【課題】パッド上の針痕を精度よく検出する。
【解決手段】針痕検出装置では、撮像部により基板上のパッドを含む領域を示す多階調の対象画像が取得され、処理部４のパッド領域取得部４２により対象画像からパッドを示すパッド領域が取得される。針痕領域取得部４３では、対象画像のパッド領域を分割して得られる複数の分割領域において、パッド領域のエッジ近傍の分割領域における針痕閾値を、パッド領域の中央部の分割領域の針痕閾値よりもパッド領域外の画素値に近い値としつつ、各分割領域に個別に針痕閾値が設定される。そして、分割領域毎に針痕閾値を変更して対象画像のパッド領域が２値化されることにより、対象画像においてパッドのエッジに起因するパッド領域のエッジ近傍のぼけの影響を抑制して、針痕領域を適切に取得することができ、その結果、パッド上の針痕を精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】シャンプーやボディソープ等の液剤を充填する包装袋に生じる微細な穴や破れによる液漏れ、あるいは包装袋のシール強度不足などにより経時的に発生する液漏れを、製造工程で容易に検査できる装置を提供する。
【解決手段】本発明の液漏れ検査装置は、被検査物に押圧力を印加する押圧手段２１と、上記押圧手段周辺の光反射又は光沢の変化を検出する判定手段２３と、液漏れを検出した時に自動的に検査装置又は製造ラインを停止する手段とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】 被検査面に特定パターンの検査光を照射する照明部と、照射された被検査面を撮像する撮像部とからなる撮像ユニット、被検査面を撮像ユニットに対して相対移動させる搬送機構、及び、得られた撮像画像に基づいて被検査面の欠陥を検知する欠陥検知手段を備えている表面検査装置を、比較的大きな寸法の欠陥でも欠陥として捕え易いように改良する。
【解決手段】 欠陥検知手段が、撮像画像における孤立した高輝度領域を欠陥候補と判定する孤立点抽出部を備え、検査光の所定パターンが、所定寸法の暗部Ｄと、暗部Ｄを外周から包囲する明部Ｌとからなる単位発光面Ｕを相対移動の方向と交差する方向に多数隣接配置した発光面列ＦＲと、発光面列と平行に連続的に延びた列状暗部ＤＲとを有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】被処理物である粒状物ｗ群中に異常色粒状物ｗ２が大きな割合で混入しているときに、既存技術の簡易な変更により、正常色粒状物ｗ１に外力を付与して該正常色粒状物ｗ１を精度よく選り出す。また被処理物である粒状物ｗ群中に正常色粒状物ｗ２が大きな割合で混入しているときに、簡易な構成変更により、異常色粒状物ｗ２に外力を付与して該異常色粒状物ｗ２を精度よく選り出すことを可能とする。
【解決手段】異常色粒存在検出部１３から伝達された存在検出信号を不存在検出信号に、また異常色粒存在検出部１３から伝達された不存在検出信号を存在検出信号に反転させるものとした検出信号反転手段１３Ａを設け、該検出信号反転手段１３Ａから発出された存在検出信号に関連して外力付与手段１４が異常色粒状物ｗ２群などに含まれる正常色粒状物ｗ１に外力を付与して該正常色粒状物ｗ１を除去する。 （もっと読む）

