【課題】 粒界のある多結晶半導体ウエハでも、汚れを検出することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】 コンピュータ１０は、表面撮像装置２０および裏面撮像装置４０によって、各面の低角度画像および高角度画像を撮像する。撮像された低角度画像および高角度画像を、多結晶シリコンウエハ２の同じ位置の画素毎に明度差を算出し、算出された明度差が予め定める明度差より小さい位置の画素を、汚れを表す画素候補とする汚れ候補画像データを、各面について生成する。２つの面の汚れ候補画像データを、２つの面が対向する位置の画素毎に比較して、汚れを表す画素候補であるか否かを示すデータが不一致である対向する画素の位置に対応する位置の画素を、不一致画素とする不一致画像データを生成する。不一致画像データが示す画像の画素のうちで、不一致画素からなる領域が予め定める汚れ条件を満たすとき、汚れがあると判定する。 （もっと読む）

【課題】 ラビングスジ欠陥を高精度に検出できる表示パネルの検査方法および検査装置の提供。
【解決手段】 表示パネルの検査装置は、スジ欠陥強調手段３００と、前記スジ欠陥強調手段３００において強調された画像に基づいて、スジ欠陥とラビジングスジ欠陥とを分別する欠陥分別手段４００と、前記欠陥分別手段４００においてラビングスジ欠陥と分別された欠陥を評価するラビングスジ欠陥評価手段５００とを備える。欠陥分別手段４００は、スジ欠陥強調手段３００で強調された各スジ欠陥が、ほぼ直線状の欠陥であり、かつ、スジ欠陥の形成方向がそのパネルに対してラビング処理された方向にほぼ一致する場合にはラビングスジ欠陥と判別し、それ以外の場合にはスジ欠陥と判別する。このため、欠陥幅や長さ、間隔などが変動していても、それらの影響を受けることなくラビングスジ欠陥を確実に判別できる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハなどの半導体検査装置において、テンプレートマッチングが失敗したとき、なぜ失敗したかが判る情報を提供する。
【解決手段】パターンマッチングのためのテンプレートと呼ぶ予め定められた第一の画像と、そのテンプレートより大きい第二の画像（即ち、被検体の画像）の中からオペレータが、テンプレートと同じ大きさの第三の画像１８０３領域を選択し、第一の画像と第三の画像とのテンプレートマッチングをテンプレートを半透明表示しながら行い、その類似度差分情報を表示する。 （もっと読む）

【課題】
軸を有した農産物における軸周囲の障害を特定することができ、選別のばらつきを抑制することができる農産物の検査装置を提供する。
【解決手段】
軸Ｊを有した農産物Ｎを撮像手段３にて撮像し、得られた画像に基づき当該農産物Ｎの軸Ｊ周囲に発生した亀裂から成るつる割れを検出し得る外観検査手段と、農産物Ｎに光を照射し、透過した透過光に基づき当該農産物Ｎの軸Ｊ側内部に生じた空洞から成る陥没を検出し得る内部検査手段と、外観検査手段及び内部検査手段により得られた検出結果に基づき、農産物Ｎがつる割れ、陥没、又はつる割れ且つ陥没を生じているか否かを判定する陥没・つる割れ判定部７とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】
軸を有した農産物におけるつる割れを正確に検出することができる農産物の外観検査装置を提供する。
【解決手段】
農産物Ｎの軸Ｊ側表面に赤外領域に属する光を照射する照射手段Ｌ２と、該照射手段Ｌ２により光が照射された農産物Ｎを撮像する撮像手段３と、該撮像手段３で撮像した原画像から農産物の軸Ｊ部を粒子解析処理にて抽出する粒子解析処理手段１３と、該粒子解析処理手段１３で抽出された軸Ｊ部の輪郭形状を膨張させて膨張画像Ｊ’を得る膨張処理手段１５と、粒子解析処理手段１３にて得られた画像に対して膨張処理手段１５で得られた軸Ｊ部の膨張画像Ｊ’でマスク処理するマスク処理手段１６と、該マスク処理手段１６でマスク処理された画像に基づき、農産物のつる割れを検出するつる割れ判定手段１７とを具備したものである。 （もっと読む）

