【課題】小さな直径の孔であっても深い孔であっても検査が可能な内面検査装置を提供する。
【解決手段】円柱体１１基端を平面状に研磨して平面部２１を形成し、先端を円錐状に刳り貫いて研磨して円錐部２２を設ける。照明１２を円形リング状に形成し、円柱体１１の平面部２１へ向けて照明光４１を照射する。照明光４１を、平面部２１から円柱体１１内部へ入力し、周面５１で反射しながら先端側へ導く。そして、円錐部２２の斜面２３で反射して円柱体１１の外側へ出力し、検査対象孔３の内面４を照明する。照明光４１で照らされた内面４は円錐部２２の斜面２３に映り、この像は円柱体１１の平面部２１及び照明１２の中央開口部３１を介してＣＣＤカメラ１３で撮像される。 （もっと読む）

【課題】ロールミルの洗浄において、洗浄のエンドポイントの判断やロールの末期の判断を、人為誤差をなくし正確に判断できるようにしたロールミルのロール表面検査装置を提供する
【解決手段】ロール１の表面を光源２で照射し、デジタルカメラ３で撮影する。該カメラからの画像を画像処理装置４に送り、ロール表面の汚れ、粗さ、キズ等を画像処理により判断する。この画像処理においては、処理材料の色相、彩度、明度、透明度のに応じて色相分布像、鏡面反射分布像、明度分布像等をチェックする。ロール表面と処理材料の色相が類似する場合はロールをカラーフィルター等で着色して撮影する。ロール末期の判断は、予めデータベース化した既知のロール末期の状況と撮影して得られた画像をチェックする。 （もっと読む）

【課題】構成部品の表面欠陥を検出する方法の改良を行う。
【解決手段】構成部品５の表面に、光源４，４’からの光を側方から照射する。構成部品５の表面から反射した光をセンサで検出する。この方法の測定感度を高めるため、構成部品５の表面の後方部分１９，１９’だけに光源４，４’からの光を照射するか、構成部品５の表面の後方部分１９，１９’から反射した光をセンサで検出および／または評価装置で評価するか、またはその両方を行う。 （もっと読む）

【課題】ハイブリッドネマチック配向液晶フィルムを含む光学フィルムの欠陥の検査を的確に行うことができる光学フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】液晶をハイブリッドネマチック配向させた第１液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、前記光学フィルムに対し、光源から第１偏光板を通して光を照射し、前記光学フィルムに対して前記光源と反対側に、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第２液晶フィルムと第２偏光板とからなる欠陥検査用素子を、前記第２液晶フィルム側が前記光学フィルム側に隣接するように配置し、且つ前記欠陥検査用素子を、前記光学フィルムに対し傾斜させて、前記光学フィルムを検査する。 （もっと読む）

【課題】
熱可塑性樹脂フィルム製造中に発生するフィッシュアイ欠点を検出し、異物起因、原料カス、ゲル起因を確実に判別し、種類ごとに個数管理を行うフィッシュアイ検出判定方法を提供する。
【解決手段】
熱可塑性樹脂フィルムに見られるフィシュアイの判定方法であって、入射光として光ファイバをライン状に配列したファイバ照明を用い、該ファイバ照明を熱可塑性樹脂フィルムの一方の面側から照射し、その反対面側にカメラを配置して、入射光をカメラ方向に対して２０°から４０°の範囲で傾け、カメラ視野をファイバ照明端部にして、熱可塑性樹脂フィルムを透過した透過光によって撮像し、撮像画像を画像処理して、フィッシュアイ部分の明と暗の位置と面積を分析することによって、異物起因、原料カス、ゲル起因を確実に判別し、種類ごとに個数管理を行う。 （もっと読む）

