【課題】半導体ウェーハ上に形成された回路パターンの欠陥検査感度を正確に調整する。
【解決手段】半導体ウェーハ上に回路パターンとともに所定寸法の作り込み欠陥からなる欠陥検査用パターンを形成し、該回路パターンの欠陥検査に先立って該欠陥検査用パターンを検出し、その検出結果に基づいて検査感度の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】 複数のモードが混在する場合でも精度よく良否判定を行うことができる良否判定装置、良否判定方法および良否判定プログラムの提供を課題とする。
【解決手段】 良グループＧの分布領域に良否属性の異なる否グループＮのいずれかの要素が混在し、または、否グループＮの分布領域に良否属性の異なる良グループＧのいずれかの要素が混在する場合に、その混在する突出要素を中心として新たなグループＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄを作成し、グループを細分化する。そして、細分化されたグループＧ，Ｎ，Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの中心値Ｃ_g，Ｃ_n，Ｃ_a，Ｃ_b，Ｃ_c，Ｃ_dに対して検査対象のパラメータ値が近いかどうかを判断するため、精度の高い良否判定を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】
パターン検査装置において、膜厚の違いやパターン幅のばらつきなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置を実現する
【解決手段】
同一パターンとなるように形成されたパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を、切替え可能な複数の異なる検出系と異なる検出系の像を同時に取得可能な複数台のセンサとそれに応じた画像比較部とを備えて構成した。
また，画像の特徴量から統計的なはずれ値を欠陥候補として検出する手段を備えて構成し，ウェハ内の膜厚の違いに起因して画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置に用いられるパラメータ、特にガルウィング型リードをもつ部品の基板検査に好適なパラメータ、を自動生成可能な技術を提供する。
【解決手段】情報処理装置が、部品を撮像して得られた画像から、半田が付与されるランド領域を特定し、前記ランド領域から、リードの影響が現れるリード領域を除外した領域を、基板検査で用いる検査領域に設定する。このとき、情報処理装置は、前記部品のＣＡＤ情報からリード高さの情報を取得し、前記リード高さに応じて前記ランド領域から除外するリード領域を大きくする。 （もっと読む）

【課題】適正な領域設定を迅速かつ容易に行うことのできる検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】外観検査装置２１は、撮像装置２３、画像処理装置２４等を備えている。画像処理装置２４は、画像メモリ４１、ＰＴＰフィルムに対する撮像装置２３の各カメラ位置を取得するカメラ位置取得手段４２、ＰＴＰシートの寸法等の各種データを座標データに変換するデータ変換手段４３、ＰＴＰシートの寸法等の各種データを記憶するデータ記憶手段４４等を備えている。そして、外観検査装置２１は、ＰＴＰフィルム及び撮像装置２３の位置関係と、ＰＴＰシート及びポケット部の形状及び寸法とを基に、各種領域を少なくともフィルム幅方向に対し位置決めして設定する。 （もっと読む）

この発明は、飲料などの液体製品のパッケージを検査するための方法に関する。この方法は、パッケージを回転させるステップと、回転中のパッケージに予め定められた波長の放射線を照射するステップと、回転中のパッケージの内容物の少なくとも一部の、少なくとも一続きの少なくとも２つの録画を行なうステップとを含んでいる。この方法は、予め定められた波長で録画を行なうことに好適な画像記録装置を用いて行なわれる。
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【課題】基板検査に用いられる検査ロジックを自動生成可能な技術を提供する。
【解決手段】検査ロジック設定装置が、検査により検出されるべき部品を撮像して得られた複数の第１画像と検査により除外されるべき部品を撮像して得られた複数の第２画像とを取得し、前記複数の第１画像および第２画像のそれぞれの画像を複数のブロックに分割し、前記複数の第１画像と前記複数の第２画像との間の色距離を、前記ブロックごとに算出し、前記複数のブロックの中から色距離が相対的に大きいブロックを１つ以上選択し、選択されたブロックを領域条件として設定する。 （もっと読む）

