【課題】
複数ある検査条件の中から高感度に検査可能な条件を早く簡単に求める欠陥検査方法とその装置を提供する。
【解決手段】
検査対象となる欠陥種(形状,材料,近接するパターンなど)に対応して、多様な光学機能を備えており、各光学機能別に検出したい欠陥及び検出したくない擬似欠陥の濃淡差などを蓄積し、高感度、低擬似率検査に有利な条件を効率的に選択する。光学系としては、明視野・暗視野・明暗視野複合照明方式や照明波長帯及び、偏光フィルタや空間フィルタなどの条件の選択が可能である。 （もっと読む）

【課題】検査時における検査対象物の設置負担を軽減すると共に、検査精度及び処理効率を向上させることを可能とする検査装置等を提供する。
【解決手段】シリンダ検査装置１は、シリンダ１７の上方に、鉛直方向に移動可能にカメラ５が設けられる。シリンダ検査装置１は、複数のローラ２１によりシリンダ１７を支持して回転させる。シリンダ検査装置１は、赤色照明９及び青色照明１１から赤色光及び青色光を同時にシリンダ１７に照射して反射光をカメラ５により撮像し、１つのカラー撮像画像から基準画像としてＲ成分画像を抽出し、同一のカラー撮像画像から検査対象画像としてＢ成分画像を抽出し、これらのＲ成分画像とＢ成分画像とを比較して不良検出を行う。 （もっと読む）

【課題】撮像光学系が大型化することなく、また、撮像装置やテーブルを上下、左右に複雑に動かすこともなく、多種多様な容器を効率良く検査する。
【解決手段】外形検査装置は、びんを支持するテーブル１、テーブル１上のびんへ光を照射する面光源７、びんを中間に挟んで面光源７と対向位置させる撮像装置６０、撮像装置６０の視野範囲にびんの検査部位が入るようにテーブル１を昇降動作させる昇降機構２から成る。撮像装置６０は、上下３段に配置される５個の撮像光学系６１Ａ〜６１Ｅを有する。最上段の撮像光学系６１Ａに対して２段目および３段目は左右一対の撮像光学系６１Ｂ，６１Ｃ、６１Ｄ，６１Ｅにより構成される。２段目の各撮像光学系６１Ｂ，６１Ｃの水平方向の視野範囲は、内端部において最上段の撮像光学系６１Ａの視野範囲と重なりかつ外端部において３段目の撮像光学系６１Ｄ，６１Ｅの視野範囲と重なる。 （もっと読む）

【課題】
従来の欠陥検査は、各ブロックについて、比較する各視野の画像同士が同一のパターンである必要がある。そのため、例えば、欠陥の位置が分かっていても、その位置へ移動し、より拡大した画像を取得して、自動的に欠陥を抽出することは困難であった。
【解決手段】
低倍のレンズで周囲画像と輝度比較し、そこからレンズの倍率を段々高倍率に設定しながら、画像処理を行って欠陥の検査していく。またこのとき、同一パターンとの比較をせず、本来のパターンと欠陥とは、輝度波形の傾斜の傾きで区別する。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤ１本レベルのゴム剥げであっても精度よく検出することのできる方法とゴム剥げ検出装置を提供する。
【解決手段】 搬送されるインシュレーション部材１の斜め方向から、投光器と受光器とが一体となったレーザセンサ１１Ａ，１１Ｂの投光器により、上記インシュレーション部材１にレーザ光１１ａ，１１ｂを照射するとともに、エアシリンダ１４により上記レーザセンサ１１Ａ，１１Ｂを支持する支持台１２を上記インシュレーション部材１の幅方向に移動させながら、上記インシュレーション部材１からの反射光１１ｃ，１１ｄを上記レーザセンサ１１Ａ，１１Ｂの受光器で検出し、この検出された反射光１１ｃ，１１ｄから上記インシュレーション部材１のゴム剥げを検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】 多結晶基板上に配線パターンが形成されてなる被検査物について、その配線パターンの欠陥の有無を精度良く検出できる検査装置を提供する。
【解決手段】 被検査物１に対して略水平方向から光が照射されるように照明手段を配置するとともに、相対位置変更手段によって被検査物１と照明手段との相対位置を変更した状態でそれぞれ撮像手段５で撮像を行って複数の画像データを獲得する。こうして得られた各画像データについて相対位置を一致させた上で論理積演算手段１０で各画像データの論理積演算を行うことにより、多結晶基板１ａの特定の結晶からの指向性の強い反射光の影響を除去する。 （もっと読む）

