【課題】装置の設置面積の増大を抑えつつ、大型のフォトマスクの性能評価及び欠陥検査を良好に行うことができ、また、大型のフォトマスクに対する安全性やハンドリング性が確保されたフォトマスクの検査装置を提供する。
【解決手段】フォトマスク３を保持し、光源１からの所定波長の光束を照明光学系２を介して照射し、対物レンズ系４を介して、撮像手段５によりフォトマスク３の像を撮像する。照明光学系２、対物レンズ系４及び撮像手段５の光軸を一致させ、対物レンズ系４及び撮像手段５を光軸方向に互いに独立に移動操作して、フォトマスク３の像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】ロッドレンズアレイを構成するロッドレンズの端面の疵や汚れ付着といった不整要因の有無を高精度で簡単かつ迅速に検査する装置及び方法の提供。
【解決手段】ロッドレンズアレイ１を構成するロッドレンズの一方の端面に、当該端面の法線に対して、ロッドレンズの開口数の最大錐角の半角より大きな角度で検査光を照射する光源部２と、ロッドレンズの他方の端面から出射した光を検出する受光部３と、受光部３の検出した光強度が所定の閾値以上の場合に、そのロッドレンズアレイ１を不良と判定する判定部６を備える。 （もっと読む）

【課題】 物体表面の粗面として、入射光の波長より十分に大きい数十ミクロン程度の粗さを持ち、一定以上の面積を持つ粗面について、高精度に、迅速に検出することができる表面状態検査装置を得ること。
【解決手段】 光源と、
該光源からの光を偏向する偏向器と、
該偏向器で偏向された光を被検査面に導光する走査光学系と、
該偏向器で偏向された光で被検査面上を主走査方向に走査したとき、該被検査面から生ずる回折光の一部を検出する検出器と、を有し、
該検出器は、該回折光を検出する検出開口が主走査方向に平行となるように設置されており、
副走査断面内において、被検査面の表面粗さに基づいて発生する回折光の回折分布の相対変化に対応して該検出開口の該被検査面に対する検出角度が調整できるように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置において、複数の角度方向に出射される基板からの光を用いて、効率的に検査を行うことができるようにする。
【解決手段】基板２１を載置して照明領域Ｌの長手方向と直交する方向に相対移動させる移動ステージ１３と、照明領域Ｌに照明光を照射する第１照明部１０、第２照明部１１、第３照明部１２と、照明領域Ｌからの光を結像する結像光学系２５と、基板２１の像を取得する１次元撮像部２７と、各照明部からの照明光の入射角度を互いに異なる角度に設定する角度設定部とを備え、各照明部は、照明光として互いに異なる波長の光を照射し、１次元撮像部２７は、互いに異なる波長の光をそれぞれ選択するダイクロイックミラー３０、３１と、選択された波長の光をそれぞれ受光する第１受光部２０１、第２受光部２０２、第３受光部２０３とから構成される。 （もっと読む）

【課題】複数の検査対象部品の移動速度を遅くせずに一定速度で移動している状態で、高精度で良否の検出を行うことができる検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】移送手段13は複数の被検査品11を一定間隔で保持する支持部材12を載置する載置部16を備え、モータ15により駆動される。検査手段14は載置部16上に載置されて支持部材12と共に一定速度で移動する被検査品11を順次検査する。モータ15は、載置部16が支持部材搬入部17と対応する位置で停止した状態から移送手段13の駆動を開始して、支持部材12が検査手段14の検査領域に到達するまでに支持部材12が予め設定された所定速度に達するとともにその所定速度で検査領域を通過し、その後、支持部材12が支持部材取り出し部18と対応する状態で停止するように、制御装置20により制御される。検査手段14による検査時に不良品が存在した場合、制御装置20がその不良品を特定する。 （もっと読む）

【課題】撮像のための位置決め制御に要する時間を短縮して、効率良く撮像を行えるようにする。
【解決手段】Ｘ軸側のステージ部によるカメラの移動と、Ｙ軸側のステージ部による基板支持テーブルの移動とを同時に行う場合、いずれか一方のステージ部を最高速度Ｖ_ｍａｘで移動させて、その移動対象を先に目標位置に到達させる。この後は、移動対象が目標位置に到達した方のステージ部を停止し、他方のステージ部を、撮像適合速度Ｖ_ｏで等速移動させる。そして、このステージ部の移動対称が目標位置を通過するタイミングに合わせて撮像を行う。 （もっと読む）

