【課題】画像検査と目視検査の結果を容易に参照可能とし、高効率で高精度の外観検査を可能とする外観検査装置、外観検査システム及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】被検査品を撮像して画像解析した結果に基づく画像検査結果を、前記被検査品を目視で検査する検査者の視界に重ねて、前記検査者が前記被検査品を観視している像に対応させた位置に表示可能としたことを特徴とする外観検査装置が提供される。また、被検査品を撮像し画像処理部で画像解析させて前記被検査品を画像検査し、前記画像検査の結果を、前記被検査品を目視で検査する検査者の視界に重ねて、前記検査者が前記被検査品を観視している像に対応させた位置に表示させた状態で、前記検査者が前記被検査品を目視で検査可能としたことを特徴とする外観検査方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】樹脂成型品に生じるウェルドラインを明瞭に検出することのできるウェルドラインの検査装置および検査方法を提供する。また、樹脂成型品を効率的かつ高品質に製造する製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂内部まで透過する光を出射可能な光源と、光源から被検査物に照射される光を偏光させる偏光子と、被検査物からの反射光のうち所定の偏光状態の光のみを通過させる検光子と、この検光子を介した被検査物の反射光を受けて撮像を行うとともに焦点位置を被検査物の内部まで移動可能にされた撮像部と、前記撮像部により得られた撮像データから被検査物にあるウェルドラインの分析を行う分析部とを備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】表面性状が位置により変動する鋼板等の帯状体の表面を撮像した画像データに基づいて疵を検出する際、適切な輝度レベルの画像データを得ることを可能とし、有害な疵を正確に検出可能にする。
【解決手段】撮像部４は、帯状体表面の照射部分の画像を、予め設定した所定の撮像パラメータの値で撮像して画像データを採取する。指定領域画像輝度算出部７は、画像データの一フレームごとに予め設定した領域の輝度値を検出する。画像輝度判定部８は、検出した指定領域の輝度値が、予め設定した輝度範囲内にあるのか、又は外れているのかを判定する。撮像パラメータ設定部９は、画像輝度判定部８の判定結果に基づいて、所定の撮像パラメータの値を維持か、又は変更して設定する。撮像部４は、撮像パラメータ設定部９で設定された新たな撮像パラメータの値で以後の画像データを採取する。 （もっと読む）

【課題】落射照明イメージと透過照明イメージとの両イメージを利用した検査が、片方のイメージだけを利用する検査装置と同程度の速度で行え、しかも設置面積の増大を招かず、廉価なパターン検査装置の提供。
【解決手段】フィルム状の帯状ワークであるテープ１０（ＣＯＦテープ等）の上面側及び下面側に配置され、テープ１０の上面側及び下面側をそれぞれ撮像するカメラ５ａ及び５ｂと、テープ１０の上面側から照明光を照射する照明装置４とを備えてなる。テープ１０における反射状態を表す落射照明イメージを生成するための落射光照明の機能と、テープ１０における透明度の分布を表す透過照明イメージを生成するための透過光照明の機能とが、１つの照明装置４だけで得られるので、１つの被検査パターンに関する落射照明イメージ及び透過照明イメージが同時に取得できる。 （もっと読む）

【解決手段】 判定手段６は、カメラ５で撮影した４０００回の画像のデータに基づいて、タイヤ２の内面２Ａ全体についての三次元の基本画像８を作成する。
判定手段６の第１演算部６Ｂは、上記基本画像８を基にしてノイズを除去したタイヤ２の内面２の輪郭線１１の画像（Ｇ１）を求める。
次に、判定手段６の第２演算部は、上記基本画像８を基にして、ノイズと不良部分を除去した輪郭線１１だけの画像（Ｇ２）を求める。
次に、比較部６Ｄは上記Ｇ１とＧ２とを比較して、不良部分を強調した画像（Ｇ３）を求める。判定部６Ｆは、上記不良部分を強調した画像（Ｇ３）を基にしてタイヤ２の内面２Ａの外観の良否を判定する。
【効果】 タイヤ２の内面２Ａの外観の良否を正確に判定することができる。 （もっと読む）

