【課題】目視される物体の表面に関する３次元データの品質の指示を表示するための方法およびデバイスを提供する。
【解決手段】目視される物体２０２の表面２１０の画像５００を獲得して、表示するステップであって、画像５００の複数のピクセル２３１、２３２、２３３、２３４は、目視される物体２０２上の複数の表面ポイント２２１、２２２、２２３、２２４に対応する、ステップと、複数の表面ポイントに対応する複数のピクセルの各ピクセルに関して、ピクセルに対応する表面ポイントに関する３次元座標が利用可能性であるかどうかを判定するステップと、ピクセル２３１に対応する表面ポイント２２１に関する３次元座標が利用可能でない各ピクセル２３１に関する第１のオーバーレイ２５０を表示するステップとを備える方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査方法に関し、より詳細には基板の検査方法を提供する。
【解決手段】基板を検査するために、まず、基板上に測定領域を設定し、続いて、測定領域に対する基準データ及び測定データを取得する。次に、測定領域内の所定の形状を含むようにブロック単位の複数の特徴ブロックを設定し、特徴ブロックのうちオーバーラップされる特徴ブロックをマージして統合ブロックを設定する。続いて、統合ブロック以外の特徴ブロック及び/または統合ブロックに対応する基準データと測定データとを比較して歪曲量を取得し、歪曲量を補償してターゲット測定領域内の検査領域を設定する。これにより、歪曲を補償した正確な検査領域を設定することができる （もっと読む）

【課題】検査対象品が可撓性の高い軟包材容器であったとしても、検査対象品の画像検査を精緻に実行すること。
【解決手段】基準画像を二次元マトリックスに分割した分割セルを設定する。前記分割セルのうち、検査対象となる模様の特徴を表す座標を基準点として含むものを補正適用セルとして設定する。撮像して得られた撮像画像と基準画像とをパターンマッチングで照合し、補正適用セルに対応する当該撮像画像のずれ量を検出する。検出されたずれ量に基づいて、撮像画像における補正適用セル以外の全分割セルのずれ量を線形補間で演算する。線形補間の演算結果に基づいて、検査画像を生成する。生成された検査画像と基準画像とを照合して、製品の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】実質的に同程度の時間及び正確さで、異なる画像の欠陥検出を実行する。
【解決手段】本発明に係る欠陥検出方法は、工業用部品に関する入力画像を受け取るステップと、上記入力画像に関するモデルタイプを受け取るステップと、上記モデルタイプに対応するモデル画像を取得するステップと、上記モデル画像と上記入力画像との間の画像間変換を推定するステップと、上記推定された画像間変換に基づいて上記モデル画像及び上記入力画像を共通座標系に変換することによって位置合わせされた入力画像と位置合わせされたモデル画像とを取得するステップと、上記入力画像及び上記モデル画像に関する複数の画像差分ベクトルを形成するステップと、上記入力画像に関するラベルされた分類マップを生成する統計分類モデルを、上記複数の画像差分ベクトルに対して適用するステップと、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】検査完了までに要する時間の増加を抑制しつつ詳細な欠陥レビュー検査を可能にする。
【解決手段】基板検査装置１は、基板ＷをＸ方向へ搬送する基板搬送ユニット２２と、Ｘ方向へ搬送中の基板Ｗにおける欠陥を検出するラインスキャンカメラ１５、ラインスキャンカメラ駆動部１１５、欠陥検出部１２１および制御部１０１と、検出された欠陥の画像を同搬送中に取得するレビューカメラ１９、レビューカメラ駆動部１１９および制御部１０１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 橋梁下面の外観検査を、作業員が容易かつ効率的に行うことができ、なおかつ一定以上の検査精度を確保することができる橋梁点検装置を提供する。
【解決手段】 橋梁１００上に配置される支持体２と、支持体２に支持される形で橋梁１００上からその側方に向けて延出し、橋梁１００の側方外側を回り込む形で、延出先端部のカメラ４を橋梁１００の下面よりも下側に位置させる屈曲変形可能なアーム部材３を備え、カメラ４によりによって橋梁１００の下面を少なくとも正対方向Ｑとは異なる斜め方向Ｐから撮影された場合であっても、その橋梁下面画像を補正して、正対方向Ｑから見た正対画像とすることができ、これを表示出力することができる。 （もっと読む）

