【課題】間隔自動追従装置において高速追従を可能とすることである。
【解決手段】間隔自動追従装置４０において、トルク指令に応じて加圧力を発生するモータ４２と、センサの検出値と目標値との差に応じモータ４２にトルク指令を与え、センサの検出値を目標値に対し追従させるサーボＩＣ（５０）とを組合せた加圧制御サーボ技術が転換される。レーザ変位計４８は、基板８との距離を検出し設定間隔からのずれ量をサーボＩＣ（５０）に入力する。サーボＩＣ（５０）は、目標値をずれ量ゼロとし、バイアス設定５２により、レーザ変位計４８の検出値に対応するトルク指令をモータの作動点である作動加圧力にバイアスして設定し、バイアスされたトルク指令に応じた駆動電流５６をモータ４２に供給する。モータ４２は駆動軸４４を介し移動台４６を移動させ、基板８との間隔を変更して設定間隔に追従させる。 （もっと読む）

【課題】 二光束干渉光学系を備えた装置を利用した表面形状の測定における誤計測を的確に判別することにより、誤計測に起因する種々の問題を無くすことのできる表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】 本発明の表面形状測定方法は、観察対象となる基板面を、該基板の観察対象部位の法線方向に走査しながら二光束干渉光学系を用いて観察して得られた画像データから、上記観察対象部位における走査方向の明度変調量を算出し（ステップＳ３）、算出して得られた明度変調量から、上記観察対象部位の高さまたは深さを計測する（ステップＳ４）。そして、上記観察対象部位に対して得られる明度変調量のうち予め設定された基準値を越えた明度変調量を走査方向に抽出して得られる明度変調領域から、上記ステップＳ４で計測された該観察対象部位における計測値が誤計測であるか否かを判別する（ステップＳ８）。 （もっと読む）

【課題】 サイズの異なる検査対象物を一台の検査装置で検査する場合でも、前記検査対象物を高精度で短時間に検査でき、かつ装置コストの安価な検査装置を提供する。
【解決手段】 検査装置には複数のＣＣＤカメラ２０〜２１が設置され、検査装置は、一台の前記ＣＣＤカメラが検査を担うワーク１０の領域および一台の前記ＣＣＤカメラがワーク１０をスキャンする回数・幅が、ＣＣＤカメラ２０〜２１で均等になるように演算し、前記ＣＣＤカメラの位置をプリセットする。異なるサイズの検査対象物を検査する場合でも、検査時にはすべての前記ＣＣＤカメラが使用されるために効率よく検査でき、かつ前記ＣＣＤカメラが処理する画像量を均一化することで、前記ＣＣＤカメラが撮像した画像の処理効率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 円筒状ワークに対する外観検査の高速化、低コスト化、高精度化を図り、さらに生産性を向上することができる円筒状ワークの外観検査装置を提供する。
【解決手段】 円筒状ワーク１０を回転させながら搬送する搬送手段２と、円筒状ワーク１０が視野に入るように撮像素子４と光学レンズ５が設けられ、撮像素子４により撮影した撮像光を光電変換して出力する光電変換部６と、円筒状ワーク１０を照明する照明手段８と、光電変換手段６の位置を円筒状ワーク１０の回転移動に合わせて制御する外観駆動制御手段と、光電変換部６によって得られる円筒状ワーク１０の画像情報に基づいて円筒状ワーク１０の良否を判定する外観検査用画像処理装置９とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 瞳距離の短いときも検査条件を切り換えて基板を検査することができる基板検査装置を提供する。
【解決手段】 光源１０とウエハ５との間に配置される光学アダプタ２０，３０を切替えることによって検査を行う基板検査装置において、水平方向位置切換駆動部４０によって光学アダプタ２０，３０を水平方向へ移動させて検査に使用する光学アダプタ３０を光軸上へ移動させ、その後、垂直方向駆動部５０によって光学アダプタ３０を光軸方向へ移動させる。このとき、現在使用されていない光学アダプタ２０の下降はストッパ６０によって制限される。その結果、光学アダプタ２０とプローブカード７０との干渉が防止される。 （もっと読む）

