【課題】有価証券等の印刷物用検査機械の改良に関する。
【解決手段】印刷済みシート（sheet)を供給する供給器１、第一、第二、第三シート検査ユニット、第一、第二移送シリンダを含み、各検査ユニットは、検査シリンダ、照明手段、カメラを含み、第一移送シリンダ１３、各検査シリンダ、ならびに第二移送シリンダ１７は、相互に直接接触した状態で設置され、各検査ユニット、各移送シリンダは、検査が完了したときにのみシートが各検査シリンダから取り出されるように配置され、第一移送シリンダ１３、各検査シリンダ、第二移送シリンダ１７は、シートの入出力位置間でシートの運搬長が所定シート長として最適になるようにジグザグ形態に配置され、かつ各検査シリンダ上のシートの運搬長は検査されるべきシートの長さよりも僅かに長い。 （もっと読む）

【課題】反射性表面を有する対象物をほぼ自動的に迅速に検査する方法および装置を提案する。
【解決手段】一方向（４６）に分配した多数の表面点（５４，５８，６２）を備える対象物（２６）の表面（２８）を光学的に検査するための装置は、明暗パターン（１６ａ，１６ｂ）を生成するパターン生成器（１２）と、それぞれ１つの表面部分（５２，５６，６０）のみを示す画像（ａ〜ｆ）を撮影するカメラ（３２）と、カメラに対して所定方向（４６）に対象物を移動させ、表面点を連続的に検出する加工物収容部（２０）と、パターン生成器、加工物収容部およびカメラを制御し、明暗パターンと共に表面点を撮影する制御・評価ユニット（３４）とを備える。関連した時系列で、パターン生成器は異なる明暗パターンを準備し、カメラは常に同じ表面点に向けられ、明暗パターンは同じ周期（２４）の強度分布（２２）を備え、配列の３つの明暗パターンは、異なる位相位置で配置された同じ強度分布を有する。 （もっと読む）

【課題】 １台のコントローラで、各画像処理を所定の処理手順と同期させて実行しつつ、撮像の取りこぼしを防ぐための撮像禁止期間をなくす。
【解決手段】 画像処理ユニットには、計測ユニットと撮像ユニットが含まれており、画像処理ユニットの処理手順を規定する画像処理プログラムに基づいて、処理手順に沿って各画像処理ユニットが順次実行される画像処理装置において、所定の撮像手段（カメラ３０ａ〜カメラ３０ｃのいずれか）から画像データが得られるときに成立する複数種類の撮像完了条件を記憶しており、撮像ユニットの処理内容として、画像データが所定の撮像手段から得られるものであるかを識別し、複数種類の撮像完了条件のうちいずれかが成立しているかを判定し、成立していると判定した撮像完了条件に対応付けられた計測ユニットの実行に用いる画像データに対して割り当て処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】被検体を撮影する際に自動的に焦点を合せ、得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】撮影して得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法において、撮像手段２の焦点を合せる自動焦点調節ステップと、被検体における欠陥の有無を判断する画像解析ステップとを具備し、自動焦点調節ステップは、被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を複数回変更して撮影し、得られた各画像から被検体の輪郭を抽出処理し、各輪郭抽出画像に対して離散フーリエ変換処理を用いることで周波数領域に変換し、周波数領域における輝度値の総和を算出し、輝度値の総和が最大となる被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を特定し、特定された被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離に調節する、とした。 （もっと読む）

【課題】検査対象の容器に隣接した容器のラベルからの反射光等の影響が少なく、破れと破れの周辺のラベル部分とのコントラストの低下を抑えることができる容器のラベル検査装置を提供する。
【解決手段】コンベヤ１０の一側に配置されるとともに、コンベヤ１０の搬送方向に沿って配置され、搬送される容器１に投光する照明ユニット３と、コンベヤ１０の搬送方向の前方側と後方側に離間して配置され、照明ユニット３から投光されて容器１を透過した透過光を撮像する２つのＣＣＤカメラ４Ａ，４Ｂと、照明ユニット３においてコンベヤ１０の搬送方向の前端側から所定の範囲までの照明とコンベヤ１０の搬送方向の後方側にあるＣＣＤカメラ４Ａとが対をなし、照明ユニット３においてコンベヤ１０の搬送方向の後端側から所定の範囲までの照明とコンベヤ１０の搬送方向の前方側にあるＣＣＤカメラ４Ｂとが対をなし、照明の照明幅は変更可能である。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置を小型化して、設置面積を小さくする。
【解決手段】基板１を搭載するステージ１０に、基板１の下面を支持するブロック１２を検査光の走査方向と直交する方向に所定の間隔で複数設けて、ブロック１２間に検査光の走査方向の溝を形成する。ステージ１０と、投光系及び受光系を有する光学系とを互いに逆方向に移動し、ステージ１０の移動と光学系の移動とを並行して行いながら、断面の長さＬがブロック１２の間隔より短い帯状の検査光を投光系からステージ１０に搭載された基板１のブロック１２で支持されていない部分へ検査光の走査方向に沿って斜めに照射して、検査光による基板１の走査を行う。 （もっと読む）

