【課題】欠陥を深さを評価して、不良として扱う必要のない欠陥を判別し、収率の低下を防止することができる表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象領域の各部に対して、照明光の入射角度が異なる複数の光学条件下で表面欠陥の検出を行い、鋭い欠陥が検出されやすい検出態様である周囲より暗い黒欠陥としての検出回数や、なだらかな欠陥が検出されやすい検出態様である周囲より明るい白欠陥としての検出回数に基づいて欠陥深さを評価する。 （もっと読む）

【課題】検査ステーションを通過する被検査物の搬送量が増大する場合であっても検査装置の異物の検出率を向上させることができること。
【解決手段】粉状物からなる被検査物に対する検査を行う検査ステーションに該被検査物を供給する被検査物供給ラインに配され、該被検査物の搬送方向に対して略直交する方向に延びる複数の凹部および該凹部を含み該被検査物に混入した異物を搬送動作に伴い該被」検査物の表層部に露出させる凹凸部を、該被検査物が載置される搬送面部における搬送量調整部材が設けられる位置よりも下流側に有するフィーダートラフと、駆動部を具備する。 （もっと読む）

【課題】 基板のサイズに影響されずに異物の有無を検査することができる異物検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光源１とＣＣＤ型固体撮像素子（ＣＣＤ）２との相対的な位置を固定するフレーム３を備え、そのフレーム３によって上述した相対的な位置を固定しながら基板Ｗの検査面Ｗ_S上を走査して、基板Ｗ上の異物の有無を検査する。相対的な位置が固定なので、検査の対象である基板Ｗのサイズによらずに光の減衰は一定である。したがって、減衰によって検出誤差が生じることなく、基板Ｗのサイズに影響されずに異物の有無を検査することができる。 （もっと読む）

【課題】ＬＣＤに適用される偏光フィルムの不良の有無を自動に検査できる偏光フィルム検査装置及び方法に関するものである。
【解決手段】ローディング部とローディングシャトルと検査部とアンローディングシャトルとアンローディング部とから構成されてローディング部とローディングシャトルの間に偏光フィルムを移送するようにローディングヘッド部が設置されてローディングシャトルと検査部の間にキャリアを移送するためにローディングシャトルにローディングトランスファが設置されてキャリアを検査部に移送するようにラインスキャン及び領域スキャントランスファが設置されてアンローディングシャトルにアンローディングトランスファが設置されてアンローディングシャトルとアンローディング部の間に設置されたアンローディングヘッド部とアンローディングシャトルとローディングシャトルの間に設置されるリターントランスファとから構成。 （もっと読む）

【課題】カバーに囲まれた容器搬送経路内の空間の清浄度を維持するとともに、視認性を確保し、不良容器の取り出しを容易に行えるようにする。
【解決手段】容器搬送コンベヤ２の搬送経路に沿って、容器４の上方および両側方を覆うカバー８ａ、８ｂ、８ｃを設け、空間１４内を外部雰囲気から分離する。搬送経路の途中に観察区間を設けて、この部分は前記カバー８ａ、８ｂ、８ｃを取り除き、一方の側方に照明を設置するとともに、他方の側方には上方のエアー吹出口からエアーを吹き出して、下方の吸気口から吸引することによりエアーカーテンを形成し、前記照明とエアーカーテンにより観察区間を外部雰囲気と分離する。 （もっと読む）

【課題】試験片表面に付着した異物の悪影響を排除する高精度な水蒸気透過度測定装置及び水蒸気透過度測定方法を提供すること。
【解決手段】カルシウム腐食法による試験片の水蒸気透過度測定装置であって、試験片表面側の一方側斜め上方から所定の角度で照明光を照射する照明手段と、試験片表面側の他方側斜め上方で試験片からの反射光を撮影する撮影手段と、撮影手段から得られる画像から腐食領域候補を抽出する腐食領域候補抽出手段と、抽出された腐食領域候補から試験片表面異物を判別する表面異物判別手段とを備えていることを特徴とする水蒸気透過度測定装置。 （もっと読む）

【課題】 透明性フィルム表面に付着した異物を少なくした透明性フィルムの異物検査用試料を提供し、少なくとも付着異物を検出して除く操作が必要なくなる分、異物検査を容易にすること。
【解決手段】 異物検査用透明性フィルムを水中で洗浄し、そのまま水中で透明性フィルムの両面を透明ガラス板で挟持した後、空気中で透明性フィルムを挟持したガラス板の周囲を耐水性テープで封止することを特徴とする異物検査用試料の作製方法であり、作製した異物検査用試料を用いて透明性フィルムの異物を光学的に検査する方法である。 （もっと読む）