【課題】高性能の装置を用いることなく、搬送路上を搬送されてくる検査基板の精密な画像を得て精度よく検査すること。
【解決手段】基板外観検査装置１は、基板３３を一定方向に沿って移動させる搬送ライン２５と、基板３３に対して照明光を出射する照明部１３と、照明部１３から出射され基板３３において反射した反射光、または、基板３３を透過した透過光を受光する撮像部１５と、照明部１３および撮像部１５を一体的に移動させる駆動部７と、駆動部７の駆動を制御する制御部１１とを有し、制御部１１は、駆動部７による照明部１３および撮像部１５の移動を基板３３の移動方向と同一方向に沿って移動させる。 （もっと読む）

【目的】短波長のパルス光源を用いた検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の検査装置１００は、パルス光を発生するパルス光源１５０と、フォトマスク１０１を載置するＸＹθテーブル１０２と、２次元配列された複数の受光素子を有し、複数の受光素子を用いてパルス光が照射されたフォトマスク１０１の２次元領域のパターン像を撮像する２次元センサアレイ１０５と、パターン像のデータを所定の参照パターンデータと比較する比較回路１０８と、を備え、ステージは、パルス光のパルス間に１画素の自然数倍の画素数だけずれるように移動することを特徴とする。本発明によれば、短波長のパルス光源を用いた場合でも検査時間の増大化を抑制すると共に光量誤差を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】大きな点検用基板を用いることなく、外観検査装置の機種による制約のない、欠陥を検出する機能の点検作業を簡便・容易な作業とするカラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具７０を提供する。
【解決手段】基板載置部３１に載置された点検用基板２５の検査開始位置ｈを外観検査装置の検査ラインＹ₁ に移動させる位置出し機構３０と、該位置出し機構を外観検査装置のパスラインＸ₁ と平行に移動し点検用基板を点検作業に供する搬送機構５０とで構成される。 （もっと読む）

【課題】自動車用窓ガラスのプライマ塗布領域のような帯状の検査対象領域について、プライマ塗布状態等の検査対象を効率良く高精度で検査できるようにすることである。
【解決手段】検査対象物３０上の帯状の検査対象領域を撮影して、この撮影した画像から検査する画像検査装置であって、撮影装置１８および該撮影装置１８が撮影する検査対象領域を照明する照明装置２２を取付けたロボットハンド１２と、該ロボットハンド１２に取付けられた撮影装置１８と照明装置２２を検査対象領域上に設定された経路に沿って移動させるロボットハンド移動手段と、該ロボットハンド移動手段により前記撮影装置１８が検査対象領域上の経路に沿って移動する際に該検査対象領域を連続撮影して画像を取得する画像取得手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置のフットプリントを低く抑える。
【解決手段】液晶パネルユニット１０を固定する検査ステージ２０に対向して撮像手段４０を設ける。検査ステージ２０は、撮像手段４０の中心軸Ｃを通る線型軸Ｙに沿って平行移動させ及びその線形軸Ｙ上に設けた回転軸Ｄ周りに回転移動させる２軸のステージ駆動手段２１を備え、ステージ制御手段２２によって制御される。撮像手段４０はその中心軸Ｃ周りに回転できるようカメラ駆動手段４１を備え、その回転がカメラ制御手段４２によって制御される。ステージ制御手段２２は前記２軸の各移動によりパネルユニット１０から画像を取得しようとするショット位置を撮像手段４０の中心軸Ｃ上に位置合せする機能を有し、カメラ制御手段４２は撮像手段４０を回転させて、各ショット位置におけるパネルユニット１０の液晶電極端子１１の向きに対して撮像手段４０が常に一定の向きとなるように方位合せする機能を有する。 （もっと読む）

