【課題】
本発明は、基板を確実に支持バーから離隔し、基板全面を検査できる基板検査装置及び基板検査方法を提供することである。
【解決手段】
発明は、所定方向に長い複数の支持バーに設けられた複数の吸着孔からエアを吸引して基板を保持し、検査光を前記基板の表面に走査しながら照射して前記基板の表面又は内部から散乱された散乱光を受光し、前記吸引を停止し、前記基板を前記支持バーから離隔して上昇させて前記所定方向と垂直な方向にシフトし、前記基板の全面を検査する基板検査装置または基板検査方法において、前記基板からの離隔は、前記吸着孔から前記支持バーの前記基板の載置面に設けられた溝にエアを供給することによって行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リアルタイム性を確保し且つ安定性の高いトラッキングを行う。
【解決手段】ホモグラフィー行列取得装置３０は、撮像装置１１が出力する画像データを取り込む。ホモグラフィー行列取得装置３０は、画像データごとに局所的ホモグラフィー行列を計算し、また、その計算レートよりも低いレートで、大域的ホモグラフィー行列を計算する。ホモグラフィー行列取得装置３０は、画像データごとに、局所的ホモグラフィー行列を用いて画像データを変換し、参照画像との相関を求める。相関が高い場合は、当該画像データに対応して計算した局所的ホモグラフィー行列が読み出されるように制御する一方、相関が低い場合は、最新の大域的ホモグラフィー行列が読み出されるように制御する。ロボット制御装置４５は、ホモグラフィー行列取得装置３０からホモグラフィー行列データを読み込んでロボット本体１２の姿勢を計算し動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】透明体シート状物表面に発生した曲率変化の小さな凹凸状欠陥を、最も鮮明な明暗像になる状態で結像させることにより、欠陥を漏れなく検出し、信頼性の高い欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、光源から発した平行光の照射方向に配置したミラーによって反射させる機構を有した照明手段と、この平行光をシート状物の走行方向に対して斜めに透過させ、透過した光を結像させるための曲面状のスクリーンと、スクリーンの曲面に結像した光を、合焦するように、スクリーンの曲面の曲率半径上に合焦点を起点として角度調節できる機構を有する撮像手段と、撮像手段によってスクリーンに結像した光を明暗信号として検出する信号処理手段とを具備することを特徴とするシート状物の表面欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】周期的に繰り替えられて形成された部分を有するワークの撮像及び検査に要する時間を短縮できるワーク検査装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】基準パルスＰＡに基づいてワークＷの歯部Ｗ１と撮像タイミングとを同期させ、撮像したｋ（ｋは整数）番目の画像と（ｋ＋１）番目の画像との差分を得る画像処理を行い、差分のデータに基づいて欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】搬送される被検査物に対してエリアカメラを使用した場合に発生する撮像画像の歪みを補正し、更に、検査領域を設定し、欠陥検出のために複雑な処理を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査装置を提供する。
【解決手段】搬送装置によって搬送される被検査物を撮像し、被検査物に付着した異物や汚れの付着、内容物の漏れを検査する検査装置であって、被検査物を撮像する撮像タイミングを検出する手段と、検出された撮像タイミングで被検査物を撮像し、且つ、被検査物の移動方向と撮像水平方向が並行に設けられたローリングシャッタ方式の撮像カメラと、撮像された被検査物の画像の歪を補正する手段と、歪が補正された被検査物の検査領域を設定する手段と、前記歪が補正され検査領域が設定された被検査物の画像を検査することを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】 装置の専有面積を小さくすることができ、高精度の検出結果を短時間で行なうことができる撮像光学検査装置を提供する。
【解決手段】 単一のリニア撮像素子３ａと、被検査物１００上のリニア撮像素子３ａによる撮像領域１０２を変更する搬送装置２と、リニア撮像素子３ａに入射する光の特性が異なる複数の照明装置４，５，６，７と、被検査物１００の所定の領域がリニア撮像素子３ａの撮像領域内にある時間内に複数回のデータ転送が可能となるように、搬送速度又は転送速度を制御する撮像制御部１０と、照明装置の点灯のタイミングをリニア撮像素子３ａのデータ転送回ごとに変更する照明制御部９と、リニア撮像素子３ａからの画像データを同じ照明装置が点灯した画像データごとに集積する画像処理部１１と、集積画像データから合成画像データを作成する画像合成部１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】水路トンネルなどの通水状態にあるトンネルにおいて停水又は減水せずにトンネル内状況を観測し、かつ、自律して姿勢制御が可能な壁面自動追尾型水路トンネル撮影装置を提供すること。