【課題】 薄鋼板や、厚鋼板の移動表面の凹凸キズと汚れとの識別能力を向上させた表面検査装置、及びその方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 検査領域Ａに光を照射する照明手段３と、表面５からの反射光を受光する受光手段１及び第２の受光手段２と、受光手段１及び受光手段２からの画像信号に基づいて、凹凸キズと汚れとを識別処理する画像処理手段７とを有し、画像処理手段７は、受光手段１からの第１の画像と受光手段２からの第２の画像との画像の位置ずれを、いずれかを一方の元画像の位置に補正して補正画像とし、この補正画像と元画像との差を求める座標変換処理部７ｂと、差分から凹凸キズの候補領域を抽出する凹凸候補抽出処理部７ｃと、候補領域について元画像と補正画像との相関値を求める正規化相関演算部７ｄと、相関値の大小から凹凸キズと汚れを識別する凹凸判定部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 従来技術における問題点を解決した選別機の制御システムの提供。
【解決手段】 本発明の穀粒選別機のための制御システムは、検査領域に並列に流下される原料穀粒Ｏを穀粒の流れを横切ってライン状に各穀粒毎に高速で連続して検知し且つ選別する選別機Ａと、前記原料穀粒及び前記選別機によって選別された穀粒のうちの一部を検査領域に並列に流下するように供給され、供給された穀粒の流れを横切ってライン状に各穀粒毎に高速で連続して検知し且つ判別分類する検査機Ｂと、前記検査機による判別分類結果に基づいて、該検査機の判別分類結果が目標理想値になるように前記選別機の選別設定値を設定するようになされた制御装置Ｃと、から主として構成されている。 （もっと読む）

【課題】白色光・レーザ光、あるいは電子線を照射して形成された画像を用いて微細な回路パターンを検査する技術において、検査に必要な各種条件を設定する際にその操作性効率を向上するめの技術を提供する。
【解決手段】回路パターンが形成された基板表面に光、あるいは光および荷電粒子線を照射する手段と、該基板から発生する信号を検出する手段と、検出手段により検出された信号を画像化して一時的に記憶する手段と、上記記憶された当該領域の画像を他の同一の回路パターンが形成された領域と比較する手段と、比較結果から回路パターン上の欠陥を判別する手段からなる回路パターンの検査装置であって、検査用および検査条件設定用の操作画面に操作内容あるいは入力内容を表示する画面領域とその画面を表す項目名を表示する手段を備えており、且つ該項目名は該操作画面領域で一体化して表示する。 （もっと読む）

フォトマスクに形成された検査対象パターンの画像を取得し、検査対象パターンの画像を、パターン転写に使用される露光装置の光学条件を反映した光強度分布を求める光強度分布シミュレーションの入力データである検査対象パターンデータに変換する。検査対象パターンデータを用いて光強度分布シミュレーションを実施し、光強度分布シミュレーションにより得られた検査対象パターンの光強度分布と、基準光強度分布との差分を求める。差分を用いて光強度分布シミュレーションと可逆性を有する逆光強度分布シミュレーションを実施し、検査対象パターンの欠陥を判定するための差分パターンデータを得る。検査対象パターンの欠陥を画像として認識できるため、検査対象パターンの欠陥の有無を高い精度で判定でき、検査対象パターンの欠陥位置を容易かつ確実に特定できる。
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【課題】 半導体デバイスの表面で構成部品が空間的に上下に重なる場合でも、上側の部品に影響されず、下側の部品の撮像と検査を行なう。
【解決手段】 半導体デバイス１の被撮像面に対向する対物レンズ系５と、この対物レンズ系５と撮像素子４との間に配置された結像レンズ系６とを備え、対物レンズ系５のＦ値を１．５以下として、被撮像面を撮影し検査する。
また、被撮像面に対向する対物レンズ系５と、この対物レンズ系５と撮像面４ａとの間に配置された結像レンズ系６とを備え、前記結像レンズ系６が焦点距離の異なる複数のレンズ６ａ，６ｂを有し、所望の倍率に応じて光軸の所定の位置に前記複数のレンズのうち所定のレンズを配置し、他のレンズを光軸から退避させ、被撮像面を撮影し検査する。 （もっと読む）

【課題】ピクセル単位の厳密な位置合わせを行う必要がなく、光学的なずれや機械的なずれが存在していた場合でも虚報を生じさせないようにする。
【解決手段】予め基準対象物１０のピクセル毎に、許容輝度幅と、そのピクセル位置を中心として検査対象物１１の対応するピクセルを探索する探索距離を記憶しておき、まず、基準対象物１０のピクセル位置に対応する検査対象物１１のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する。今度は逆に、その検査対象物１１のピクセル位置に対応する基準対象物１０のピクセル位置を中心とする第二の探索距離内に、検査対象物１１の輝度に対する第二の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、各探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在している場合に、基準対象物１０の位置に対応するピクセルを良ピクセルとする。 （もっと読む）