【課題】円筒体検査装置の設備状態を高い精度で評価する。
【解決手段】円筒体の外表面を照明する照明と円筒体との間に配置したスリット体により、円筒体の表面に明暗縞を形成し、カメラによりこの明暗縞各部の明暗階調を検出する。明暗縞の複数の暗部の最低階調の変化の傾向をマスターデータと比較し、設備状態の良否を評価する。 （もっと読む）

【課題】 表示用パネルの電極に付着している塵埃によるプローブ及びプローブユニットの損傷を防止することにある。
【解決手段】 検査装置は、矩形の表示用パネルであってこれと平行の面内で一方向に間隔をおいて形成された複数の電極を有する表示用パネルの検査に用いられる。検査装置は、表示用パネルが配置される配置領域を形成する配置領域形成装置と、配置領域に配置された表示用パネルの電極に付着している異物を検出して、異物が存在するとき異物信号を出力する異物検出装置とを含む。 （もっと読む）

【課題】 半導体パッケージの様々な箇所に付着した異物を、測定に入る前の段階で各種クリーニング部を使用して除去することにより、正確な外観検査の実現と後の除去作業を無くして、半導体パッケージの生産性を向上させることができる半導体パッケージの外観検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】 供給トレイエレベータ２によって外観検査装置１内に搬入された半導体パッケージが、供給トレイ３から搬送ハンド４によって取り出される。取り出された半導体パッケージはクリーニング機構５内で、各クリーナーハンド１０による清掃作業とイオナイザー１１によるイオンの吹き付けにより異物が除去され、除去された異物は集塵機１２により集塵される。その後に測定部６に搬送されて外観検査が行われ、良品と選別された半導体パッケージが収容トレイ７に収容され、収容トレイエレベータ８を介して外観検査装置１の外へ、次工程へと搬出される。 （もっと読む）

【課題】 高速走行する光ファイバなどの線状体の外観検出を誤動作なく高精度に行う。
【解決手段】 走行する光ファイバＦの外観を光学的に検出する検出器を収容した検出室１４の入口１６ａに隣接して光ファイバＦが挿通可能な空間部を有する前室１３を配置する。前室１３の長手方向の長さＬ（ｍ）を、光ファイバＦの線速Ｖ（ｍ／ｍｉｎ）との間で、Ｌ≧（３.０×１０^−５）Ｖの関係を満たす長さとする。検出室１４及び前室１３にクリーンエアーを供給して陽圧とする。 （もっと読む）

検査する容器をその長手方向軸を中心に回転できるようにして、容器内の充填物を充分に迅速に回転開始させ、場合によって存在する異物を容器底から巻き上がらせ、充填物にある光拡散する異物を検知するための暗視野工程で機能する少なくとも一つの検査装置と関連付けて配置しており移送方向で後に続く第二回転台に宙吊りで容器を移送し、そのとき両方の回転台は円弧部分でお互いに接線配置されており、容器が第一回転台から直接、第二回転台に移すことができる。
（もっと読む）

【課題】粉粒体中に混入した異物を高精度に検出することができる粉粒体検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体検査装置１は、粉粒体を供給する供給機構１０と、供給機構１０から供給された粉粒体を搬送するための搬送部材２２を備え、層厚を調整しつつ粉粒体を搬送方向下流側に搬送する搬送機構２０と、搬送される粉粒体内に異物が混入しているか否かを検査する検査機構３０と、異物を回収する第１回収機構５０と、搬送機構２０の搬送方向下流端まで搬送された粉粒体を回収する第２回収機構５５とからなる。検査機構３０は、搬送部材２２上の粉粒体に向けてレーザ光を走査しながら照射するとともに、粉粒体によって拡散反射されたレーザ光を受光して電気信号を生成し、生成した電気信号を基に異物混入の有無を判定する。搬送部材２２の下面には、上面側から下面にまで達したレーザ光を拡散反射させる光拡散部材２３が設けられる。 （もっと読む）

【課題】同一のステーションで円筒状検査対象物の外周面側や端面側の検査を可能とした筒状部材外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は回転軸５を備え、回転軸５は、透光性材料により形成されると共に、ゴムブッシュ６の孔部６ａ内に嵌合される嵌入軸部５ａと嵌入軸部５ａ一端部に備えられた導光軸部５ｂとを備える。回転軸５の嵌入軸部５ａに、ゴムブッシュ６の孔部６ａを嵌合させて装着し、回転させながらラインセンサカメラ１５により外周面の外観検査を行う。導光軸部５ｂを周囲から照明するＬＥＤリング照明１１が備えられ、嵌入軸部５ａの他端部側からゴムブッシュ６をその軸心方向から撮像する２次元カメラ１７が備えられる。 （もっと読む）