【課題】 要処理画像データ量を格段に減少せしめ、下水道管等の内部欠陥の検出・判別をリアルタイムで行い得る管渠内部の欠陥・判別方法、装置を提供すること。
【解決手段】 ａ．管内走行装置に搭載され、魚眼レンズを装着した撮像装置で管内画像を取得するステップ ｂ．管継ぎ目部に注目してエッジ抽出を行った後、管継ぎ目部の管軸方向前後に亘る領域の画像切り出しを、予め用意したマスクによって関心領域外の画像をマスクした後に行うステップ ｃ．該切り出された画像を分割し、分割された各部の輝度変換を行い、平均画像と各部の個別画像との相関を演算算出し、一定の閾値以下の相関を示した画像箇所部に欠陥ありと判別するステップからなる管渠内部の欠陥・判別方法およびそのための装置。 （もっと読む）

【課題】画像処理技術を用いて欠陥を検出するに際して用いる除外フィルターシステムの提供を課題とする。
【解決手段】 予め作成し、記憶部に記憶された基準画像と、ＣＣＤカメラ等より取り込んだ検査対象画像との対比して基準画像に対して異常と判定できる検査対象画像の部位を仮欠陥と認識する。仮欠陥の中心座標を求め、求めた中心座標から外方向に、とあり合う捜査線の成す角度が略45度になるように８方向に走査線を設定し、各走査線上の輝度を調べる。得られた輝度の変化より８方向それぞれに付いて手前側境界座標と奥側境界座標との有無を求める。両境界座標の有無の情報より仮欠陥の特徴、大きさ、仮欠陥周囲の配線の特徴、配線の大きさ、および仮欠陥の当該仮欠陥を含む配線への相対的な影響度を算出し、算出結果に基づき仮欠陥のパターンを判定し、仮欠陥を真の配線パターンの欠陥と判定するかどうかを決定する。 （もっと読む）

【課題】被検査面に存在する欠陥に対して照射光の回り込みを四方八方から生じさせるような照明を用いながらも欠陥の誤検出が抑制された表面検査技術を提供する。
【解決手段】複数の発光素子から構成された照明部による照射光によって照明された被検査面に対する撮像カメラ４の出力信号を評価して被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段６とからなる表面欠陥検査装置。欠陥評価手段が、出力信号から生成された画像データに対して輪郭強調処理を施した後平滑化処理を施す欠陥強調処理を少なくとも１回行う前処理部６０Ａと、この前処理部から出力された画像データから被検査面の明暗画像を生成する明暗画像生成部６０Ｂと、この明暗画像生成部から出力された明暗画像から欠陥を検出する欠陥決定部６０Ｃを備えている。 （もっと読む）

【課題】 多結晶基板上に配線パターンが形成されてなる被検査物について、その配線パターンの欠陥の有無を精度良く検出できる検査装置を提供する。
【解決手段】 被検査物１に対して略水平方向から光が照射されるように照明手段を配置するとともに、相対位置変更手段によって被検査物１と照明手段との相対位置を変更した状態でそれぞれ撮像手段５で撮像を行って複数の画像データを獲得する。こうして得られた各画像データについて相対位置を一致させた上で論理積演算手段１０で各画像データの論理積演算を行うことにより、多結晶基板１ａの特定の結晶からの指向性の強い反射光の影響を除去する。 （もっと読む）

【課題】短時間で最適な照明条件を設定することができる照明設定方法、照明装置および部品移載装置を提供することを目的とする。
【解決手段】照明設定部７０は、プロファイル作成部７１により撮像装置５１の取り込み画像から輝度分布曲線であるプロファイルを作成する。このプロファイルは、照明５２ａ〜５２ｃの全て組み合わせ毎に作成する。これらのプロファイルに基づいて、照明設定部７０は、照明５２ａ〜５２ｃの組み合わせ、輝度、比などの照明装置５２の照明条件を設定する。このため、短時間で最適な設定を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置の外観検査方法において、迅速な電極表面の異状や細線パターンにおける微細欠陥の抽出、及び正確な良・不良の判定を可能にする。
【解決手段】 電極細線を備えた半導体装置の外観検査方法であって、前記電極細線の基準パターンより、細線化モデルを形成する工程と、被検査半導体装置における、電極細線領域の画像濃度データを取得する工程と、前記細線化モデルのパターンの略垂直方向に、所定の間隔で、前記画像濃度のプロファイルを形成する工程と、前記プロファイルに基づき、欠陥を抽出する工程を具備する。 （もっと読む）

