【課題】原料に混入する微細粉塵等を予め除去することで、光学検出部付近に粉塵等が溜まることがなく、これにより選別性能を低下させることがない色彩選別機を提供する。
【解決手段】被選別物の投入部と、該投入部に投入された被選別物を移送する移送手段と、該移送手段の端部から落下する被選別物を検出位置において検出する光学検出手段と、該光学検出手段のさらに下方に設けられ当該光学検出手段による検出結果に基づいて被選別物を選別するエジェクター手段とを備えてなる色彩選別機において、前記投入部は、被選別物に混入する異物を分離し排出する風力選別手段を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】農家等での使用に適するよう装置の小型化を図ることができるとともに、光学検出部における原料の流下軌跡側に設けられる透明板やエジェクター等に付着・堆積する粉塵等を、専門の作業員がいない場合であっても容易に除去することができる色彩選別機を提供する。
【解決手段】被選別物を流下させるために傾斜配置したシュートと、該シュート下端から流下する被選別物の流下軌跡前方に配置される前側光学検出手段と、前側光学検出手段のさらに下方に設けられ、該前側光学検出手段による検出結果に基づいて被選別物から異物又は不良品を除去するエジェクター手段とを備えてなる色彩選別機において、
前記前側光学検出手段は、下部が上方に回動可能となるよう、その上部において選別機本体に対しヒンジを介して連結され、前記前側光学検出手段と選別機本体との間に形成される被選別物が流下する空間を開閉可能とされることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エッジグリップ方式チャックにおいては、定期的なメンテナンス（清掃等）が不可欠となる。しかし、清掃等のメンテナンスを行う場合、人が作業を行う以上作業にムラが生じる可能性を否定できない。また、人を介することで新たな塵を付着させたり傷を付けたり、部品を破壊したりといったリスクも考慮しなければならない。
【解決手段】本発明は上記課題を解決するためにウエハチャックを検査光学系より後方に移動し、前記検査光学系より後方で、前記ウエハチャックを清掃することを特徴とする。また、本発明は、ウエハチャックヘ供給される空気の流量と、前記ウエハチャックへ供給される空気の排気量を制御することを他の特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属異物及び樹脂異物を除去可能で、且つ、カラーフィルタ基板にダメージを与えることなく異物欠陥を除去することを可能とするカラーフィルタ修正装置を提供する。
【解決手段】異物検査装置によって検出された異物の所在情報に基づいてカラーフィルタ基板に付着した異物を除去するカラーフィルタ基板修正装置であって、カラーフィルタ基板を載置し移動するステージと、異物を撮像する撮像カメラと、１つのマイクロマニュピュレータと、マイクロマニュピュレータに備えられその先端で異物を除去するアームと、アームとカラーフィルタ基板の干渉を防ぐ干渉防止手段１と、を有することを特徴とするカラーフィルタ基板修正装置。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの内部欠陥及び表裏面の欠陥検査を簡素化することにある。
【解決手段】光源と撮像器と光学系を備える２組の光源・撮像ユニット４、５をウェーハ１を挟んで対向して配置し、光源・撮像ユニット４、５の少なくとも一方からウェーハ１に赤外光を照射してウェーハ１からの透過光を受光してウェーハ１の透過画像を撮像する第１撮像工程と、光源・撮像ユニット４、５からウェーハ１に赤外光又は可視光を照射してウェーハ１からの反射光を受光してウェーハ両面の反射画像をそれぞれ撮像する第２撮像工程と、透過画像と両面の反射画像に基づいてウェーハ１の欠陥を抽出する抽出工程を有し、ウェーハの内部欠陥と表裏面の欠陥を同一時に検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査体が所定の形状および寸法よりもわずかでも小さい場合には寸法不足を確実に検出して欠陥であると判定できる形状検査装置および形状検査方法を提供すること。
【解決手段】被検査体であるスパイダの素形材２の突起部２２，２３の形状を測定してその断面形状を示す「形状データ」を作成し、作成した「形状データ」からスパイダの素形材２の突起部２２，２３の軸線方向の全長にわたって最も外側に位置する部分の抽出することにより得られる形状を「基準形状」としてこの「基準形状」をデータ化した「基準形状データ」を作成し、「基準形状データ」と「形状データ」との差分を算出し、算出した差分に基づいてスパイダの素形材２の突起部２２，２３に欠陥があるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】基板検査工程の生産性を向上させる基板収納容器と、これを具備した基板検査装置を提供する。
【解決手段】本発明による基板収納容器Ｍと、これを具備した基板検査装置は、上下方向に積層された複数の基板Ｓが収納されるカセットがハウジングに対して垂直に積載され、検査対象基板の大きさに適合したカセットを個別に備える。 （もっと読む）

