコンベア機構、および、コンベア機構により搬送されるシート状物品の折り手段を有する折畳機構が配置された機枠体と、撮像部、照明部および表示画面を有する操作部を含んで構成される検査装置と、表示画面および制御盤を有する制御部と、を備え、機枠体の一方の側面に検査装置の操作部を一体的に配置し、機枠体の他方の側面に制御部を一体的に配置し、かつ、操作部の表示画面および制御部の表示画面を機枠体の側面と隣接する同一面に配置したことを特徴とする検査装置付き折畳機。 （もっと読む）