【課題】端面部分が研磨され円弧状の端面あるいはシーミング面を有するガラス板の端面部分の欠陥を検出する。
【解決手段】ガラス板の端面より外側かつ表裏両面の斜め２方向からガラス板の端面部分を撮像する少なくとも２台のＣＣＤカメラからなる撮像手段と、中心軸方向に照明光を照射可能でスリット状の切欠部を有する略Ｃ字形状のリング照明を少なくとも有した照明手段と、前記ＣＣＤカメラで撮像した撮像信号を処理し該端面部の良否を判定する画像処理手段とからなり、前記端面部がリング照明の中心軸と一致するように前記開口スリット部内にガラス板の端面を遊挿させて端面に照射光を照射させ、該端面を前記撮像手段によって撮像して得られた画像信号を前記画像処理手段によって処理することにより端面の欠陥の有無を検出するようにする。 （もっと読む）

【課題】 フィレットの大きさや傾き角度にばらつきがあても、いずれのフィレットにもカラーハイライト照明の光源配置に応じた色領域が分布されるようにする。
【解決手段】 基板１上に実装される部品１０のうち、フィレット２が急峻なものについては照明部４が低くなり、フィレット２が緩やかなものについては照明部４が高くなるように、各部品１０に対する照明部４の高さを調整しながら撮像する。この高さ調整のために、あらかじめ基板のモデルを用いて高さ制御情報が教示される。この場合、ユーザーは、表示されたフィレットの画像上に各光源４Ｒ，４Ｇ，４Ｂに対応する色領域が適切に分布するように照明部４の高さを調整する。さらに、調整後の画像を用いて、色領域検出のためのしきい値や判定基準値などの検査データが生成され、高さ制御情報とともにティーチングテーブルに登録される。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面の異常を検出するための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】高い処理能力の表面検査システムであり、高い検出感度を持つものについて記述されている。得られたデータは、リアルタイムで５０ＭＨｚ以下のレートで処理されることにより、データ処理のコストを減少させる。異常は隣接する繰り返しパターンを比較することにより検出されて検証され、そして表面の高さはモニタされており、そして、近接する繰り返しパターンとの間の位置ずれ誤差を減少させるために機械的に修正される。近接する情報を用いた局所的なしきい値は異常の存在の検出と検証のために用いられる。照明と収集システムが結合されたものの点分布関数のサンプルされたものが異常の検出および検証のために利用される。 （もっと読む）

【課題】 透光性を有する複数の層が積層される光学素子の欠陥を、高精度に検出することができる光学素子の欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 互いに異なる２つの観察角度θ１，θ２で輝点１０の光強度を検出し、検出した各観察角度θ１，θ２における光強度を比較し、欠陥の観察角度と光強度との相関関係に基づいて、欠陥の正当性、つまり疑似欠陥であるか、本欠陥であるかを判断することによって、当該欠陥が本欠陥であるか疑似欠陥であるかを峻別する。 （もっと読む）

【課題】 従来技術では、液体封入容器内の液体中の気泡と異物（欠陥）とを区別し、異物（欠陥）を検出することなどが困難であった。
【解決手段】 撮像装置で撮像された欠陥検査対象物品の複数の画像を形成する画素毎の輝度データを記憶する輝度データ記憶手段２２と、複数の画像毎にその画像中に複数の小領域を設定する小領域設定手段２４と、小領域を構成する複数画素の輝度データに基づく小領域特徴データを演算する小領域特徴演算手段２５と、小領域毎の小領域特徴データを記憶する小領域特徴データ記憶手段２５Ａと、異なる画像間での複数の小領域の小領域特徴データ間による相互相関係数を演算する相互相関係数演算手段２６と、相互相関係数データを記憶する相互相関係数データ記憶手段２７と、相互相関係数データにより欠陥を判定する判定手段３６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、効率良く擬似欠陥を抑制し、高い検出感度で欠陥検出可能なレチクル検査を実現する。
【解決手段】
レチクル検査方法において、レチクル設計データから生成されたレチクル検査用の検査データを取り込む。レチクルの描画位置精度測定データを取り込んで、レチクルの位置精度成分を補正する第１の補正量を求める。第１の補正量に基づいて、検査データを補正する。補正後の検査データに基づいて、レチクル上の欠陥を検出する。 （もっと読む）