【課題】従来技術に比べて欠陥位置へのマーキング精度を飛躍的に向上することで歩留りを下げることなく、かつ、微小欠陥そのものにマーキングすることで目視検査の工数を削減できるフィルム用欠陥マーキング装置及び欠陥マーキング方法を提供すること。
【解決手段】本発明のフィルム用欠陥マーキング装置は、検査エリア３７で欠陥が検出されてからマーキングエリア３８でマーキングが施されるまでの欠陥部分の幅方向のズレである蛇行量を検出する第１の検出手段１６，２８と、検査エリア３７で欠陥が検出されてからマーキングエリア３８でマーキングが施されるまでの前記欠陥部分の搬送距離を検出する第２の検出手段１７，２１，２３，２９と、第１及び第２の検出手段に基づいてマーキングエリア３８における欠陥部分の座標を補正してマーキング位置を決定する手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が転がり易い形状を有している場合であっても該検査対象物の検査および分別が容易である異物または不良品の検出装置及び異物または不良品の排除装置等を提供する。
【解決手段】異物または不良品の排除装置１は、透明部材１１，１２、仕切り部材２１，２２、供給部３０、カメラ４１，４２、制御部５０、吸引制御部６０および吸引機６１〜６８を備える。仕切り部材２１，２２と一体化された透明部材１１，１２が巡回移動する過程において、仕切り部材２１，２２の各区画に検査対象物Ａが１個ずつ供給部３０により供給され、透明部材１１，１２を挟んで上方および下方の双方からカメラ４１，４２により検査対象物Ａが撮像される。撮像により得られた画像が解析されて、検査対象物Ａ中に混在する異物または不良品が検出される。吸引機６１〜６４により、仕切り部材２２の各区画に入れられた検査対象物Ａのうち異物または不良品が吸引除去される。 （もっと読む）

【課題】袋体内に収容されている穀物を袋体から取り出して異物の混入の有無を目視によって確認する検査を効率的に行い得る穀物検査装置を提供する。
【解決手段】米入り袋体２００を支持可能に構成されると共に米入り袋体２００から取り出された米（穀物）を投入させる投入口２２６が形成された投入部２と、水平面に対して傾斜して投入口２２６から投入された米を滑り流させる傾斜流路６ａ，６ｂと、傾斜流路６ａ，６ｂを滑り流れた米を貯留する第２貯留部７と、投入口２２６から第２貯留部７に至る米の移動経路内に配設されて米の通過が可能な網目を有するネット９ａ，９ｂ，９ｃとを備え、傾斜流路６ａ，６ｂは、滑り流れている米およびネット９ａ，９ｂ，９ｃを外部から視認可能に構成され、第２貯留部７は、貯留している米を外部から視認可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 フッ化カルシウム単結晶、フッ化マグネシウム単結晶等のフッ化金属によって構成される光学材料の光学品質を簡便かつ精度よく評価する。
【解決手段】 評価対象とする光学材料を、予めフッ化金属を電解質として溶解させた水溶液に浸漬し、該浸漬状態で光を照射し観察等する。液中で観察することによって表面の研磨傷や埃の影響を低減でき、かつフッ化金属を電解質として溶解させた水溶液を用いることによって、長時間浸漬しても光学材料の表面が溶解するなどして白化するという現象が起こりにくい。フッ化金属を溶解させた水溶液は飽和水溶液とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】基板上の異物の検出・除去にかかる時間を短縮することができる検査分析装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る検査分析装置は、基板上に付着した異物を検出し、当該異物を除去して分析する検査分析装置であって、基板上の異物を検出する検出部２２と、検出部２２により検出された異物の撮像データを記憶する記憶部１２と、撮像データに基づいて、異物をその形態により分類・整理する分類部１３と、基板上に付着した異物を捕獲除去する異物捕獲部２３と、異物捕獲部２３により捕獲された異物を同定する分析部１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】自動的に異物除去の有無を判断することによるユーザの作業負担の軽減及び判断誤差の排除、基板Ｗの破損防止並びに作業時間の長期化を防ぐ。
【解決手段】基板表面の付着異物の異物情報を取得する異物情報取得部３と、付着異物を除去する異物除去部４と、基板表面Ｗ１の各領域毎に設定された閾値と、異物情報取得部３により得られた各領域毎の異物情報とを比較する比較部５４と、比較部５４の比較結果に基づいて異物除去部４により前記基板表面Ｗ１の異物を除去させる異物除去制御部５５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】紡糸口金に穿設された複数個の吐出孔を同時に検査して孔中に残留する異物の有無を多数の吐出孔に対して一度に孔内異物が検出でき、且つ、紡糸口金を傷付けることなく安全に孔内異物を除去することができる機能が付いた紡糸口金検査装置を提供する。
【解決手段】スキャンカメラ１を用いて、紡糸口金Ｃａを走査することにより、高解像度の複数の画像データ群を取得し、これら画像データ群を合成して作成した合成画像データから紡糸口金に穿設された多数の吐出孔群Ｈのそれぞれに対して孔内異物の存在の有無を画像処理を用いて一度に検出し、孔内異物が検出された吐出孔に関しては、イオンを含んだ圧空を吹き付ける、孔内異物除去機能４付き紡糸口金検査装置とする。 （もっと読む）