【課題】 外観検査装置において、外観検査の検査設定条件を迅速かつ効率的に設定できるとともに、熟練した検査者が検査する場合と同じように効率的に検査を行うことができるようにする。
【解決手段】 ウエハ１３に照明光を照射する広域照明部２、スリット照明部３、スポット照明部４などの照明部と、ウエハ１３を揺動移動可能に保持する揺動機構１２と、それら照明部および揺動機構１２の制御を行う制御ユニット９とを備える外観検査装置において、キーボード１６、マウス１７などにより検査条件設定値を入力し、それらを検査工程の種類ごとにまとめた検査工程設定情報として記憶部に記憶し、制御ユニット９中の設定情報選択部により検査工程設定情報を選択して検査を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】
先行容器の映像を処理中であっても、後続容器の映像の処理が可能で、容器間隔確保手段を簡便にして、容器間隔の制限を緩和した状態で異物検査をすることができ、単位時間当たりの処理能力を高くしたい。
【解決手段】
撮像手段で得た液体が封入された透明な容器の映像から容器内に混入した異物を検出する容器内異物検出方法であり、搬送路上を等間隔で搬送される任意個数の容器に対応するように任意個数と同数の撮像手段を設置しておき、各撮像手段で同時に任意個数毎に各撮像手段での画像データについて露出と読み出しを行ない、その後、画像処理手段への各撮像手段での画像データのデータ転送を順次行なって、各撮像手段での画像データについて画像処理手段で画像処理を順次行なう。 （もっと読む）

【課題】 テーパーベアリングの鍛造リング素形品の製造において、鍛造による形状不良品や疵を迅速良好に検出し、良品・不良品を選別する方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 被検査品１８であるテーパーベアリングの鍛造リング素形品のリング側面２１を上下に配置し、コンベアー３で搬送しながら鍛造リング素形品のリング側面２１を上方からＣＣＤカメラ１１で撮影し、撮影したリング側面２１の画像から事前に設定したリング寸法およびコントラスト状態に起因する局部的な影として現れる異常画像を検出することにより鍛造リング素形品の形状不良及び疵を検知して不良品を判別するテーパーベアリングの鍛造リング素形品の形状不良及び疵の検査方法である。 （もっと読む）

【課題】 撮像装置による反射光の走査速度を帯状体の搬送速度に応じて設定することで、低速時の流れ方向分解能を向上させ、低速時における帯状体表面の欠陥の検出能力を向上させた帯状体表面の検査方法を提供することにある。
【解決手段】搬送される帯状体（金属板）３の表面に対して光を照射し、帯状体３の表面からの反射光を走査して帯状体３の表面を撮像し、撮像された撮像画像に基づいて帯状体３の表面の欠陥を検出する帯状体表面の検査方法において、帯状体３の搬送速度に応じて、前記反射光の走査速度を設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 適当な無線端末と検査装置とを確実に無線接続できる検査システムを提供する。
【解決手段】 検査システムは、検査ライン１００を流れる車両１０に搭載および接続され、外部と無線通信可能な無線端末４０と、無線端末４０と無線通信し、該無線端末４０を介して車両１０を検査する検査装置３０と、車両１０に搭載され、検査ライン１００に設けられるバーコード５０を取得するカメラ２４とを有する。無線端末４０は、バーコード５０に基づいて車両１０の現在位置を特定し、特定された前記現在位置が検査装置３０と通信すべき位置か否かを判断し、通信すべき位置である場合、検査装置３０との通信を確立する。 （もっと読む）

【課題】落下している個々の粒状物ｗの左右水平方向ｆ２及び粒状物落下方向ｆ３におけるラインセンサによる撮像精度を向上させて、粒状物ｗ群からの異色粒状物の除去を確実に行えるようにする。
【解決手段】粒状物色彩選別方法において、ラインセンサの各回の左右水平方向ｆ２走査で撮像される粒状物ｗ上の範囲ｍ１が粒状物落下方向ｆ３上で、重複の生じない連続した状態か、あるいは、部分的に重複した状態に並ぶように実施する。 （もっと読む）

この発明は、飲料などの液体製品のパッケージを検査するための方法に関する。この方法は、パッケージを回転させるステップと、回転中のパッケージに予め定められた波長の放射線を照射するステップと、回転中のパッケージの内容物の少なくとも一部の、少なくとも一続きの少なくとも２つの録画を行なうステップとを含んでいる。この方法は、予め定められた波長で録画を行なうことに好適な画像記録装置を用いて行なわれる。
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【課題】検査状況を把握可能な検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供し、もって、検査状況が適切でない場合に、迅速な対応を可能とする。
【解決手段】検査を実行し（Ｓ１００）、不良判定された場合（Ｓ１１０：ＹＥＳ）、不良発生日時及び不良項目からなる不良履歴に関連付けて、画像データ、シート位置追従量、及び、判定値を記憶する（Ｓ１３０〜Ｓ１５０）。そして、不良発生情報中の不良項目が作業者によって選択されると、通常時は検査対象の画像が表示される画面左側に、不良判定されたときのＰＴＰフィルムの画像を表示する。さらに、不良発生情報の表示欄の下方に、不良判定されたときのシート位置追従量を表示すると共に、判定に用いられれた判定値を表示する。 （もっと読む）