【解決手段】
【課題】 レチクルあるいはＬＳＩ自身のパターンの外観検査における、斜めエッジ部分の検査精度の向上を可能とする外観検査方法および装置を提供する。
【解決手段】 レーザビームを走査させる照明光学系１１と、試料面を検出するセンサ１５と、検出手段から得られる検出信号を用いて試料面の画像を得て欠陥検出を行う比較回路２５と、ＣＡＤデータから作成した画像をステージと同じ角度だけ回転させた画像を作成する座標回転回路２２と、試料１２を保持しＸ軸、Ｙ軸方向に駆動するＸＹステージ１３とを備え、検査する斜めエッジ部分に平行な角度で走査を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で高精度かつ迅速にパターン形状を評価する。
【解決手段】 被評価パターンＰ２の輪郭を検出し、許容値Ｌが予め与えられた基準パターンであってパターンＰ２の評価基準となる基準パターンＲＰ２の輪郭を検出し、基準パターンＲＰ２の輪郭と許容値Ｌに基づいてパターンＰ２の許容範囲ＡＳ２を生成し、検出されたパターンＰ２の輪郭と許容範囲ＡＳ２との相対位置関係を求めることによりパターンＰ２の輪郭と前記許容範囲との包含関係を判定し、さらに、その判定結果に基づいてパターンＰ２の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】高速で、高精度にガラス瓶の検査を行うことができるガラス瓶検査装置を提供する。
【解決手段】ガラス瓶１２を瓶軸１２Ｘ回りに回転させる回転駆動部と、外部の光源より前記ガラス瓶に照射された撮像用光をラインセンサ２４，４４により受光し、前記瓶軸１２Ｘに垂直な方向を視点とする前記ガラス瓶１２の画像を撮像する撮像部と、前記画像に基づいて前記ガラス瓶１２の形状を測定する測定部とを備え、この測定部は、前記画像に基づいて瓶口周縁部１２Ａの少なくとも４カ所の高さを検出し、その内の３カ所の高さに基づいて残り一カ所の高さを計算し、この計算値と残り一カ所の高さの実測値とに基づいて瓶口周縁部の形状不良を検出する。 （もっと読む）

ロール状喫煙品（１０）あるいはフィルターロッド（１４）の１以上の物理特性を決定するための方法が開示されており、前記方法は、前記ロール状喫煙品あるいはフィルターロッド（１４）を視野内に配置し、前記視野に対して光照射を行い、前記ロール状喫煙品あるいはフィルターロッドを前記視野内で撮像してイメージを形成し、前記イメージを解析して前記ロール状喫煙品あるいはフィルターロッドの１以上の物理特性を決定する。好ましくは、前記イメージはデジタルイメージであり、電気的に加工されて前記１以上の物理特性を決定する。前記１以上の物理特性は、前記ロール状喫煙品あるいはフィルターロッドの長さ（ｅ）、平均直径（ｄ）、楕円性度合い、外周、真円度あるいは形状を含む。また、本発明は、そのような方法を実施するための装置に関し、前記視野を画定する撮像手段を具え、この撮像手段は、ロール状喫煙品あるいはフィルターロッドを前記視野内で撮像するようにして構成されている。また、前記装置は、前記ロール状喫煙品あるいはフィルターロッドを前記視野内に配置するための手段と、前記視野内を照射するための照射手段と、前記イメージを加工するための加工手段とを具えており、前記ロール状喫煙品あるいはフィルターロッドの１以上の物理特性を決定する。
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【課題】 可動部を有する設備又は装置の動作中に、異常の有無を検知する監視制御装置、及び監視制御方法を提供する。
【解決手段】 可動部を有する設備又は装置を撮影する撮像部１１０と、可動部を有する設備又は装置の正常動作状態を表す指標を予め保存しておくデータ記憶部１３０と、撮像部１１０から取得した画像データに基づいて、可動部の位置情報を取得し、その位置情報が所定の条件を満たしているか否かを判定し、所定の条件を満たしている場合について、その所定の条件を満たしていると判定した場合の画像データと、上記の指標に基づいて異常の有無を判定する判定部１２０を有するように監視制御装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセスにおいて、色の違いによって検査対象物を判別する検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】カラー画像を撮像可能な撮像手段によって検査対象物のカラー画像を撮像し、ＲＧＢ色空間の色情報を取得する。ＲＧＢ色空間の色成分または他の色空間の色成分のグレースケール画像を作成し、パターン認識の手法によって検査対象物を検出する。あるいは作成したグレースケール画像から二値画像を作成し、二値画像に対してパターン認識を行い検査対象物を検出する。検出した検査対象物が占める画素の色データと、予め用意しておいた良品の検査対象物の色データとを比較し、検査対象物が良品であるか不良品であるかを判定する。また、ネットワークを通じて他の製造工程にこの判定結果を反映させ、製品の品質を高いものにする。 （もっと読む）