【課題】不感領域の影響を小さくして検査精度を向上させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ステージ１０と、照明系２０と、受光系３０と、複数の受光部および受光部の周囲に設けられて受光しない不感部を有した撮像素子５０と、撮像素子５０を相対移動させる画素補完駆動部３５と、撮像素子５０が複数の受光部同士の間隔よりも小さい相対移動量で相対移動しながら複数の像を撮像するように画素補完駆動部３５および撮像素子５０の作動を制御する制御部４０と、撮像素子５０により撮像された複数の画像における各画素を画素補完駆動部３５による相対移動に応じた順に並べて合成した合成画像を生成する画像処理部４５とを備え、撮像素子５０の撮像面５０ａ上に、受光部の一部を遮蔽する遮蔽部材が設けられている。 （もっと読む）

【課題】マニュアルでの補正や多大な処理時間を必要とせず、ビデオ撮影装置の位置およびビデオ撮影装置の位置と撮影対象物までの距離から求められる撮影している画角の座標を、撮影画像のフレームと同期させてビデオ撮影装置の記録チャンネルに記録する。
【解決手段】走行する車両からビデオ撮影装置でコンクリート構造物の表面劣化を検査する方法において、ビデオ撮影装置の位置およびビデオ撮影装置の位置と撮影対象物までの距離から求められる撮影している画角の座標を、撮影画像のフレームと同期させてビデオ撮影装置の記録チャンネルに記録する。 （もっと読む）

【課題】欠陥観察装置、欠陥観察方法、及び半導体装置の製造方法において、欠陥観察装置と基板との位置合わせ精度を向上させること。
【解決手段】基板Wの表面の欠陥D_iのそれぞれの欠陥座標を取得するステップＳ１と、欠陥D_iのそれぞれに所定領域Rを設定し、その中に含まれる欠陥の総個数N_iを計数するステップと、ステージ座標を一番目の欠陥D₁の欠陥座標に合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第１の欠陥D₁を導入するステップと、視野中心２２ｃと第１の欠陥D₁とのズレ量を取得するステップと、上記ズレ量に基づいて、第１の欠陥D₁よりも上記総個数が多い第２の欠陥D₂の欠陥座標を補正するステップと、補正後の第２の欠陥D₂の欠陥座標にステージ座標を合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第２の欠陥D₂を導入するステップとを有する欠陥観察方法による。 （もっと読む）

【課題】試料の設計情報を用いて形成される回路パターンの配置や上下関係などの構造を解析し、解析結果をもとに欠陥画像から良品画像を作成し、比較検査により欠陥を検出することができる欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】欠陥観察装置において、観察対象の試料１０６の設計情報を記憶部１１４から入力し、１つ以上のレイヤを含む設計情報に基づいて、観察対象の試料に対して予め設定された観察可能なレイヤ情報を記憶部１１４から入力し、他の検査装置により検出された試料上の欠陥座標を記憶部１１４から入力し、欠陥座標に基づいた観察対象の試料１０６上の欠陥について、欠陥座標の周辺領域における回路パターンの構造を、設計情報およびレイヤ情報に基づいて解析し、回路パターンの構造の解析結果を用いて良品画像を推定し、良品画像および画像取得部からの画像情報の比較検査により欠陥を検出する演算部１２０を備えた。 （もっと読む）