【課題】見えにくい箇所に付着した異物を効率良く除去する手段の提供。
【解決手段】測定ユニット１６の外装部には、プローブカード２の触針３_ｎを上方、左方、右方の異なる３方向からブラッシングするための３種類のブラシが取り付けられたクリーニングプローブを有するクリーニングユニット２１が設けられており、このクリーニングユニット２１は、プローブカード２と測定ユニット１６とが３次元方向に相対的に移動することで、３種類のブラシによって、上方、左方、右方の異なる３方向から触針３_ｎをブラッシングする。これにより、触針３_ｎの見えにくい箇所に付着している異物を効率良く取り除くことが可能となり、プローブカードに設けられた触針の形状を測定する測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】打痕検査に要する手間や時間を低減すること。
【解決手段】打痕検査装置１００は、炉底管９１０の一部を覆うと共に炉底管９１０の表面に付着している付着物を炉底管９１０の表面から剥離させるデスケーラー部２００と、炉底管９１０の一部を覆うと共に炉底管９１０の表面から剥離された付着物を取り除いて清掃する清掃部３００と、炉底管９１０に沿って移動しながら清掃部３００によって清掃された炉底管９１０の表面に、表面から凹んだ打痕があるか否かを検査する打痕検査部４００と、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】省スペース型で、少なくとも画質を落とさずに全体高さを下げられるようにすることのできる繊維素材を検査および評価するための装置を提供することを目的とする。
【解決手段】繊維ウェブ１６を評価するための装置であって、移動中の繊維素材を走査し、測定値を電気信号に変換する定置式の光電子システム、例えばカメラが繊維機械の幅にわたって設けられており、このシステムが、カメラの生データを評価する画像評価デバイス（コンピュータ搭載）と通信するようになっている。２つ以上のカメラ１５ａ〜１５ｎが互いに並んで設けられており、単位幅との関係において、対物レンズ１８ａと繊維ウェブ１６の間の距離が減少するにつれてカメラ１５ａ〜１５ｎの数が増える。 （もっと読む）

【課題】 光透過性のフィルム４の欠陥測定位置を常にカメラに対し一定に保つことができ、光透過性のフィルム４の正確な欠陥測定のできる、フィルムの検査装置１の提供。
【解決手段】 光透過性のフィルム４を接触部で支持しながら搬送する支持ローラ２と、前記接触部におけるフィルム４に光を照射する光照射装置３と、光照射装置３から照射されフィルム４を透過した光を検知する検知装置５とを備え、好ましくは接触部の前後で支持ローラ２ととともにフィルム４を挟持する補助ローラを備えることを特徴とするフィルムの検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に含まれる異物を選択的に容易かつ確実に排除することができる異物排除装置を提供する。
【解決手段】異物排除装置１は、検査対象物９中に混在する異物を検出して該異物を排除する装置であって、ドラム１０、対象物供給部２０、第１撮像部３１、第２撮像部３２、解析部６０、分離部７０および加圧エアーノズル８１を備える。分離部７０は、ドラム１０から検査対象物９が落下する前に、加圧エアーノズル７１によりドラム１０の上方から検査対象物９に加圧エアーを吹き付けて、ドラム１０から検査対象物９を分離させ落下させる。加圧エアーノズル８１は、すなわち、ドラム１０から検査対象物９が落下しているときに、異物通過時に選択的に加圧エアーを噴射して、検査対象物９のうち異物を含まない部分と異物を含む部分とに分別する。 （もっと読む）

【課題】テンプレートの高精度な欠陥検査を容易に行うことができるテンプレート検査方法を得ること。
【解決手段】ナノインプリントのパターン形成に用いるテンプレートのテンプレート検査方法であって、平坦なウェハＷ上に塗布した色付きレジストＲ２にテンプレートＴのパターン形成面を近接させるとともに、色付きレジストＲ２をテンプレートＴのパターン内に充填させる流体充填ステップと、テンプレートＴとウェハＷとの間に色付きレジストＲ２を挟んだ状態でテンプレートＴを光学観察することによって、テンプレートＴの欠陥検査を行う欠陥検査ステップと、を含み、色付きレジストＲ２とテンプレートＴとの光学定数の差を、空気とテンプレートＴとの光学定数の差よりも大きくしておく。 （もっと読む）