【課題】 従来技術の米粒判別検査装置における問題点を解決し、米粒判別処理速度を高めた米粒判別検査装置の提供。
【解決手段】 本発明による米粒判別検査装置は、多数の米粒を一度に高速で且つ並列に流下させることができるシュート（１）と、該シュートの下端に設けられ且つ前記シュートの下端を横切るライン状の検査領域に亘って監視して前記シュートから流下された米粒の各々を光学的に検定する検査装置（２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ、６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂ）と、該検査装置からの検知信号に基づいて、落下する米粒の各々の判別するための判別装置（１０、１１）と、該判別装置によるデータに基づいて集計して米粒の検査結果を表示する表示装置（１５）とから主として構成され、前記判別装置による判別が、各米粒毎に高速判別アルゴリズムによって行われるようになされている。 （もっと読む）

【課題】乳剤傷により影響を受けている画素のみを速い処理速度で判定できる乳剤傷判定技術を提供する。
【解決手段】写真フィルムに記録されている画像から取得された多数の画素から構成される画像データから順次注目画素を指定し、注目画素が乳剤傷候補画素であるかどうかを判定し、乳剤傷候補画素判定ステップで判定された乳剤傷候補画素の周辺領域に位置する正常画素を探索し、この正常画素探索ステップで正常画素が検出された場合検出された正常画素の画素値に基づいて作成された乳剤傷判定条件を用いて乳剤傷候補画素が乳剤傷画素かどうかを判定するとともに、正常画素探索ステップで正常画素が検出されなかった場合前回の注目画素の判定結果に基づいて今回の注目画素の乳剤傷判定を行い、乳剤傷画素と判定された注目画素の画素位置を乳剤傷マップに書き込む。 （もっと読む）

【課題】検査ワークの欠陥を正しく検出する。
【解決手段】Ｘ−Ｙテーブル２は、検査ワーク１の第１、第２の撮像領域の線方向と直角のＹ方向に移動する。照明装置４ａ，４ｂは第１の撮像領域に光ビームを照射し、照明装置４ｃ，４ｄは第２の撮像領域に光ビームを照射する。第１のラインセンサカメラ３ａは第１の撮像領域を撮像し、第２のラインセンサカメラ３ｂは第２の撮像領域を撮像する。第１の撮像領域は、検査ワーク１の基材面に設定され、第２の撮像領域は、検査ワーク１の導体の上面に設定される。 （もっと読む）

【課題】 高感度の欠陥検出が可能となるように最適な撮像条件と閾値を簡単に決定することができる欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】
先ず、複数の撮像条件に基づいて、欠陥を含むパターンのシミュレーション画像と欠陥を含まないパターンのシミュレーション画像を生成し、次に、複数の撮像条件毎に両者の差分信号を計算し、最後に、複数の撮像条件毎に差分信号を表示装置に表示する。予想される複数の致命欠陥について、シミュレーション画像の差分信号を計算し、欠陥毎に差分信号を表示する。 （もっと読む）

【課題】 帯状体を移動しながら表面疵を光学的に検査する帯状体の表面疵検査方法およびその装置において、複数の疵種が同一箇所に重複して発生した場合でも有害疵の見落としをすることのないものを提供する。
【解決手段】 撮像画像から抽出した各異常部２について疵種および有害／無害の１次判定を行ない、帯状体の一定の幅範囲内において移動方向に連続して発生する異常部をひとまとめのグループとしてグループ化し、グループの種類として２以上の種類について予めそれぞれの条件及び優先順位を定めておき、帯状体表面の同一箇所に種類の異なる２以上のグループが重複して存在することができ、一つの異常部２が複数のグループに属する場合には前記予め定めた優先順位に従って所属するグループを定め、前記異常部のグループごとに有害／無害を２次判定することを特徴とする帯状体の表面疵検査方法。 （もっと読む）