【課題】複数台の撮像手段を使用することなく簡略な構成により、所定の受光角度でしか輝度変化を得ることができないような微小凹凸疵、色調変化疵をリアルタイム検出する疵検査装置を提供する。
【解決手段】移動する帯状体の表面に面状光を照射した帯状体面上の２次元照射領域を、前記面状光の入射と対向設置して撮像する２次元撮像装置を備えるとともに、該２次元撮像装置は、前記帯状体の照射領域からの反射光の中で所定の２つ以上の異なる受光角度で特定される反射光のみの画像信号を、前記帯状体の搬送速度に同期させて同時に部分読み出した画素列から得られる画像信号を前記帯状体の長手方向に合成する画像処理装置を備えることで、発生する疵に合わせて複数の受光角度で、精度よくリアルタイム疵検出する。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも一つの方向に制限された伸びを有する入射光によって対象物を照射する光源と、対象物から発散された光を検出する画像センサとを備えて構成され、発散された光は、対象物の表面上で反射された光（R）且つ対象物内で散乱された光（Ｓ）であり、検出された光は、画像センサ上で上記反射光（R）が検出されるところのピークを有する、画像センサ上の少なくとも一つの強度分布曲線に結果として成る、ビジョンシステム装置内において、対象物内で散乱された光の量を測定するための方法と装置に関連している。上記ピーク周辺における少なくとも一つの強度分布曲線の幅（ｗ）が測定され、それによって測定された幅（ｗ）は、対象物内で散乱された光（Ｓ）の量を表している。
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【課題】固体撮像素子と光学部品の組み立てラインで異物の有無を検査可能であると共に、異物が混入した組み立て品を後工程に送らない。
【解決手段】光学部品２の接合面２ａを撮像する第一撮像カメラ１５と固体撮像素子１の接合面１ａを撮像する第二撮像カメラ２８とを備えている。調整台１３に載置した固体撮像素子１に対し、把持機構部３２で把持した光学部品２をＵＶ樹脂等の接着剤で仮硬化状態にして固体撮像素子１と接合する。この状態で、固体撮像素子１と光学部品２との接合面を固体撮像素子１で撮像する。得られた各画像データは記憶手段４３に記憶し、画像処理部４４で各画素毎の異物により生じる濃淡と分布状況を階調情報と分布情報として検出して予め設定した規定の輝度データとの関係から異物の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】周期性のある有害疵を従来よりも高精度に検出することができるようにする。
【解決手段】ワークロール７ａの外周長を基にした長さで切り出された複数の画像データを加算して得られた加算平均画像データ４３ａ〜４３ｃの中から、ワークロール７ａの実際の外周長に合った加算平均画像データ４３を選択することを、複数のコイルについて行い記憶しておく。そして、疵検査対象の加算平均画像データ４３が求められると、過去に求めておいた複数のコイルにおける加算平均画像データ４３（Ｉ₁〜Ｉ_n-1）の平均画像データＩ₀と、それら加算平均画像データ４３（Ｉ₁〜Ｉ_n-1）の固有画像Ｊ_iとを用いて、疵検査対象である加算平均画像データ４３（Ｉ_n）を線形結合して、周期性のある外乱ノイズを抽出し、抽出した外乱のノイズを低減する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により高速で移動する被検査物の取得画像にブレが生じることを防止することができる画像ブレ防止装置を提供する。
【解決手段】画像ブレ防止装置は、ウェハ１１を載置する載置面１７ａを有し移動可能とされた載置台１７と、ウェハ１１の画像を取得するための撮像手段１３と、ウェハ１１の像を撮像手段１３へと導く光学系１４と、載置台１７の移動および撮像手段１３による画像取得を制御する制御手段１８とを備える。光学系１４には、姿勢を変更することにより、光路導入部での光軸位置Ｌｉを変位させることなく光路導出部での光軸位置Ｌｏを変位させる光路変更部材２４が設けられ、制御手段１８は、載置台１７を移動させつつ撮像手段１３にウェハ１１の画像を取得させる際、光軸位置Ｌｏが載置台の移動に追従するように光路変更部材２４の姿勢を変更する。 （もっと読む）