【課題】対応する測定点と基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて測定点と基準点とを位置合わせしたのち、測定点と基準点との空間位置座標から適正に表面欠陥を判定する技術を提供する。
【解決手段】測定対象物の測定点と測定対象物の基準表面形状に対応する基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて前記測定点と前記基準点とを位置合わせした後の測定点データと基準点データとに基づいて測定対象物の表面欠陥を評価する。表面欠陥評価において、基準点と適正に対応せず互いに隣接する複数の測定点からなる誤対応測定点群の分布密度に基づいて当該誤対応測定点群によって規定される表面領域を表面欠陥と判定する。 （もっと読む）

【課題】異なる方向から撮影した被検体の画像を合成する際に、撮影手段の設置角度による誤差の影響を排除して、精度の高い合成画像を作成する方法を提供する。
【解決手段】検査用のタイヤのタイヤクラウン部１０Ａのセンター部１０ａと左ショルダー部１０ｂと右ショルダー部１０ｃとをレンズの光軸方向が互いに異なるように設置された第１〜第３の撮影手段でそれぞれ撮影し、これらの画像を合成して検査用画像Ｇを作成する際に、第２の撮影手段で撮影した左ショルダー部１０ｂの画像と第３の撮影手段で撮影した右ショルダー部１０ｃの画像を、予め記憶手段に記憶しておいた基準画像Ｓの左ショルダー部１０ｂｓ及び右ショルダー部１０ｃｓの形状に合わせてそれぞれ回転させてから、第１の撮影手段で撮影したセンター部１０ａの画像と合体させるようにした。 （もっと読む）

【課題】リフロー工程前後における検査結果の整合性をとることで、検査精度の向上を図ることができ、ひいては歩留まりの向上及び生産コストの増大抑制を図る。
【解決手段】部品実装システム１３は、半田印刷検査装置２１及び部品実装機２２を備え、半田印刷検査装置２１は、理想半田位置生成手段４４、理想搭載位置生成手段４５、画像処理手段４６及び理想半田検査基準生成手段４７を備える。理想半田位置生成手段４４は、理想半田位置情報を生成し、理想搭載位置生成手段４５は、理想搭載位置情報を生成する。画像処理手段４６は、実半田位置情報及び搭載予定位置情報を生成し、理想半田検査基準生成手段４７は、理想半田検査基準情報を生成する。演算装置４３は、実装位置調整情報だけ理想半田検査基準情報をずらした実検査基準情報に基づいて半田群５に含まれる半田３を検査し、実装位置調整情報を部品実装機２２に出力する。 （もっと読む）