【解決手段】水流のあるトンネル内の水面に浮遊しつつ流下する船体と、この船体に水平面で回転自在に保持された回転体ベースと、前記船体側に取り付けられ前記回転体ベースを回転させるための回転用モータと、前記回転体ベースに設置されトンネル内を撮影するための撮影用カメラと、前記回転体ベースに設置されトンネル壁面までの距離を測定する少なくとも２つの距離測定装置とを具備してなり、前記距離測定装置の各測定結果に基づいて前記回転用モータを制御して前記回転体ベースの姿勢を一定に制御するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ピントが合わせやすく、撮像漏れがなく、しかも、短時間で円筒の外部表面、又は、円筒形状の穴の内部表面を２次元的に撮像することが可能な撮像装置を提供する。
【解決手段】この撮像装置１は、ラインカメラのように線ではなく、エリアカメラ３１の撮像面で面により反射光を捉えているので、ピントが合わせやすく、しかも、エリアカメラ３１の場合、一定の幅で画像を取り込むことで、ハイライト部分が若干移動しても確実にハイライト部分を受光できるので、明るさが一定した均質な画像が得られる。従って、この撮像装置１を用いると、ラインカメラを用いた従来の撮像装置に比べて、ピントが合わせやすく、しかも、光量むらを発生させずに円筒形状の穴の内部表面を二次元的に撮像することができる。 （もっと読む）

【課題】 ピントが合わせやすく、しかも、ワークやラインカメラの移動に伴う振動があってもうねりをはっきり撮像できる撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像装置１は、ワークαに対して８０°の入射角度で線状光がワークαに当たるように光源装置２０を配置し、その反射光をエリアカメラ３１で撮像できるようにカメラユニット３０を配置している。撮像装置１は、ラインカメラのように線ではなく、エリアカメラ３１の撮像面で面により反射光を捉えているので、ピントが合わせやすく、しかも、エリアカメラ３１の場合、一定の幅で画像を取り込むことで、ハイライト部分が若干移動しても確実にハイライト部分を受光できるので、明るさが一定した均質な画像が得られる。従って、撮像装置１を用いると、ラインカメラを用いた撮像装置に比べて、ピントが合わせやすく、光量むらを発生させずにワークαの外部表面をうねりが分かるように二次元的に撮像できる。 （もっと読む）

【課題】回転によって容器の水平方向から容器の内壁に沿って異物が移動して落下による移動軌跡が長く形成されるようにして、この状態における連写による撮像画像を用いることによって正確な異物の検査を行う異物検査装置および異物検査方法を提供する。
【解決手段】回転装置が、容器の水平軸に対して水平もしくは一定の傾斜角度に容器を保持する容器保持部材及び容器を６０°以上の角度で回転させて、次に静止させる回転動作を実行させる回転制御手段を備え、異物検出手段が、一定の時間で、回転動作毎に連写して取得した撮像画像を用いて形成される異物移動軌跡によって異物の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】食品を包装するフィルム状の包装袋の噛み込みやシワに起因するシール不良等を良好に判別できるのは勿論、既存の設備に簡単に後付け適用可能な光学検査装置の提供。
【解決手段】搬送機構に設けられる間隙部においてこの搬送機構により搬送される被検査物１に照明光を照射する照明部２と、前記間隙部において前記被検査物１を撮像する撮像部３と、この撮像部３で撮像した前記被検査物１の撮像データをもとに画像処理を行う画像処理部と、この画像処理の結果をもとに良否判定を行う良否判定部とを備えた光学検査装置であって、前記間隙部を通過する前記被検査物１の通過を検知可能な通過検知部６を、その光軸が前記間隙部を前記搬送機構の幅方向において傾斜状態で通過するように設ける。 （もっと読む）

【課題】研削砥石や研磨砥石を用いて面取り加工が施されたガラス板等の端面の微細な凹凸の程度、すなわち表面粗さの検査を行うことが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】搬送ライン上を搬送される光透過性矩形板状物の面取り加工が施された端面の表面状態を検査する端面検査方法において、固定配置された撮像手段を用いて、当該撮像手段の視野内を通過する前記光透過性矩形板状物の面取り加工が施された端面全域をカバーする複数ショット分の画像を連続撮像するステップと、前記連続撮像された複数ショット分の画像を、前記面取り加工が施された端面の表面粗さに相関するデータとして記憶装置に保存するステップと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】幅の広い鋼板を検査する際に高分解能な縞画像を撮像して、微小な表面欠陥を検出すること。