【課題】１つの統合ステーションで検査、検証、および修正を行う可能性を提供する自動光学検査、検証、および修正のためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】システムは、部品の欠陥の自動光学検査（ＡＯＩ）、検証、および修正のための自動装置と、部品に対してＡＯＩ、検証、および修正のいずれを行うかを選択するように作動するコントローラとを備える。
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検査される表面の潜在的異常の場所を囲む部分からの散乱した輻射を示すピクセル強度も、表面上のその潜在的異常の場所を含むパッチの中のピクセル強度を速やかに再調査するためにそのようなデータを利用できるように、格納される。照明ビームと検査される表面との間に回転運動が引き起こされる場合、検査される２つの異なる表面上の対応する位置に存するピクセルのピクセル強度を比較することによって信号対雑音比を改善することができ、この場合、その２つの異なる表面上の同じ相対的場所に存する対応するピクセルが照明されて、そこから散乱した輻射が同じ光学的条件の下で集められて検出される。
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【課題】発光ダイオードを用いて移動する対象物上の所定領域の画像を精度よく取得する。
【解決手段】画像取得装置１は、対象物９を連続的に移動するコンベア２、および、コンベア２の上方に設けられたヘッド部３を備える。ヘッド部３は、フラッシュ光を出射するＬＥＤ３１、対象物９にフラッシュ光を導くとともに対象物９からの光が入射する顕微鏡３２、および、顕微鏡３２により所定の倍率で結像された対象物９の像を電気信号に変換する撮像デバイス３３を有する。画像取得装置１では、コンベア２により移動する対象物９に対してパルス幅が１０μ秒以下のフラッシュ光がＬＥＤ３１から出射され、対象物９上の検査領域の画像が取得される。これにより、ＬＥＤ３１を用いて移動する対象物９上の検査領域の画像を精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシート等のシール不良等の外観不良を検査可能であり、かつ、検査精度の向上を図ることのできる外観検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】外観検査装置２４は、照明装置２２、ＣＣＤカメラ２３及び画像処理装置２４を備えている。照明手段２２及びＣＣＤカメラ２３によって、容器フィルムに形成されたシール線が画像データとして得られる。画像処理装置２４においては、前記得られた画像データに対して、シール線によって形成された平行四辺形状の模様に対応して同一形状かつ同一角度の検査枠が設定されている。該検査枠では、相対向する辺上の輝度がほぼ同一となっており、当該相対向する辺同士の輝度を比較することで、シール線の形成が異常であるか否かが検出され、ひいては、外観不良が検出できる。 （もっと読む）