【課題】検査ステーションで回転しているガラス容器を検査するための機械を提供する。
【解決手段】カメラが、ガラス容器の問題の領域を撮影する。光源を多数回ストロボ状に発光することによってその領域の連続的な照光が行われ、その領域がカメラによって全期間に亘って撮影される。 （もっと読む）

【課題】 ワークを搬送する各種の回転ディスとその駆動手段の安定姿勢が確保され、しかも、ワークの移送路に搬送異常が生じても素早く対応可能なように、ワークの全搬送状態を観察しながら検査することができるようにする。
【解決手段】 上記搬送ライン６に、搬送用回転ディスクＤ１，Ｄ２，Ｄ３が水平に配され、上記ワーク検査部２１に検査用回転ディスク２２が水平に配され、これらの回転ディスクＤ１，Ｄ２，Ｄ３，２２は、駆動軸Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ２２が上方に向けられた駆動手段Ｍｄ１，Ｍｄ２，ＭＤ３，Ｍ４と連結されている。 （もっと読む）

【課題】
金属パターンを有する基板の表面に施されためっきされていない非めっき部とめっきがされているめっき部の欠陥検査方法及び検査装置の提供である。
【解決手段】
めっきがされためっき部及びめっきされていない非めっき部で構成された金属パターンを有する基板を、一定速度で一方向へ移動する搬送し、５０と、金属基板を一定速度で一方向へ移動する搬送手段５０と同期を取り、かつ金属基板の表面に存在する圧延影響を軽減させるため仰角を持たせ金属基板表面を撮影し、金属基板の金属材料とめっき材料との反射強度差異が最も大なる波長域の光を利用し、かつ間接光で照射し、金属基板表面を撮影して得られた画像信号データを用いて、金属基板表面に存在する欠陥を判定する制御・画像処理による検査方法および検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 複数台のカメラを用いても装置が大型化せず、全てのカメラで同一の画像ずらし量を実現できる欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】 複数のエリアに分割された検査対象の各分割エリアを、レンズ系及び所定数の画素からなるエリアセンサを備える複数台のカメラで撮像した画像情報を処理し、計算された特徴量に基づいて前記エリアの欠陥を識別する欠陥検査装置において、
前記複数台のカメラを固定配置するカメラボードと、
このカメラボードを、Ｘ，Ｙ方向の所定範囲で周期的に移動操作するアクチュエータ手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査体の表面が多数の面で形成されている場合、各面の表面形状に関係なく、各面に発生した欠陥、特に、面と面とで形成される角部に発生した欠陥を正確に検出できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】複数の面で表面が形成された被検査体（歯車2）に、光を照射する照明手段4と、被検査体2の表面のうち平面ではない面の一部が表面形状に沿った輪郭として現れて撮像される位置で、被検査体2を撮像する撮像手段51,52と、撮像手段51,52で撮像した撮像画像を画像処理して、被検査体2の平面ではない面での欠陥を検出する画像処理手段7と、照明手段4の発光部の近くに配置し、特定の振動方向の光波を通過させる第一偏光フィルタ61と、撮像手段51,52の受光部の近くに配置し、第一偏光フィルタ61と振動方向が同方向の光波を通過させる第二偏光フィルタ62とを備える。 （もっと読む）

【課題】容器群の各容器にされている所定の表示を検査するのに好適な表示検査装置を提供する。
【解決手段】ラベル１１が検査される容器群３は、横にされたまま載置部５に載せられる。載置部５を横向きの軸２５を中心に矢印Ａ方向に回転させることによって、容器群３を回転移動させながら読取位置Ｐを通過させる。ラインセンサカメラ１３は、読取位置Ｐを通過しているラベル１１を撮像することによって、ラベル１１をスキャンする。 （もっと読む）

【課題】基板などの被検体から必要な情報を素早く抽出して検査を速やかに実施できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、被検体の表面画像を一軸方向にスキャンするようにして取得するカメラ２５を有し、カメラ２５の出力は、制御部３の画像取り込み回路３１に受け渡すように構成されている。画像取り込み回路３１は、カメラ２５から取り込む画像データを撮像開始トリガと、キャプチャ開始画素位置とキャプチャ終了画素位置とを区切って取得することで、欠陥領域の画像のみを作成し、画像処理等を行う。 （もっと読む）