【解決手段】本発明に係る表面欠陥検査装置は、変調された線状のレーザ光を互いに重畳しないように照射する複数のレーザ照射装置と、鋼板によって反射された線状のレーザ光を撮像し、前記鋼板の光切断像を生成する複数の遅延積分型撮像装置とを有する鋼板撮像装置により生成された光切断像から構成される縞画像を利用して、鋼板の表面の凹凸状態を表す複数の形状画像と、鋼板の表面での粗度の相違を表す複数の輝度画像と、を生成する画像生成部と、搬送ラインにおける鋼板の搬送速度に応じて、生成された形状画像及び輝度画像を伸縮させて当該鋼板の搬送速度によらない一定の画像サイズへと変更する画像伸縮処理部と、伸縮後の形状画像を利用して、鋼板の表面に存在する表面欠陥を検出する欠陥検出処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】微小点状欠陥の検出を精度良く行うことができる。
【解決手段】リング状の光出射部３Ａと、光出射部３Ａと鋼板２との間に、光出射部３Ａと同心円状で、かつ、光出射部３Ａの内径より径の小さい光学的な開口部を有する遮光板３Ｂとを有したリング照明装置３と、遮光板３Ｂの開口部の中心線Ｃ上に配置され、該開口部を介して鋼板２の表面を撮像する撮像部４と、を備え、撮像部４が撮像する鋼板２表面上の撮像領域Ａには、光出射部３Ａから照射された光のうち遮光板３Ｂの開口部縁部で回折した光のみが照射され、光出射部３Ａと鋼板２表面との間の距離Ｈは、撮像領域Ａ内の平均輝度レベルが所定レベル以上で、かつ、撮像領域Ａ内の輝度レベル差が所定範囲内となるように設定される。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で連続的に製造される長尺の被検査対象物の外周面全てを検査することが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】延長方向に移動する長尺の被検査対象物の外観検査装置であって、被検査対象物を外側から囲むように配置された複数のカメラと、被検査対象物を延長方向に複数のカメラにより撮像した被検査対象物の外観画像を処理する画像処理手段とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】極めて小さい球状の検査対象物を安定して搬送し、その外観を検査することができる装置を提供する。
【解決手段】薄板材からなり、一又は複数の同心仮想円上に、周方向に所定ピッチ間隔で穿設された一列又は複数列の円孔列１１を備えた回転板１０と、回転板１０を支持する支持板１５と、回転板１０を回転させる駆動手段と、球体を収容する収容容器１７と、収容容器から球体を受け入れ、一列又は複列に整列して、回転板１０の円孔１１内に供給する整列供給手段３０と、回転板１０の円孔１１内に収容された球体の画像を撮像する撮像手段５０と、撮像された画像を解析して、球体の良否を判別する良否判別手段５７と、回転板１０の円孔１１内に収容されて搬送される球体を、良否判別手段の判別結果に従って、良品と不良品とに選別して回収する選別回収手段６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハ検査の精度を向上させること。
【解決手段】ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第１搬送ユニットと、前記第１搬送ユニットに隣接し、前記第１搬送ユニットにより搬送されたウェハを受け取り、当該ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第２搬送ユニットと、前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する検査ユニットと、前記検査ユニットに連結されて、前記検査ユニットを前記第２搬送ユニットの上で移動させる駆動装置と、を備え、前記第２搬送ユニットがウェハの搬送を一時的に停止したとき、前記駆動装置が前記検査ユニットを移動させつつ前記検査ユニットが前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する。 （もっと読む）

【課題】印刷物絵柄検査において、検出された欠陥が、擬似欠陥や判定ミスかどうかを簡単に確認可能とする印刷絵柄検査の結果表示方法及び装置を提供する。
【解決手段】同一絵柄が繰り返し印刷されている印刷物の絵柄検査結果表示方法であって、印刷物の所定箇所を撮像する撮像段階と、得られた印刷物の画像（検査画像）と予め保持されている基準画像を比較して良否判定する判定段階と、判定段階で検査画像中に欠陥ありとされた場合、当該検査画像及び比較に使用された基準画像を関連付けて記録する画像記録段階と、それらの検査画像及び基準画像を画像表示手段に表示する画像表示段階と、表示された検査画像及び基準画像を作業者が確認して、欠陥ありとされた箇所が真の欠陥ではないと入力したら当該検査画像及び当該基準画像を削除する画像削除段階と、を有することを特徴とする印刷絵柄検査の結果表示方法。 （もっと読む）