【課題】
光学的手法を用いて、被検査体面の長手方向に生じる微小凹凸状欠点を精度良く検出することを可能とする検査装置を提供すること。
【解決手段】
被検査体である連続走行しているシート状物の一面に高指向性の光照射手段、他面に受光手段を、光照射手段からの照射軸と受光手段の受光軸が被検査体で一致するように配設し、受光手段の開口角を光照射手段からの照射軸と受光手段の受光軸との角度θの２倍より小さくすることにより、受光手段で受光した透過光に基づいて、被検査体表面に存在する微小凹凸欠点を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】外観検査において感度を高く設定すると虚報も多く検出してしまうため、高感度で検査することができないという問題があった。そのため、全体の欠陥捕捉率を高く維持しながら虚報を抑制することにより実質感度を向上する技術が必要であった。
【解決手段】
検出欠陥の画像をもとに画像特徴量を算出し、検出欠陥の位置座標をもとに座標特徴量を算出し、画像特徴量と座標特徴量のいずれかに対するしきい値処理からなる決定木に従って虚報判定を行う構成とする
【効果】上記画像特徴量と座標特徴量を利用し、決定木に従って虚報判定を行うことにより、実欠陥と虚報の識別を精度よく行うことができるため、虚報を抑制しつつ高感度に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】疵の検査対象である薄鋼板等の帯状体のエッジの位置を精度良く特定して帯状体表面の疵を適切に検出する疵検査装置及び疵検査方法を提供すること。
【解決手段】移動する帯状体１を幅方向に横切る照射領域４００に帯状光を照射し帯状体１の表面の疵を検査する疵検査装置が提供される。この疵検査装置１００は、帯状体の移動方向Ｖに対して帯状体の幅方向の一側に所定の第１角度θ１だけ傾いた第１方向３１１に出射される第１帯状光と、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の他側に所定の第２角度θ２だけ傾いた第２方向３２１に出射される第２帯状光とを、照射領域に照射する照明手段１１０と、照射領域における第１及び第２帯状光の反射光を撮像して照射領域の画像を出力する撮像手段１２０と、撮像手段により撮像した反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体１の幅方向の両エッジの位置を特定する画像処理手段１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】透明膜のムラ、傷、汚れ、ゴミ等の欠陥を簡単、かつ精度よく検査する。
【解決手段】保持枠２１に生化学センサ２を固定する。透明膜５のムラは、拡散光源ユニット２８の光源３８を点灯させ、乳白色板３９、拡散板４０、カラーフィルタ４１により拡散された拡散光Ｓ１を透明膜５の全域に照射し、金属膜４で反射された光の濃淡に基づいて検査する。透明膜５の傷等は、線状光源ユニット４７の光源３８を点灯させ、反射板５４、集光レンズ５５で集光され、遮光カバー５６でライン状にされた線状光Ｓ２を透明膜５に照射し、矢印Ｘ方向に移動させ、金属膜４の反射状態に基づいて検査する。 （もっと読む）

【課題】透明基板を検査する方法において、十分なスピードを提供し、高度に仕上げられた表面を必要とせず、薄いガラスシートに限定されず、混入物の場所を特定の位置に識別し、極めて小さい混入物を検出するに十分な感度を示す、ガラス基板基材のバルクまたは内体積の正確な検査を可能にする。
【解決手段】屈折率整合光カプラと透明基板の表面の間に屈折率整合液を与える。透明基板の表面に沿う２つないしさらに多くの位置において、（ｉ）光カプラを通して透明基板にリボン光を導き入れる工程によって透明基板内の検査体積を光照射する工程、および （ii）検査体積と光学的に共役な検出器において検査体積からの散乱光を検出する工程、を反復する。 （もっと読む）

【課題】被検査物（ワーク）の状態にかかわらず、容易に且つ精度良く被検査物の検査を行うことができるワーク検査方法を提供すること。
【解決手段】１又は複数のワーク３に光を照射してカメラ９で撮影し、その撮影した画像に基づいてワーク３の検査を行うワーク検査方法において、第１工程では、透光性を有するトレイ５を用い、そのトレイ５に設けられた１又は複数の収納凹部２５に、ワーク３をそれぞれ収納する。第２工程では、ワーク３を収納したトレイ５の下側から光を照射し、カメラ９によりトレイの上方からワーク３を撮影する。第３工程では、ワーク３を収納したトレイ５の下側及び上側から光を照射し、カメラ９によりトレイ５の上方からワーク３を撮影する。 （もっと読む）

【課題】判定方法や表示方法などが変更された場合であっても、大きくプログラムを作り直す必要がなく、また、複数のプロセッサーを有する検査装置で検査する場合であっても大きくプログラムを作り直す必要のないシステムを提供する。
【解決手段】プリント基板３の形成状態を検査する外観検査システム１において、まず、基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを格納しておき、コア処理手段２１は、この基準画像データの読み出しを行う。そして、プリント基板３の形成状態を判定する複数の判定手段２２から基準画像データの読み出し要求があると、判定手段２２ａ、２２ｂは、独自の判定プログラムに基づいて対応基準データを生成し、その対応基準データと被検査画像を用いて形成状態の良否の判定を行う。そして、その判定結果を、コア処理手段２１に送信し、判定結果記憶手段１７ｂに格納する。 （もっと読む）

【課題】光の照射角度の広い範囲をカバーし、かつより明るいＬＥＤ照明装置を提供すること。
【解決手段】ＬＥＤ照明装置は全体がドーナツ状であり、中心軸に垂直な一方の面およびこの一方の面と続く内面下部が開放されているケース１０、ケースの内部に装着され、ケースの中心軸方向に光を照射する複数のＬＥＤ素子が装着されたリング状の印刷配線基板１３、ケースの開放面に嵌合してケースの中心軸と平行に移動可能であり、複数のＬＥＤ素子とケースの中心軸の間に配置され、ＬＥＤ素子側の断面が円弧状である略ドーナツ状のレンズ１１とを備える。レンズを移動させることにより、光の照射角度の広い範囲をカバーし、かつレンズの集光機能により明るい。 （もっと読む）