【課題】装置コストが増大することなく、検査対象の形態に応じた欠陥種別に迅速に分類可能な外観検査方法および外観検査装置の提供。
【解決手段】外観検査装置では、ウェハ２外観の撮像画像において所定方向Ｄに並んだ各画素の輝度を示す輝度プロファイルに基いて、欠け９１や異物９２などの欠陥種別に分類する。輝度プロファイルは、検査対象であるウェハ２外観を実際に撮像して得られる特性であり、欠陥の形態を明確に示すため、良品パターン等との比較による場合と比べて、欠陥分類の確実性が格段に増す。このため、ウェハ２の外観検査を最終的な欠陥分類に至るまで自動化でき、目視検査（レビュー）が不要となり、検査時間を大幅に短縮できる。また、三次元測定機などの高価な装置を用いずに済むので、装置コストが高騰しない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外乱光に曝された検査対象範囲を対象に自動で異物を検出する検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の検査装置（１４）は、物体を撮像する撮像手段（１４０）と、前記物体の一部分を表わす部分画像データごとに異物判定基準値を求め、該異物判定基準値に基づいて前記物体中の異物を前記部分画像データ単位で検出する画像データ処理手段（１４４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板を載置している載置台と撮像装置とが相対的に移動して基板の画像を取り込む際に、像の歪みがない高精度の画像を取り込んで、正確な検査を行なう。
【解決手段】駆動装置１２７の駆動によって移動する撮像ユニット１２０内の撮像装置１２２によって、載置台１１２上のウェハＷを撮像する。駆動装置１２７は第１の制御装置１３１からの駆動信号によって制御される。第１の制御装置１３１に対して出力される駆動信号は、第２の制御装置１３２に対しても出力され、当該駆動信号に基づいて、第２の制御装置１３２は撮像装置１２２を制御する。撮像装置１２２自体の移動と、撮像装置１２２の撮像が同期化される。 （もっと読む）

【課題】一次元撮像手段により一次元撮像手段と検査対象物の相対的な距離の変動を検出することで、高い精度で検査対象物の欠陥を検出する。
【解決手段】回転する検査対象物に対して、副走査方向の斜め方向に輝度が異ならせた縞の入ったパターン光を照射するライン光源と、照射されたパターン光の検査対象物から反射した光により、検査対象物に対して主走査方向で一次元の撮像を行うラインセンサと、撮像されたライン画像の輝度の位相の変化を検出する位相検出部と、位相の変化から検査対象物とラインセンサの相対的な距離を一定に保つためにラインセンサの位置を制御する撮像位置制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面に存在する欠陥の検出を、安定して高感度で行うことができるようにする。
【解決手段】半導体ウェーハの表面を観察して欠陥の長手方向を特定する長手方向特定工程と、長手方向特定工程で特定された欠陥の長手方向に沿って、光を走査することにより、半導体ウェーハ表面に存在する欠陥を検出する欠陥検出工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】撮像装置の画像信号を欠陥検出のために処理する場合には、その取り込む周期を帯状体の搬送速度に応じて設定することで、低速時において搬送方向の分解能を向上させるといった付加機能をもたせ、帯状体の表面欠陥検出装置の性能を１００％発揮させる帯状体表面の検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】搬送される帯状体の表面に対して光を照射し、前記帯状体の表面からの反射光を検出して画像信号に変換し、その画像信号を画像処理することにより前記帯状体の表面欠陥を検出する表面検査方法において、前記帯状体の搬送速度を検出し、その搬送速度に対応して、画像処理分解能を変更する。 （もっと読む）

【課題】従来の検査装置に比較的簡単な改良を加えるなどして、非円形容器の正確な検査を実現する。
【解決手段】容器の主要検査部を狙って、又は鏡を介して容器の主要検査部を狙って撮像手段を配置する。回転に伴って変化する容器の主要検査部と撮像手段との距離の変化量を検出する距離センサを設ける。移動手段により、撮像手段又は鏡を前記変化量に対応して容器に対して接近又は離隔する方向に移動させることで、撮像手段は常に容器の主要検査部に対してピントが合い、鮮明な画像を撮像することができ、正確な良否判定が可能となる。 （もっと読む）