本システムは、仕様書を越える可能性のある領域の表示をオペレータに提供する、或いは前記オペレータによるより詳細な分析を要求する遠隔映像検査装置からの画像の分析を自動的に実行する。パターン認識アルゴリズムは、前記画像の異常或いは欠陥を調査するため連続画像に適用される。前記調査領域は、最初、欠陥の可能性がより高い、検査されるアイテムのエッジに制限される。処理要求及び誤検出の可能性を減らすために、調査領域は制限された視野及び奥行きに狭められる。へこみ及び小さな割れなどの欠陥は、立体測定技術を用いて、或いは公知の補足画像を欠陥と予測することで検出される。この技術は、画像相違マップを提供するのに用いられる。公知の三角アルゴリズムを用いて、前記マップは奥行き及び距離情報を前記処理システムに提供する。
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【課題】画像を用いた表面欠陥検出に際し、検査対象表面上の広い範囲に平坦に広がる大面積欠陥が補正によって画像からその一部または全体が除去されず、かつ検査対象内と外との境界部付近において補正された画像に跳ね返り現象が発生しないシェーディング補正方法を提供すること。
【解決手段】カメラからの画像から検査対象と検査対象外の境界を検出することで検査対象の画像領域を検出し、カメラからの画像にローパスフィルタを適用することでシェーディング成分をカメラからの画像と同じ大きさの画像として抽出した後、その画像の検査対象の画像領域部分について、各ラインの輝度変化を曲線によって、あるいは検査対象の画像領域部分全体の輝度変化を曲面によって近似し、その近似曲線あるいは近似曲面の値を輝度とする同じ大きさの画像に再構成し、カメラからの画像をその再構成した画像により除算又は減算することによりシェーディング補正する。 （もっと読む）

【課題】絶縁ワニスで被覆した絶縁電線を接着剤層を固定することによって製造されるマルチワイヤ配線基板に対する検査を高速で確実に検査する。
【解決手段】マルチワイヤ配線基板に光を垂直に照射し、色フィルタで所定の波長の光を選択し、撮像カメラによって色フィルタで選択した光マルチワイヤ配線基板の全面を撮像し、この全面の画像に所定の画像処理を施すことによって、絶縁電線の始点部、終点部が所定の領域内に入っているかの検査と始点部と終点部の間の経路の配線不良の検査を高速で確実に実現する。 （もっと読む）

【課題】検査から修正までの時間を短縮する。
【解決手段】検査データ生成部１１では、設計データをもとに、信号線や電源線など所定のパターン機能を検査感度で区分する検査感度区分情報を含む、検査データを生成し、検査感度設定部１２では検査感度区分情報に所望の検査感度を割り当て、比較判断部１４では撮像したフォトマスクまたはウェハーから生成される被検査データと、検査データとを比較して欠陥を検出し、検査データ抽出部１５では検出された欠陥が存在する検査データ内の領域を抽出し、欠陥登録判定部１６で抽出された領域の検査感度区分情報を参照して、欠陥を登録するか否かを判定する。これにより、欠陥の登録数を削減する。 （もっと読む）

【課題】 従来のパターン認識技術では、人間が予め与えたルールを正確に実行する繰返し作業は得意であるが、人間のように環境変化に柔軟に適応でき、しかも事例から学習を行うような知的作業は期待できなかった。
【解決手段】 本発明は、被検査物の画像情報を電気信号に変換する光電変換装置と、前記光電変換装置からの電気信号を改良するためにその信号を処理する処理装置と、前記処理装置からの出力を入力とし特定基準に基づいて学習データと未学習データに対する識別と評価とを行う競合型ニューラルネットワークを有する演算装置とよりなる自動検査装置を提供するもので、上記のような課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】安定した高い信頼性を持つ画像データと撮像位置表示手段を用いて高精度の連続した画像データにより目視検査とも対応できる探傷検査方法を提供する。
【解決手段】デジタルカメラで色表示手段であるカラー色票を撮像しモニタに表示する。色再現しているかチェックし、カラー色表の各色が再現していなければ、カメラ設定をチェックする。解像度表示手段であるＬＰゲージを撮像し、２．０ＬＰが分離していなければ、カメラ設定をチェックする。検査対象に探傷処理をした後、検査対象に撮像位置表示手段であるスケールバーを装着し、スケールバーのマークに合わせて撮像する。画像データを全て検査用ＰＣに転送し、検査用ＰＣで欠陥検査を実行する。欠陥検査中に欠陥を発見した場合、その欠陥の位置や大きさ、形状などの欠陥情報を記録し欠陥数などのデータを表示する。 （もっと読む）