【課題】検査対象の粒状物体が重なったり接触している場合でも粒状物体の個数を正確に計数できる粒状物体の検査方法及びそれを用いる検査装置を提供する。
【解決手段】画像処理部３は、画像記憶部２に記憶された二値画像から粒状物体１０ａ，１０ｂに対応する塊領域を抽出し、塊領域の内側に輪郭線に沿って複数の参照点を分散配置し、各参照点について塊領域内を通して見通せる他の参照点の数を計数した後、対象領域内にある参照点から計数値が最小の参照点を基準点として抽出する処理と、当該基準点から対象領域の領域内を通して見通せる参照点を全て選択し、選択された全ての参照点及び基準点の間を互いに結んでできる領域を物体領域として抽出する処理と、対象領域から物体領域を除いた領域を新たな対象領域とする処理とを繰り返し行い、検査処理部５が抽出された基準点の数をもとに粒状物体の個数を求めている。 （もっと読む）

【課題】検査対象の粒状物体が重なっていたり、立っている場合でも粒状物体の個数を正確に計数できる粒状物体の検査方法及びそれを用いる検査装置を提供する。
【解決手段】画像処理部３は、画像記憶部２に記憶された二値画像から粒状物体１０ａ，１０ｂに対応する塊領域を抽出し、塊領域の内側に輪郭線に沿って複数の参照点を分散配置し、各参照点の中から基準点を抽出した後、個々の基準点について、当該基準点のみを塊領域の領域内を通して見通すことができる参照点であって、塊領域の中央部を挟んで当該基準点と反対側にある参照点を形状判定点として抽出し、何れかの基準点に対応する形状判定点と、他の基準点に対応する形状判定点との間を結ぶ連結線分の少なくとも一部が塊領域の領域外を通る場合は当該２つの基準点が異なる粒状物体に属すると判定し、異なる粒状物体に属する基準点の数をもとに粒状物体の個数を識別する。 （もっと読む）

【課題】設計仕様書で決められている切り欠きと孔の形状と、貫通孔の加工で自然発生的に生じる貫通孔のエッジに生じるの欠陥とを、一つの検査装置で実行できる検査装置の提供を課題とする。
【解決手段】ガラス基板を搬送する搬送装置の途中で停止させ、ガラス基板の搬送方向に直角に配設される直線上の照明器で照明し、ガラス基板の搬送方向に対して直角方向に、ガラス基板に平行に移動可能な、光軸をガラス基板に垂直に向けられているカメラで、ガラス基板のコーナーの切り欠きと貫通孔の画像を取り込み、取り込まれた画像を画像処理装置で２値化処理する、ガラス基板の検査装置を用い、切り欠きの大きさと形、貫通孔の位置、大きさ、貫通孔のエッジの欠陥を検査する。 （もっと読む）