【課題】サブピクセルマッチングによって、一方の画像上の計測位置に対応する他方の画像上の計測位置を検索し、短時間で正確な計測位置を取得する計測内視鏡システムを提供する。
【解決手段】複数の視点から撮像された各視点の画像信号を、画素単位でサンプリングして第１画像、第２画像を得る画像取得手段と、第１画像を前記画素単位よりも細い単位で再サンプリングして第１再サンプリング画像を生成する再サンプリング処理手段と、この第１再サンプリング画像に基づき計測位置を指定する計測位置指定手段と、計測位置指定手段により指定された計測位置に対応する第２画像上の計測位置を、画素単位よりも細い単位で計算するマッチング処理手段とを有し、再サンプリング処理手段は、このマッチング処理手段により計算された第２画像上の計測位置を前記画素単位より細い単位で再サンプリングして第２再サンプリング画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】平面に沿って分布した特性をもつ解析対象データが特定の分布形状パターンに類似しているかどうかを評価する分布解析方法および装置であって、様々な要因によって解析対象データが変動したとしても、常に精度良く評価を行えるものを提供すること。
【解決手段】分布形状パターンを、解析対象データを定めた平面に対応する平面を格子状に複数の矩形領域に区画するとともに、各矩形領域毎に、解析対象データの特性値の相対的な大小関係を表すように或る数値範囲内で多値を取り得る濃度値を付与して定義する（Ｓ１０１）。分布形状パターンに類似し、かつ複数の解析対象データの間で生じる変動を反映した代表データを作成する（Ｓ１０２）。解析対象データが代表データに類似している度合いを表す類似度を求める（Ｓ１０３）。この類似度に応じて上記解析対象データが上記分布形状パターンに類似しているかどうかを評価する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の注目点の数が多くても、それより遥かに少ない合理的な数のランダムな注目点を選定して、測定画像とそのレファレンス画像とを位置合せする。
【解決手段】レファレンス画像におけるＭ個の注目体の分布範囲における第１の重心位置から最も遠距離にある１番目の注目体の位置をＰ１として、１番目から「ｋ−１」番目の各位置より最も遠距離の位置をＰｋとして、位置Ｐｋをｋ＝１からＮ（整数、Ｎ≪Ｍ）まで求められた各位置Ｐ１，・・・ＰＮ及び前記第１の重心位置を記憶する記憶手段４と、測定画像における第２の重心を求める重心位置算出手段５ａと、第１の重心位置と第２の重心位置を同じ位置にして双方の画像を重ねる合成手段５ｂと、重ねられたレファレンス画像の各位置Ｐ１、Ｐ２、・・ＰＮとそれらの各位置に対応する測定画像の各位置Ｑ１、Ｑ２、・・・ＱＮが重なるように回転させる回転角算出手段５ｃと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】低倍率の画像であっても高倍率の画像を計測した場合に匹敵する精度の計測結果を得る。
【解決手段】同一の評価対象パターンについて得られた異なる検査画像から検出されたパターン輪郭同士で位置合せを実行し、位置合せされたパターン輪郭同士を重ね合わせて単一の合成輪郭を生成し、得られた合成輪郭に対して計測を実行する。 （もっと読む）

【課題】 視野に収まらない大きな異常を見逃さずに検出できる外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】 物体の表面の一部領域を視野の中に設定して該一部領域の画像を取得する取得手段（Ｓ１,Ｓ２）と、取得した画像に基づき、物体の表面において視野からはみ出す大きさの異常の有無を判断する判断手段（Ｓ４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンパクトかつ低コストでしかも正確なトンネル等閉鎖空間内壁面の変状点検を可能にする。
【解決手段】トンネル等閉鎖空間内を走行する移動車両等に取り付け可能なデジタルスティルカメラと、該デジタルスティルカメラに装着される全方位撮影レンズと、予め設定された移動車両等の移動距離毎にデジタルスティルカメラのシャッターを自動制御して閉鎖空間内壁面を連続的に撮影するロータリーエンコーダと、デジタルスティルカメラの撮像を展開監視するモニター装置とからなる。トンネル等閉鎖空間内壁面における断面周方向の撮影面積が広くても全周にわたる撮影を僅か１台のデジタルスティルカメラにより広範囲にしかも的確に撮影することができる。 （もっと読む）

【課題】周期構造中の欠陥を確実に検出することが可能となる、広い領域上の小さな周期構造を検査するための単純かつ低コストなオプションを提供する。
【解決手段】画素構造（２）を有する光学画像記録装置により、周期構造（１）を検査する検査方法及び検査システムが開示される。前記検査方法及び前記検査システムにおいて、周期構造（１）の記録画像（６）が前記周期構造（１）の欠陥のない基準画像（４）と比較される。簡単な手段で欠陥を確実に検知するため、前記基準画像（４）の少なくとも１つの位置（Ｘ、Ｙ）において、前記光学画像記録装置の前記画素構造（２）に対する前記周期構造（１）の位相角（フェーズＸ、フェーズＹ）が決定される。前記記録画像（６）は、検査領域（７）に分割される。各検査領域（７）毎に、前記画像記録装置の前記画素構造（２）に対する前記周期構造（１）の前記位相角（フェーズＸ、フェーズＹ）が決定される。検査領域（７）と前記基準画像（４）とを比較するため、前記検査領域（７）に対応する位相角（フェーズＸ、フェーズＹ）を有する基準画像領域（８）が選択される。 （もっと読む）