【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）

【課題】目視検査員が表面欠陥検査装置の検査情報を参照する場合に視点の移動を少なくする。
【解決手段】連続的に搬送される帯状の被検査体の移動量を検出する移動信号発生器１０５と、前記被検査体の表面に存在する欠陥を検査すると共に、移動信号発生器１０５からの信号に基づいて検出された欠陥の位置を検出する表面検査部画像処理部２０１と、前記被検査体の近傍或いは表面に欠陥がある旨の表示を行うモニタ１２１，画面投射器１２２と、前記画像処理部２０１により検出された欠陥の位置情報、及び前記移動量センサからの移動量情報に基づいて、前記表示部に対して前記欠陥がある旨の表示出力を指令する結果出力部２０７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハや液晶パネル等に発生する色むらや傷等の欠陥を、高速かつ高精度で検査することができ、しかも被検査ワークの大型化への対応を、検査精度及び検査スループットを維持したままで容易に達成できる外観検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】被検査ワークＷの撮像及び検査画像の処理を行う撮像処理ユニット１を複数配置し、これら複数の撮像処理ユニット１を用いて被検査ワークＷの全面または一部を分割撮像するとともに、その各撮像処理ユニット１独立に撮像画像の検査処理を行い、それら検査処理結果に基づいて統合判定部３にて被検査ワークＷの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 被検査物２２をＴＶカメラ２４により撮影し、この撮影画像に対して画像処理を施すことにより被検査物２２の表面の欠陥を検出するようにした金属表面の欠陥検出方法において、面取り量の大きさに依存せず良好な検査が行えること、微小傷などの小さな欠陥も確実に検出できること、及び面粗さに依存せず良好な検査ができることを目的とする。
【解決手段】 被検査物２２の表面の検査領域を複数個の微小領域に分割し（ステップ３）、この微小領域のそれぞれにおいて輝度に関する標準偏差を測定し（ステップ５）、この標準偏差と予め測定し登録しておいた欠陥のないマスターワークにおける標準偏差との相関度を算出し（ステップ１２）、この相関度を予め設定しておいた欠陥検出用のしきい値と比較することにより（ステップ１４）、被検査物２２の表面の欠陥の有無を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】 どの検査項目についてどのような状況の欠陥があるのかを早く理解させることの支援となる画像処理装置を提供する。
【解決手段】 例えば搬送されている検査対象である容器をＣＣＤカメラ２で撮像し、Ａ／Ｄ変換して得られた画像データをフレームメモリ５に格納する。ＣＰＵ６は、パターンマッチングを行って欠陥の有無を判定する。そして、欠陥有りと判定したときは、その欠陥のある検査対象の画像データ１００とその欠陥に関連する付属情報２００とを関連付けて複合データ３００としてＲＡＭ８やＥＥＰＲＯＭ１６などの記憶手段に保存する。再生するときは、保存されている画像データ１００と付属情報２００とを読み出して同時的に表示し、表示された付属情報２００に基づいてどの検査項目についてどのような状況の欠陥があるのかを直ちに認識できる。 （もっと読む）

【課題】 欠陥のある検査対象の画像情報の保存件数を増やせ、かつ再現性の良い画像処理装置を提供する。
【解決手段】 検査対象である複数の部品４０を載置したトレイ３０をＣＣＤカメラ２で撮像し、Ａ／Ｄ変換して得られた画像データをフレームメモリ５に格納する。ＣＰＵ６は、パターンマッチングを行って欠陥の有無を判定する。欠陥有りと判定したときは、その欠陥有りとする一部分の部分的欠陥画像データ７０のみを切り出し、取り込み画像データ全領域１００での部分的欠陥画像データ７０の座標を示す付属情報８０を部分的欠陥画像データ７０に関連付けて複合データ９０としてＲＡＭ８やＥＥＰＲＯＭ１６などの記憶手段に保存する。再生するときは、正常全画像データ２００を読み出し、それに付属情報８０の座標データに基づいて部分的欠陥画像データ７０を画像合成し、表示する。 （もっと読む）

【課題】 固定パラメータによらないで、機器や部品の諸特性の経時的変動に追従してホワイトバランスパラメータをリアルタイムで調整する欠陥検査装置を得る。
【解決手段】 検査対象に隣接して基準板１１を設け、この基準板の白領域と黒領域を検査対象の撮像と同時に撮像し、基準板の画像データをＲＧＢ毎に抽出して、基準板画像入力部１２を介してホワイトバランスパラメータ算出処理部１３にてホワイトバランス補正データを生成し、ＲＧＢ濃度変換部にて各色信号のホワイトバランスを調整する。 （もっと読む）

【課題】 電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。 （もっと読む）