【課題】 貫通孔の長いハニカム構造体の貫通孔検査に適した貫通検査装置と、これを用いた貫通検査方法の提供を目的とする。
【解決手段】 透過用照明と、被検体であるハニカム構造体を固定する固定用台座と、ハニカム構造体の開口端面の分割画像を得るためのテレセントリックレンズを装着したエリアカメラと、このエリアカメラの向きを変更可能とする回転搬送ステージと、このエリアカメラを多軸方向に移動可能とする多軸搬送ステージと、取り込む分割画像が最適になるようにエリアカメラの位置を調整すると共に、得られた分割画像を組み戻してハニカム構造体の開口端面の画像を得、この画像を画像処理して貫通孔の適否を判断するためのコンピュータとで貫通孔検査装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】時間の掛かる調整を行うことなく、基板を平坦に支持しながら、基板の全面を検査する。
【解決手段】基板１を搭載するステージは、ステージベース１１及びブロック１２を含んで構成されている。ステージベース１１の上面には、細長い長方形のブロック１２が、所定の間隔で複数取り付けられている。ブロック１２は、ステージベース１１に取り付けられた後、機械加工によって上面が均一な高さに削られている。各ブロック１２には、吸着孔１３が所定の間隔で複数設けられている。吸着孔１３から空気を吸引することにより、ブロック１２によって支持された基板１が真空吸着されてステージに固定される。基板１のブロック１２で支持されていない部分には、光学系から検査光２が照射される。ステージに搭載された基板１の位置を検査光２の走査方向と直交する方向へ移動して、基板１のブロック１２で支持される箇所を変更する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置を小型化して、設置面積を小さくする。
【解決手段】光学ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃは、検査光を基板１へ斜めに照射する投光系と、検査光が基板１の欠陥により散乱された散乱光を受光する受光系とを有する。基板１を搭載するステージ１０と光学ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃとを互いに逆方向に移動して、検査光による基板１の走査を行う。移動前にステージ１０及び光学ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃを配置するだけのスペースを設ければ、移動後も両者を配置することができるので、基板検査装置が小型化され、設置面積が小さくなる。また、装置の重心の移動が小さくなり、装置の歪みが抑制される。さらに、検査光による基板１の走査が短時間で行われ、検査時間が短縮される。 （もっと読む）

【課題】本発明は動的なホログラフィー画像印刷物を含む各種の平面画像を検査できる検査システム及びその検査方法を提供する。
【解決手段】本発明は複数のセンサを融合させる技術を用い、複数の画像センサの設置と角度を調整して、被検査画像の検査できない区域をずらすと同時に、複数の画像センサから検出された画像をデジタル化処理してから処理部に伝送する。処理部は標準モデル画像と被検査画像に対して分析及び処理を行うことにより、各種の汚損と偏色を検査でき、イメージ印刷物に対する品質検査及び印刷物検査の作業負担を低減でき、人件費コストを節約できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板などの被検査体の検査時間を短縮することを目的とする。
【解決手段】 基板２の外観検査装置において、第１撮像部３０ａおよび第２撮像部３０ｂは、基板２と相対的に移動することにより、基板２の一面を走査する。第３撮像部３０ｃおよび第４撮像部３０ｄは、基板２を挟んで第１撮像部３０ａおよび第２撮像部３０ｂと対向するよう配置され、基板２と相対的に移動することにより、基板２の他の一面を走査する。基板搬送モータ５８は、撮像部３０の各々と基板２とを相対的に移動させる。基板搬送モータ５８が基板２と撮像部３０の各々とを相対的に移動させる一回の移動工程において、撮像部３０の各々が基板２の走査を完了する。 （もっと読む）

【課題】
複数種類の容器が搬送されてきても容器の形状種類ごとに整列機構部品を取り替える必要がない容器内異物検出装置としたい。
【解決手段】
液体が封入された透明な容器を搬送しながら撮像手段２０で容器１を撮像し、容器内における異物を画像処理によって検出する容器内異物検出装置であり、搬送路の撮像手段２０を設置した位置より上流側に搬送されてくる容器１を整列させるとともに撮像手段２０を通り過ぎる容器１の移動速度よりも遅い速度で容器を移動させる整列搬送手段１４を設けた。 （もっと読む）