【課題】索状体の外観検査を精度よく行えるとともに、不良箇所を直ちに確認することができる索状体検査装置を提供する。
【解決手段】索状体の検査開始位置を検知する検査開始位置検知手段１０と、索状体の移動に伴って変化する該索状体の移動量を計測する移動量計測手段１１と、検知した検査開始位置と計測した移動量計測値とから索状体における検査位置を算出する検査位置算出手段１２と、索状体の移動量に同期して該索状体の表面を撮像する撮像手段５と、撮像した画像を前記検査位置と対応付けて記憶させる記憶手段１３と、順次記憶される画像を順次処理する画像処理手段１４と、処理された画像に基づき、索状体の外観の良否を判断する良否判断手段１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】成形機で製造されたガラス製品を、徐冷炉に入る前のホットエンドで傷、泡、異物などの欠陥を精度良く検査できるようにする。
【解決手段】成形機で成形され、搬送されているガラス製品を徐冷炉の手前で撮像する赤外線カメラと、その撮像した画像を処理する処理手段を有し、処理手段が、前記画像の輪郭の内側に検査領域を設定し、該検査領域内において所定の明るさ閾値から外れる画素数を求め、その画素数が所定の画素数閾値を超えた場合に不良品であると判定するようにすることで、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサカメラに対する印刷物の傾きが大きい場合でも印刷機から出力された印刷物を正確に且つ多くの処理時間を要することなく検査することのできる印刷物の検査方法を提供する。
【解決手段】印刷機１２から出力された印刷物１４をラインセンサカメラ１６により撮像して検査画像を取得し、取得した検査画像を基準画像と比較して印刷物１４を検査するに際して、ラインセンサカメラ１６に対して印刷物１４が傾いているときの複数の基準画像と傾いていないときの基準画像とを記憶装置２６に格納しておき、記憶装置２６に格納された各基準画像と検査画像とのパターンマッチングをマルチコアＣＰＵ２８により並列に行って検査画像と最も一致度の高い基準画像を選択し、選択した基準画像と検査画像とを比較して印刷物１４を検査する。 （もっと読む）

【解決手段】ＥＵＶパターン化用マスク、ブランクマスク、及び、ＥＵＶパターン化用マスクにより生成されるパターンウェーハの検査は、高い倍率と、像平面での広い視野とを必要とする。ＥＵＶ検査システムは、検査表面に向く光源と、検査表面から偏向された光を検出する検出器と、検査表面から検出器へ光を誘導する光学配置とを含む。特に、検出器は、複数のセンサモジュールを含み得る。加えて、光学配置は、長さが５メートル未満の光学経路内に少なくとも１００倍の倍率を与える複数の鏡を含み得る。一実施形態では、光学経路は、長さが約２〜３メートルである。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置において、顕微鏡ユニットの干渉を防ぎながら高精度な検査を行う。
【解決手段】顕微鏡ユニットを用いて基板を検査する基板検査装置において、顕微鏡ユニット５，７を基板Ｓの検査面に交差する方向に移動させる駆動機構を備え、基板Ｓは、基板ステージ２に載置される基板トレイ９に収納され、駆動機構は、顕微鏡ユニット５，７を、基板ステージ２又は基板トレイ９との干渉を避けるように、基板Ｓの検査時には基板Ｓに近接させ、基板Ｓの検査が終了した後には基板Ｓに近接する位置から上記検査面に交差する方向に退避させる構成とする。 （もっと読む）

【課題】ＴＤＩセンサ等のセンサのラインレート以上のスキャン速度で検査した場合、ＴＤＩセンサのラインレートとスキャン速度が非同期となり画像がボケてしまうため、ＴＤＩセンサのラインレート以上のスキャン速度では使えないという課題についての配慮がされていなかった。
【解決手段】ＴＤＩセンサのラインレートとステージスキャン速度を非同期で制御し、且つＴＤＩセンサの電荷蓄積による画像加算ずれの課題を解決するため、被検査物に細線照明を照射し、ＴＤＩセンサの任意の画素ラインのみに被検査物の散乱光を受光させる。また、ＴＤＩセンサのラインレートとステージスキャン速度の速度比によって、検出画素サイズの縦横比を制御する。 （もっと読む）

【解決手段】 容器１の底部１ｂには刻印２１が形成され、該刻印を撮影すると検査対象領域３２内にはコ字形の黒色部分ＢＡとして表示される。また底部１ｂに異物が存在した場合、この異物も黒色部分Ｂａとして表示される（Ａ−３）。
予め該黒色部分ＢＡの範囲に含まれるような形状を有する基準形状２３を登録するとともに、該基準形状で上記検査対象領域内をサーチし、基準形状の全体が含まれるような位置を検出して、この位置での基準形状２３が占めた領域２３ａを記録する（Ａ−４）。
上記（Ａ−４）の処理を検査対象領域のすべての範囲に対して行い、上記全ての領域２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄでの基準形状によって占められる範囲からマスク領域Ｍを設定する（Ａ−７）。
【効果】 マスクすべき領域に対して適切なマスク領域を設定することができる。 （もっと読む）