【課題】発光ダイオードを用いて移動する対象物上の所定領域の画像を精度よく取得する。
【解決手段】画像取得装置１は、対象物９を連続的に移動するコンベア２、および、コンベア２の上方に設けられたヘッド部３を備える。ヘッド部３は、フラッシュ光を出射するＬＥＤ３１、対象物９にフラッシュ光を導くとともに対象物９からの光が入射する顕微鏡３２、および、顕微鏡３２により所定の倍率で結像された対象物９の像を電気信号に変換する撮像デバイス３３を有する。画像取得装置１では、連続点灯時の許容電流を超える電流がＬＥＤ３１に入力されて、コンベア２により移動する対象物９に対してフラッシュ光が照射され、対象物９上の検査領域の画像が取得される。これにより、ＬＥＤ３１を用いて移動する対象物９上の検査領域の画像を精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシート等のシール不良等の外観不良を検査可能であり、かつ、検査精度の向上を図ることのできる外観検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】外観検査装置２４は、照明装置２２、ＣＣＤカメラ２３及び画像処理装置２４を備えている。照明手段２２及びＣＣＤカメラ２３によって、容器フィルムに形成されたシール線が画像データとして得られる。画像処理装置２４においては、前記得られた画像データに対して、シール線によって囲まれた平行四辺形部と同一形状かつ同一角度の検査枠が設定されている。該検査枠における相対向する辺同士の合計輝度を比較することで、輝度の低い領域を抽出する。さらに、該領域を示す画像イメージデータを作成し、該画像イメージデータにおける前記領域外の連結成分の面積に基づき、外観不良を検出する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物における傷その他の表面状態の判定を効率的に行う。
【解決手段】検査対象物の表面状態判定装置は、対象物の予め定めた複数の部位のそれぞれについて、該部位における所定の表面状態を学習したデータマップを記憶する記憶手段と、対象物を撮像する撮像手段と、を備える。該装置は、撮像手段から取得した対象物の画像において、他の領域に対し予め定めたしきい値を超える輝度差を有する要判定領域を含むよう検査領域を設定する。該検査領域から特徴ベクトルを抽出する。対象物の複数の部位のうち、該検査領域が属する部位を判断して、該部位に対応するデータマップを選択する。特徴ベクトルを該選択されたデータマップに入力して、該検査領域が所定の表面状態を含むかどうかを判定する。こうして、個々のデータマップの容量を抑制して、判定時間の増大を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 ギアその他の検査対象物の傷検出の精度を向上させる。
【解決手段】 検査対象物を撮像する撮像手段と、撮像手段から取得した対象物の画像において、予め定めたしきい値を超える輝度の差を有する要判定領域を検出し、該領域を囲む検査領域を特定する手段と、予め定めた複数のパラメータに関して検査領域から特徴を抽出する手段と、特徴に基づいて表面状態の判定を行う手段と、を備える。一形態においては、同様のテクスチャの構成単位を連続的に複数有する対象物を相対的に回転させて該構成単位を順次撮像し、取得した画像において、今回の画像と前回の画像との差分をとり、差分画像において予め定めたしきい値を超える輝度を有する要判定領域を検出し、この領域を囲む検査領域を特定し、予め定めた複数のパラメータに関してこの検査領域から特徴を抽出し、この特徴に基づいて傷の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】検査対象物における傷その他の表面状態の判定を効率的に行う。
【解決手段】検査対象物の表面状態判定装置は、該対象物を回転させて、該対象物の画像を順次撮像する撮像手段を備える。該装置は、撮像手段から取得した対象物の画像において、他の領域に対し予め定めたしきい値を超える輝度差を有する要判定領域を検出し、該要判定領域を囲む検査領域を特定する。順次撮像した画像のうち、連続した複数の画像において、該検査領域が、対象物上の同じ位置に特定されたならば、該検査領域が所定の表面状態を含むと判定する。こうして、計算集約的な判定処理を行うことなく、効率的に表面状態の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】同様のテクスチャの構成単位を連続的に複数有する対象物の表面状態を判定するためのデータマップを生成する方法を提供する。
【解決手段】要判定領域を含む検査領域の複数のサンプルを用意するステップと、前記サンプルから特徴ベクトルを抽出するステップと、特徴ベクトルを自己組織化マップに入力し、学習させるステップと、を含む。さらに、前記学習した自己組織化マップにおいて同じ前記サンプルのそれぞれに対応し隣接するニューロンをグループ化してクラスタにするステップと、前記クラスタのそれぞれを傷、打痕、剥離など所定の表面状態に対応するものとそうでないものとに分類して判定データマップを生成するステップと、を含む。同様のテクスチャの構成単位を連続的に複数有する対象物の表面状態を自動的に判定するためのデータマップをニューラルネットワークの自己組織化学習を利用して生成するので、信頼性の高い判定データマップを得ることができる。 （もっと読む）