パターン比較検査装置を、検査領域内に含めるべきか否かを判定する被判定位置を被検査パターン上のいずれかから選択する被判定位置選択手段（４１）と、被判定位置の画像信号と、被判定位置から繰り返しピッチの整数倍離れた位置の画像信号とを比較する画像比較手段（４２）と、画像比較手段の比較結果が所定のしきい値内にあるとき、被判定位置を検査領域内に含めて検査領域を設定する検査領域設定手段（４３）とを備えて構成する。これにより、繰り返しパターン領域を有する被検査パターン内の、繰り返しパターンどうしを比較してパターン欠陥の有無を検査するパターン比較検査装置において、繰り返しパターン領域の範囲内において、検査領域を拡大することが可能となる。
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【課題】 表面品質のよい鋼板（圧延材）を製造できるようにするため、例えば検査時に圧延ロール外周表面に生じた微小の欠陥を検出することができる欠陥検出方法、装置並びにその方法を実現できるような研削装置、研削方法を得る。
【解決手段】 欠陥検出対象となる圧延用ロール１０の外周表面にレーザ光を照射するレーザ光源６と、外周表面からのレーザ光による反射光を受光し、光の強さを表す信号に変換する受光手段７と、受光手段７からの信号に基づいて、外周表面の欠陥の有無を検出する信号処理手段８とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】物品の表面に生じた外観欠陥、例えばアルミ押出形材のストリーク、ダイスマーク、肌荒れと称される外観欠陥によって表面状態が製品として使用できない程度に悪いことを検出して不良品とすることのできる物品の外観検査装置とする。
【解決手段】物品の表面を撮像する撮像装置１と、その画像を取り込む画像処理装置３を備え、この画像処理装置３は、複数の画像処理部を有し、その各画像処理部は、取り込んだ画像を設定した判定基準値と比較して評価、例えばアルミ押出形材のストリーク、ダイスマーク、肌荒れと称される外観欠陥による表面状態の良し悪しを評価し、重みつけ部によって各画像処理部の評価に重みをつけて総合的に物品の良品、不良品を判定するようにした物品の外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】 従来装置では検出困難であった被検査シート上の窪み欠陥を高精度で検出できる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 搬送される被検査シートＰに照射装置２０から照射光を照射し、被検査シートＰ上で反射した光を受光装置４０で受光する被検査シート表面欠陥検査方法において、被検査シートＰに照射する光の主光領域に遮光マスク５０で遮光をし、遮光マスク５０の横を通過する光が照射する被検査シート上の領域を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】判定値の設定及び判定値の妥当性の確認が容易な検査装置、及び、ＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】検査のための計測を行い、判定値を用いて検査を行う検査処理に際し、検査計測結果を統計し、表示処理において、度数分布を表示すると共に（Ｓ２００）、この度数分布に対応させ、良品許容限界値に基づく限界線及び良品錯誤率に基づく限界線を表示する（Ｓ２１０，Ｓ２２０）。また、設定されている判定値に対応する判定区分の背景色を変更して表示する（Ｓ２３０）。さらに、度数分布に対応させ、良品許容限界値以上の錠剤５の度数の割合である良品発生率を表示する（Ｓ２４０）。 （もっと読む）

【課題】観測対象物の色合いがある程度変化しても、その観測対象物を精度良く抽出できるようにして、画像処理の精度を高める。
【解決手段】クリームはんだ印刷前のベア基板を撮像して得た基準画像には、赤みがかかったランドの画像３０が現れる。クリームはんだが良好に塗布された基板を撮像して得た良品画像では、クリームはんだの画像３１が青みがかった状態で現れる。自動ティーチング処理では、基準画像および良品画像のそれぞれについて、画素毎にＲ，Ｇ，Ｂの各色相データを算出し、さらに対応する画素の組毎に、各色相データの変化量を算出する。さらに、青色成分の変動量が所定のしきい値以上となる画素を抽出し、抽出された画素により構成される画像領域をはんだ印刷領域３２とみなして、検査領域やモデルの設定処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】基材に塗工を行って形成される被膜において膜厚変動をともなう欠陥を検出する被膜検査装置と被膜検査方法を提供する。
【解決手段】走行する基材に形成された被膜の表裏面で反射した光が干渉するように照明する照明手段と、走行方向に対して直角方向の直線状の被膜における光が干渉する領域からの反射光を撮像する撮像手段と、その撮像手段によって検査基準を撮像して得た基準ラインデータと検査対象を撮像して得た検査対象ラインデータとの差異に基づいて被膜の欠陥を検出する処理手段を具備するようにした被膜検査装置およびその装置に適用された被膜検査方法。 （もっと読む）