【課題】パターン検査において、膜厚の違いやパターンの太さの違いなどから生じる比較画像間の明るさむらを低減し、ノイズや検出する必要のない欠陥に埋没した、ユーザが所望する欠陥を高感度、かつ高速に検出するパターン検査技術を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成されたパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、並列に動作する複数のＣＰＵを実装した処理システムを用いて構成される画像比較処理部１８を備えて、膜厚の違いやパターンの太さの違いなどから生じる比較画像間の明るさむらの影響を低減し、高感度なパターン検査をパラメータ設定なしで行えるようにした。また、比較画像間で各画素の特徴量を算出し、複数の特徴量を比較することにより、輝度値からでは不可能は欠陥とノイズの判別を高精度に行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】複数のピグテールが写る可能性が有る場合でも、ピグテールがばらけているか否かを正確に判断することが可能な部品の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、第２のピグテール取り付け部１２７−２が第１のピグテール取り付け部１２７−１の背後に隠れるように配置して撮影した第１の検査画像と、各ピグテール取り付け部を逆に配置して撮影した第２の検査画像を取得する撮像部５と、第１及び第２の検査画像から二つのピグテール（１２３−１、１２３−２）の何れかに相当するピグテール領域を抽出するピグテール領域抽出部６４と、第１及び第２の検査画像について、最も面積の大きいピグテール領域をそれぞれ第１及び第２の着目ピグテール領域として選択するピグテール領域選択部６６と、第１又は第２の着目ピグテール領域に囲まれた非ピグテール領域が存在する場合、部品は不良品であると判定する良否判定部６７とを有する。 （もっと読む）

【課題】成形品の下面の欠陥を精度高く検出することができ、しかも成形品の反りなどの全体的な変形についても検出することができる成形品の形状欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】成形品１を送りつつ、成形品１の送り方向の前後方向から成形品１の下面に対して斜め方向に光を放射して、成形品１の下面の送り方向と垂直な幅方向に直線状のライン２として光を照射する。そして成形品１の下面に照射される光のライン１をカメラ３で撮像することによって、光のライン１の直線状態を見て、成形品１の下面の欠陥を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】試料上の微小欠陥を信号にスペックルノイズを発生すること無く、高感度に検出できるパターン欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】ウエハ１面のほぼ同一領域について、２つの検出器７０２を用いて、タイミングを異ならして表面を検出し、２つの検出器７０２からの出力信号を加算し、平均することにより、ノイズを除去するように構成した。このように構成すれば、ウエハ１上の同一領域に多数の照明光を同時に照射することはないので、多数の照明光の干渉によるノイズが発生させることなく、他の原因によるノイズを除去でき、試料上の微小欠陥を信号にスペックルノイズを発生すること無く、高感度に検出できるパターン欠陥検査装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】使用可能なすべての情報を効果的に使用し、プロファイルスペースを構成する公称プロファイル及びそのバリエーションをユーザが設定するのを手助けする。
【解決手段】オブジェクトのイメージ42を取り込み、このイメージ上に、手動又は自動によって推定プロファイル20を重畳すること、を含む。推定プロファイルは数学的に定義され、かつ、上記イメージと一致するようにセグメント毎にハンドル30を調節40する。あるいは又はこれに加えて、ユーザは、既知のイメージのプロファイルをトレース（又は自由描写）し、その後、多項式、スプライン、又はベクトル等の数学関数の形状定義物を推定プロファイル上に描くことにより、未知のオブジェクトのプロファイルをその回折パターンから再構成する際に使用し得る、プロファイル及び当該プロファイルの一つ以上の可変例を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
レンズに汚れが付着した場合でも欠報を発生させることなく誤報を減らして、安定的に欠陥を検出する手法、及び装置を提供することである。
【解決手段】
フレーム間の欠陥候補位置フレーム座標比較手段に加えフレーム間の欠陥候補位置３Ｄ座標比較手段を有し、同一箇所を最低でも２回以上撮影して、欠陥候補については別のフレームで同一の３Ｄ座標を持つ欠陥候補が存在しない場合に該欠陥候補がレンズ汚れであると判定する欠陥マスク情報生成手段とレンズ汚れ警報生成手段を有する。 （もっと読む）

【課題】自動式光学検査（AOI）の為の改良されたシステムおよび方法、更に、２次元センサを採用する改良された画像化技術および装置を提供する。
【解決手段】非連続の照明を提供する光源と、検査すべき対象物の複数の少なくとも部分的に重なり合う二次元画像フレームを、あるフレーム速度で取得するように動作する二次元の光センサアレイと、前記二次元画像フレームを受信し、検査すべき前記対象物の表現を生成するために重なり合った部分を結合するように、前記表現の検査に基づいて検査すべき前記対象物上の欠陥の報告を提供するよう動作する欠陥分析器と、を備える検査システムであって、前記非連続の照明と、前記フレーム速度とが、概ね同期している、検査システム。 （もっと読む）