【課題】エンドレス張力手段特にベルトを含む張力手段伝動装置並びにこのような張力手段伝動装置の張力手段の摩耗の測定方法を、非接触で且つ他の影響をほとんど受けない張力手段伝動装置のモニタリングおよび特にエンドレス張力手段の摩耗のモニタリングが実行可能なように改良し、さらに、このような張力手段伝動装置内に使用可能なようにエンドレス張力手段を改良する。
【解決手段】駆動要素（１１０）および被駆動要素と結合されている少なくとも２つのベルト車（１１５、１３０、１４０、１５０）を結合するエンドレス張力手段（１２０）特にベルトを含む張力手段伝動装置は、張力手段（１２０）の表面を走査するための光学式走査装置（１７０）を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査結果の信頼性を向上させることができるとともに、海苔の厚みが変化することがあっても所定枚数の海苔が積層して包装されていることを検査することができる海苔の包装体の検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】所定枚数の海苔束の包装体が連結された海苔の包装体をコンベア上に載置して前記海苔束の積層枚数を検査するに際して、コンベアの下方に下部照明を配置して前記海苔の包装体に光を照射し、前記下部照明によって照射されて前記海苔の包装体を透過した光を前記コンベアの上方に配置したカメラによって検出して検査画像を作成し、前記検査画像に基づいて前記海苔束の包装体を透過した光の透過輝度を算出し、前記透過輝度を予め設定した基準値と対比して前記海苔束の積層枚数の適否を検査する。 （もっと読む）

【課題】 イメージセンサの感度補正データが、校正ミラー片に付着した異物によって変化することを防止する。
【解決手段】 異物付着検出部１７は、メモリ１８と比較処理部１９とからなる。メモリ１８は実装されたばかりの異物の付着していない校正用ミラー片３をイメージセンサ１１によりスキャンしたときのセンサ出力を保存する。イメージセンサ１１の同期信号は、ステージコントローラ２１が移動ステージ１を制御するために使用するエンコーダ信号に基づいて、同期信号発生器２０において作成される。メモリ１８にデータを保存する処理は、校正用ミラー片３を交換した直後に一度だけ行えばよい。比較処理部１９は、補正データを取得するときに校正用ミラー片３をスキャンして得られたセンサ出力と、上記の処理により校正用ミラー片３を交換した直後にメモリ１８に保存されたセンサ出力との比較を行い、校正用ミラー片３に異物が付着したか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】微弱ムラ状欠陥の検出精度を向上させる。
【解決手段】投光部５から検査体Ｆに対して照射した検査光の透過光又は反射光を受光するに際して、光の強弱が最大となる位置にＣＣＤ６４を配置し、このＣＣＤ６４により検出信号を生成する。次いで、生成された検出信号に対し、移動平均によるＬＰＦを用いてノイズ除去処理を施し、その処理信号に積算差分処理及び相互相関処理を施して欠陥信号の信号強調を行う。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート表面の汚れや照明条件などによってひび割れの検出が困難な場合においても、簡易に高精度のひび割れ検出をおこなうことのできるひび割れ検出方法を提供すること。
【解決手段】 対比される２つの濃度に対応したウェーブレット係数を算定するとともに、該２つの濃度をそれぞれ変化させた場合のそれぞれのウェーブレット係数を算定してウェーブレット係数テーブルを作成し、ひび割れ検出対象であるコンクリート表面を撮影した入力画像をウェーブレット変換することによってウェーブレット画像を作成する工程と、前記ウェーブレット係数テーブル内において、局所領域内の近傍画素の平均濃度と注目画素の濃度に対応するウェーブレット係数を閾値として、注目画素のウェーブレット係数と該閾値とを比較することによりひび割れ領域とひび割れでない領域を判定する工程とからなるひび割れ検出方法である。 （もっと読む）