【課題】物体の少なくとも部分的に反射する表面を光学的に検査するための方法および装置において、検査時のパターンの精度を安価な方法で改善する。
【解決手段】物体（５０）の部分的反射表面（５２）を光学検査する方法では、空間的な第１周期（７０，７１）で空間的な第１強度分布（３４，３６，６８，９２，９４）を形成する多数の明るい領域および暗い領域（３０，３２）を有するパターン（２８）を準備し、第１強度分布が表面にあたるように物体をパターンに対して位置決めし、所定の変位距離（６９）だけ第１強度分布を表面に対して変位し、表面が、変位距離に沿って第１強度分布に対して異なる多数の位置をとるようにし、光強度を検出する画像センサ（４０）により多数の画像を撮影し、表面を第１強度分布と共に異なる位置で画像により示し、画像に関係して表面特性を決定する。画像の撮影時に第１強度分布の光強度を所定の特性曲線（８２，９０）によって変化させる。 （もっと読む）

【課題】自動的に、素早く、信頼性良く、高い精度で物体の表面を光学検査するための装置および方法を提案する。
【解決手段】物体（５６）の表面（５８）を光学検査するための装置（１０）は、空間的な第１周期を有する空間的な第１強度分布（３１）を形成する、多数の明るい領域および暗い領域（２９，３０）を有するパターン（２８）と、第１強度分布が表面にあたるように、表面を有する物体をパターンに対して位置決めする収容部（５４）と、表面（５８）に対して所定の変位距離だけ第１強度分布を変位し、表面が、変位距離に沿って第１強度分布に対して異なる多数の位置をとるようにする制御ユニット（２０）と、表面を第１強度分布と共に異なる位置で示す多数の画像を撮影する撮像ユニット（５０）と、画像に関係して表面特性を決定する評価ユニット（４６）とを有する。測定装置（４８）は、物体に対して第１強度分布の現在位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサを利用し、かつ被検体の表面欠陥を高精度に検出することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】被検体１２を搬送する搬送部１４と、搬送部１４にて搬送される被検体１２の表面に所定の繰り返し明暗パターンを照射する照射部１６と、被検体１２に照射された明暗パターンを被検体１２の幅方向に移動させる動力伝達機構１８と、被検体１２の明暗パターンが照射された部位を撮像するラインセンサ２０と、ラインセンサ２０にて撮像された信号に基づいて被検体１２の表面に欠陥が存在するか否かを判定する欠陥判定部５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】透明容器中に充填された液体中の異物を検査する異物検査方法において、異物を確実に検出することができ、透明容器自体の傷を異物画像からキャンセルできる新規な異物検査方法を提供する。
【解決手段】液体を充填した透明容器と、透明容器を回転自在に支持する載置台と、前記透明容器を照明する照明手段と、前記透明容器を撮像するカメラとを備えた異物検査装置を用いて透明容器中の液体中の異物を自動的に検出する異物検査方法において、載置台を任意の時間、任意の回転パターンの回転を与えて透明容器中の透光性液体を攪拌し、透明容器内壁に付着し、液体中に浮遊する異物を回転前後で異なる位置に移動するようにした後に前記カメラで撮像して異物を検出する。 （もっと読む）

【課題】パターン付きウエハ検査装置を用い、信頼性の高い欠陥密度情報を得られる技術を提供する。
【解決手段】検査対象のチップ１６Ａと左隣のチップ１６Ｂとの差画像２１Ａと、検査対象のチップ１６Ａと右隣のチップ１６Ｃとの差画像２１Ｂとを算出し、差画像２１Ａ、２１Ｂの双方の検査の感度が一定の領域（メモリセル部２０およびパターン無し部１９を含む）に、事前に決定したしきい値以上の明るさのピクセル（ポイント）があれば、検査対象のチップ１６Ａのその部分に欠陥があると判定する。 （もっと読む）

【課題】空樽などの略円筒状の外周面を有する容器であっても高い検査性能を達成し得る外観検査装置を提供する。
【解決手段】容器の外観を検査するための装置（２０）において、略円筒状の外周面を有する容器（１）を自転させる回転機構（３）と、自転時に容器（１）の外周面の側方に位置するように固定された少なくとも１つのラインカメラ（５ａおよび５ｂ）とを設け、回転機構（３）により容器（１）を自転させながら、ラインカメラ（５ａおよび５ｂ）で容器（１）の外周面を撮像し、これにより得られた容器（１）の外周面の画像データに基づいて外観検査の合否を判別するように構成する。 （もっと読む）

【課題】画像処理を用いた回路パターンの欠陥検査では、検査対象となる回路パターンの画像を撮影する。このとき、撮影する毎にカメラを移動・停止していると、画像データの取得に時間がかかってしまうという課題があった。
【解決手段】複数の被検査物（回路パターン）が配列された基板に対して、撮影用のカメラを一定速度で移動させながら、予め決めておいた視野位置で連続的に撮影を行う。このため被検査物の配列情報とシステム側のハード的、ソフト的な拘束条件から、移動速度、撮影タイミングなどを予め求めておく。 （もっと読む）