【課題】表示装置の形状に拘束されることなく、表示装置と撮像装置との相対位置を簡易に算出することができ、この結果、表示装置の表示方向と撮像装置の撮像方向とが一致するように両者の相対位置を調整する作業も簡易に実行することを課題とする。
【解決手段】撮像装置によって同一の撮像方向から焦点が異なる複数の態様で表示装置の表示面を撮像して得られた複数の画像から、表示面に設定された複数の領域に対して焦点が適合している画像を複数の領域ごとに検索し、検索された複数の画像を用いて、実空間における複数の領域それぞれの位置を算出し、当該位置から表示装置における表示方向と撮像装置における撮像方向との相対位置を算出し、算出された表示方向と撮像方向との相対位置を用いて、前記表示方向と撮像方向が一致するように表示装置と撮像装置との相対位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】被写体が動作している場合においても、適切な異常検出を行うこと。
【解決手段】被写体４０の正常動作時に撮像された画像のフレームごとに、被写体４０の動作部分を含む領域がマスク領域として設定されている。マスク領域は、画像のフレームごとに設定されているため、被写体の動作に合わせて時間的に変化するものである。そして、異常検出装置３０が、マスク領域以外の領域に対して、つまり被写体４０の動作部分ではない部分に対して、フレーム同期がとれた計測画像と参照画像との間の差分を計算して異常検出を行う。このように、被写体４０の動作部分に対しては差分計算を行わないため、被写体が動いたことによって差分計算の誤差が発生することを防止することができる。したがって、被写体が動作している場合でも、適切な異常検出を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 低廉な装置構成により移動物品の欠陥部等を精度よく確実に検出し、しかも検出処理を短時間で行うことのできる移動物品の画像処理用データの前処理方法、画像処理プログラム並びにデータ処理装置を提供する。
【解決手段】
検出手段により連続して入力される移動中の物品からの物理データを所要の読み取り間隔で読み取って単位時間当たりの複数の読み取りデータを記憶手段により順次記憶させる。記憶された物品からの物理データを画素データとして順次分割されたフレームに読み出し、物品の移動速度と読み取り時間間隔とに相関する物品の移動量に対応した抽出幅で各フレームのデータから抽出して各フレームデータからそれぞれ抽出画素データを生成し、抽出された画素データを基礎にこれらを処理して欠陥部等の検出を行う。検出時間短縮と高精度の検出を実現する。 （もっと読む）

【課題】撮像倍率の自在性を失わずに済むと共に、変位センサの電線ケーブルの存在によるレボルバーの動作制約を受けない自動外観検査装置を提供する。
【解決手段】対象ワークＫの外観検査のための撮像に先立ち自動合焦を行うように構成された自動外観検査装置１であって、複数の対物レンズ１１を保持するとともに、いずれかの対物レンズを検査用に選択するレボルバー５３と、選択された対物レンズを通して得られた像を撮像する撮像手段５１と、選択された対物レンズと対象ワークとの間に変位センサ１２を進退させる変位センサ進退手段１３と、対象ワーク上の基準位置ＰＢでの対物レンズの最適合焦変位を基準変位ＬＢとして予め記憶した記憶手段８１と、変位センサで測定した対象ワークまでの変位ＬＳと、記憶手段に記憶した基準変位とに基づいて、対物レンズが最適合焦変位となるようにレボルバーを上下方向に駆動する上下方向駆動手段６とを備える。 （もっと読む）

【課題】カラーマッチングが不十分又は不可能であることによる検出エラーを、特に暗視野画像においても実質的に減少できる装置及び方法を提供すること。
【解決手段】第１及び第２の照明モード、特に明視野及び暗視野照明でウエハ６の表面の一領域８を照明するための１以上の落射光照明装置２、２’、照明された領域８の画像を検出するための１以上の検出装置４、各落射光照明モードでの最適化された強度及び色の数値を記憶するための装置を備える検査装置及びその検査方法である。 （もっと読む）