本発明は、ガラス壜の壜口部等の特定位置にある欠陥を撮像により検出することができるガラス壜の検査装置に関する。本発明のガラス壜の検査装置は、ガラス壜（２）を照明しガラス壜を回転させつつガラス壜からの光を撮影して画像処理によりガラス壜の欠陥を検出する検査装置において、ガラス壜に対して所定の位置に配置された照明（７）と、ガラス壜の周囲に配置されガラス壜の特定部位を撮影する複数のＣＣＤカメラ（１１〜２０）と、ガラス壜の基準位置に対する回転角度を検出する角度検出手段（１０）と、ＣＣＤカメラにより得られた画像を処理する画像処理装置（８）とを備え、前記画像処理装置は、前記角度検出手段により検出された回転角度情報を各ＣＣＤカメラにより撮影された画像に対応させて記録しておく。
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【課題】検査対象物における傷その他の表面状態の判定に応じて、該表面状態の原因を自動的に求める。
【解決手段】検査対象物の所定の表面状態の原因を自動的に追求する装置は、自己組織化マップにおいて所定の表面状態の原因ごとにニューロンがクラスタ化された原因追求マップを記憶する。撮像手段により得られた対象物の画像において、輝度値に基づいて検査領域が特定される。検査領域が該所定の表面状態を含むかどうか判定し、含むと判定された検査領域について、該検査領域の該対象物における位置情報を特定する。該位置情報から、該所定の表面状態の該対象物上の位置を表す位置ベクトルを抽出し、該位置ベクトルを原因追求マップに入力する。原因追求マップに入力した位置ベクトルと、結合ベクトルとの距離が最小となるニューロンを、原因追求マップ内で特定する。特定されたニューロンの属するクラスタに従って、所定の表面状態の原因を求める。 （もっと読む）

【課題】 被検査体について装置を大型化することなく精度の良い欠陥検査を行うことができるようにする。
【解決手段】 撮像素子の撮像面より大きな面積の結像面上に結像された被検査体像を撮像するものであって、被検査体像を等分割したときに各分割部分９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄに対する各々の撮像素子の撮像面の位置関係が同じとなるように配置された複数個の撮像素子６１，６２，６３，６４と、結像面上で複数個の撮像素子６１，６２，６３，６４の撮像面を一撮像位置から次の撮像位置へ同時に移動させる移動手段７，８を備える構成とする。 （もっと読む）

本発明によると、ＴＦＴ ＬＣＤパネルの電気的および電気光学的検査を行う検査システムにおいて、自動検査は、通常の再検査チャネルの一部として、スキャン処理中に、電気的または電気光学的検査システムの不良場所の特定および分類を支援するために空間撮像装置によってキャプチャされる一連の短パルスの照射を用いて、指定された領域における正確な高解像度の２次元画像をキャプチャすることにより、検査される対象物の限定された領域に対するオンデマンドの高解像度画像ＡＯＩスキャンを提供することによって、エンハンスされる。複数の画像をキャプチャする処理によって、１より多い不良箇所が特定されることができる。本発明による装置は、一定のタイプの不良の場所を正確に確定するために、不良がユーザまたは自動分類器によって再検査される前に、独立した装置として、または、検査ステーションまたは修理ステーションに組み込まれて使用されることができる。細かい画像解像度のため、サブピクセル補間の必要はない。特定の実施例では、毎秒６０フレーム以上をキャプチャできる高速エリアスキャンカメラは、約２０マイクロ秒以下、好ましくは８マイクロ秒以下の露光期間を有するフラッシュランプ画像をキャプチャする間に、毎秒３０ミリメートル以上の速度でスキャンすることができる。トライアンギュレーションを使用し、画像スキャンカメラと同一の光学パスを共有するハードウェアオートフォーカスセンサは、画像撮像機能のために、高速で継続的な焦点トラッキングを提供する。オンデマンド機能は、非ＡＯＩ検出機能および／または修復機能と順に動作し、不良の場所を確定し、不良を撮像するために、予め定められた限定された領域に対して実行される。本発明の特定の実施例は、非ＡＯＩ検査装置の機能的追加、および、非ＡＯＩ検査装置に関連して動作する修復装置の機能的追加の形式であってもよい。
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【課題】すべての検査表面領域にわたって、同じ検査品質のレベルで検査することができる表面検査の方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、三次元体（２）の表面検査方法に関する。少なくとも１つのカメラと少なくとも１つの照明装置は対象物の表面に対して相対運動し、表面に対するカメラの相対運動中に検査表面領域の画像が撮影され、コンピュータ（１１）に送られ、評価される。本発明は、また、関連するシステムに関する。高い検査品質を得るために、各検査表面領域の検査中のうち、少なくとも撮影時間の間は、カメラ、照明装置及び表面を、互いに少なくとも１つの規定された幾何学的関係にする。 （もっと読む）